r e l a t i v e u n i t s Temperature,°K 1000 oersteds 2000 oersteds 6000 oersteds
Figure I.41 – Discontinuit´e observ´ee sur un monocristal de KMnF3[252].
I.C.2 Influences de l’ajout de Cu
I.C.2.a Origine de la pr´esence de Cu dans les couches
Une ´etude similaire de l’analyse de l’influence de la concentration en Pt a ´et´e
effectu´ee pour l’analyse de l’influence de l’ajout du Cu sur le syst`eme FePt. Mais
avant de pr´esenter les r´esultats obtenus sur le syst`eme FePtCu, nous allons pr´eciser
pourquoi le Cu est pr´esent dans les couches. Comme cela a ´et´e bri`evement
pr´e-sent´e en d´ebut de section (et de mani`ere un peu plus d´etaill´ee en annexe A.A.3),
les couches de FePt sont obtenues par pulv´erisation d’une cible de 30mm de
dia-m`etre et de∼1cm de hauteur. Cette cible est coll´ee sur une plaque en Cu (servant
de support) avant d’ˆetre fix´ee sur le porte cible. On utilise ensuite un cache qui
est port´e `a un potentiel positif par rapport celui de la cible afin de ne pulv´eriser
que ce dernier. Au fur et `a mesure des d´epˆots, la hauteur de la cible diminue et
l’´ecrantage des ions d’Ar+ par la barri`ere de potentiel entre la cible et le cache
devient de moins en moins bien assur´e, il s’en suit une pulv´erisation progressive du
support sur lequel est coll´ee la cible, ce qui entraine une contamination des couches
par du Cu. Nous avons tir´e profit de ce probl`eme en exploitant la pr´esence de ce
dernier pour ´etudier son influence sur les propri´et´es magn´etiques et structurales
du syst`eme FePt. La figure I.42 montre des exemples de cartographies de la
dis-tribution du Pt dans le cas de la pr´esence ou non du Cu pendant le d´epˆot. Dans
le cas o`u seule la cible est pulv´eris´ee (Fig.I.42(a)), on constate une pr´edominance
du Pt qui occupe les 3/4 du wafer. Dans le cas o`u le support commence aussi
at%Pt FePt - d T-S = 7.5cm 53,00 54,00 55,00 56,00 57,00 58,00 59,00 Si(100)
(a) Cartographie de la distribution du Pt en l’absence de Cu
3.71at%Cu 4.4at%Cu 4.1at%Cu 4.1at%Cu 4.56at%Cu 6.23at%Cu 5.14at%Cu 6.42at%Cu FePtCu - d T-S = 7.5cm 50,00 51,00 52,00 53,00 54,00 55,00 56,00 57,00 58,00 at%Pt Si(100) 6.86at%Cu
(b) Cartographie de la distribution du Pt en pr´esence de Cu
(c) Illustrations des cˆones d’ouvertures du Fe-Pt-Cu
Figure I.42 – (a) & (b) Cartographie de la distribution du Pt sur le substrat apr`es un
d´epˆot de FePt `a une distance Cible-Substrat de 7.5 cm dans le cas de la pr´esence ou non
du Cu. (c) Illustrations des ouvertures possibles des cˆones de d´epˆot du Fe, du Pt et du Cu
d’apr`es les constatations de la distribution de ces derniers apr`es chaque d´epˆot.
`
a ˆetre pulv´eris´e (Fig. I.42(b)), on constate une alt´eration de cette pr´edominance
initiale du Pt qui est une cons´equence des diff´erences des cˆones d’ouverture lors
du d´epˆot des trois esp`eces du fait de la taille de la cible75. Nous avons
repr´e-sent´e sch´ematiquement ces cˆones d’ouverture (Fig.I.42(c)), en nous basant sur les
constats de la distribution des trois ´el´ements apr`es chaque d´epˆot, nous reviendrons
par la suite sur les effets de cette distribution lors de la caract´erisation chimique de
l’influence du Cu sur nos couches. Apr`es cette pr´ecision, nous allons commencer,
comme pour l’´etude de l’influence de la concentration en Pt, par pr´esenter les effets
de la mesure `a haute temp´erature sur les propri´et´es magn´etiques et structurales
(Fig. I.43), dans le cas d’un ´echantillon ne comportant pas de Cu d´enomm´e E5
de composition [Fe(46.19)Pt(53.81)]Cu(0) de 4.32µm d’´epaisseur et dans le cas d’un
´echantillon comportant 13.8[at%] de Cu d´enomm´eE6 de 3.76µm d’´epaisseur et de
composition Fe(44.23)Pt(42.01)Cu(13.76) (soit [Fe(51.29)Pt(48.71)]Cu(13.76)).
Ces deux ´echantillons pr´esentent des comportements assez diff´erents. Au
chauf-fage, on observe que le caract`ere abrupt de la transition de la phase d´esordonn´ee,
constat´e jusqu’`a pr´esent, disparait dans le cas o`u la couche comporte 13.8[at%] de
Cu, et que cette disparition est accompagn´ee d’une r´eduction de 7% de la T
C. Au
refroidissement, bien qu’ayant ´et´e effectu´e avec un temps de mesure plus long `a
haute temp´erature (plus de points), la courbe obtenue pour l’´echantillon E5
pr´e-sente une inflexion, au voisinage de la temp´erature o`u se produit la transition,
qui t´emoigne de la persistance d’une phase douce apr`es la mesure. Comme en
t´e-moigne l’allure du cycle d’hyst´eresis obtenu apr`es cette mesure, o`u on observe une
relative faible coercivit´e (µ0H
C= 0.25T). `A la diff´erence des r´esultats obtenus
au niveau de l’´echantillon E6 o`u ce retournement s’effectue `a un plus fort champ
coercitif (µ0H
C= 0.85T). Cependant, apr`es la mesure, on constate une r´eduction
de l’aimantation `a 300K de 40%, bien plus importante que celle observ´ee sur les
´echantillons ne comportant pas de Cu. Mais avant de commenter ces observations,
regardons les modifications qu’induisent ces mesures sur les deux ´echantillons. Une
caract´erisation par diffraction de rayons X effectu´ee avant et apr`es ces mesures a
r´ev´el´e des diff´erences entre les propri´et´es microstructurales des couches comportant
ou non du Cu. Les r´esultats obtenus sont pr´esent´es sur la figureI.44.
Au niveau des diagrammes de diffraction, on commence d’abord par
consta-ter une intensit´e relativement plus importante du pic de surstructure (110) de la
couche ne contenant pas de Cu, alors que les autres surstructure de cette
´echan-tillon sont quasi absents, ce qui t´emoigne de la pr´esence d’une ´eventuelle texture
qui serait cependant isotrope dans le plan, le temps mis pour effectuer la mesure
en refroidissement (deux fois plus long que les autres mesures) pourrait ˆetre `a
l’ori-gine de cette observation. Dans le cas o`u la couche contient du Cu, on constate
une croissance plus importante des raies de surstucture qui t´emoigne d’un
d´eve-75. Ces cˆones d’ouverture sont `a l’origine d’angles de d´epˆots qui empˆechent un bon
remplissage des caissons des couches structur´ees pr´esent´ees au troisi`eme chapitre (voir
Fig. III.20), car du fait des rapports d’aspect (hauteur et largeur des zones structur´ees)
on a un effet d’ombrage qui provoque un d´efaut de remplissage.
250 300 350 400450 500 550 600 650 700 750 800 850 0,0 1,0x10 -2 2,0x10 -2 3,0x10 -2 4,0x10 -2 5,0x10 -2 6,0x10 -2 7,0x10 -2 As deposited µ 0 H app =0.05T Heating Cooling [Fe (46.19) Pt (53.81) ]Cu (0) [ A m 2 / ( k g 1 0 -4 T ) ] Temperature [K]
(a) Couche ne comportant pas de Cu
250 300 350 400 450 500 550 600 650 700 750 800 850 0,0 1,0x10 -2 2,0x10 -2 3,0x10 -2 4,0x10 -2 5,0x10 -2 6,0x10 -2 7,0x10 -2 8,0x10 -2 As deposited µ 0 H app =0.05T Heating Cooling [Fe (51.29) Pt (48.71) ]Cu (13.76) [ A m 2 / ( k g 1 0 -4 T ) ] Temperature [K]
(b) Couche comportant 13.8% de Cu
-5 -4 -3 -2 -1 0 1 2 3 4 5 -800 -600 -400 -200 0 200 400 600 800 Cu content[at.%] 0% 13.8% M [ 1 0 3 A / m ] µ o H [T](c) Cycles d’aimantation au retour `a la temp´erature ambiante
Figure I.43 – (a)&(b) Mesures de susceptibilit´e en chauffage (--) et en
refroidis-sement (-◦-), sous un champ de 0.05T, pour l’´echantillon comportant : (a) 0[at%]Cu
([Fe(46.19)Pt(53.81)]Cu(0)) – (b) 13.8[at%]Cu ([Fe(51.29)Pt(48.71)]Cu(13.76)). (c) Cycles
d’ai-mantation mesur´es `a 300K, effectu´es apr`es les mesures de susceptibilit´e en refroidissement.
loppement plus important de la phase L10apr`es le cyclage `a haute temp´erature, ce
qui est en accord avec les d´eveloppements constat´es de la coercivit´e au niveau des
cycles d’aimantation correspondants (Fig.I.43(c)). De plus on observe que la
po-sition de certaines raies de l’´echantillon E6 pr´esentent un d´ecalage vers les grands
angles par rapport `a celles de l’´echantillon E5. Ce d´ecalage est la cons´equence de
la diminution du volume de la maille (en accord avec l’´equation B.1) du fait de
la diff´erences en composition. `A y regarder de plus pr`es, on constate que ce
d´eca-lage est beaucoup plus important que celui attendu et est d’autant plus important
que l’indice ℓde Miller de la raie correspondante est grande. Comme on peut s’en
rendre compte au niveau du zoom effectu´e sur les pics se trouvant `a grand angle,
20 40 60 80 100 120 140 0 200 400 600 800 1000 1200 1400 90 95 100 105 110 115 0 50 100 150 200 XRD after heating measurement at 800K (~525°C) Cu content[at.%] 0% 13.8% I n t e n s i t y [ c o u n t s ] 2 [degree] ( 0 0 1 ) S ( 1 1 0 ) S ( 1 1 1 ) ( 2 0 0 ) ( 0 0 2 ) ( 2 0 1 ) S ( 1 1 2 ) S ( 2 2 0 ) ( 2 0 2 ) ( 2 2 1 ) S ( 1 3 0 ) S ( 3 1 1 ) ( 1 1 3 ) ( 2 2 2 ) ( 2 0 3 ) S ( 3 1 2 ) S ( 4 0 0 ) S i L1 0 Peaks ( 3 1 1 ) ( 1 3 0 ) S ( 1 1 3 ) ( 2 2 2 )
Figure I.44 – Diagrammes de diffraction X (avec zoom sur les pics `a grand angle)
obtenus apr`es les mesures `a haute temp´erature des ´echantillonsE5 etE6 qui comportent
respectivement 0[at%] et 13.8[at%] de Cu.
o`u l’on observe que lorsque ℓ est nul ce d´ecalage est nul et que lorsque ℓ prend
successivement les valeurs de 1, 2 et 3, ce d´ecalage ´evolue de mani`ere croissante
par rapport `a ceux de l’´echantillon ne comportant pas de Cu. Ce ph´enom`ene peut
ˆetre interpr´eter comme ´etant d’une part une preuve de la pr´esence du Cu dans la
structure L10 et d’autre part de l’occupation pr´ef´erentielle des sites du Fe par les
atomes de Cu. En effet, le d´ecalage des pics de Bragg est une cons´equence de la
modification des distances interr´eticulaires induite par la transformation de phase
A1-L10, or, du fait de leurs sensibilit´es aux distances Pt-Pt et Pt-Fe qui fixent
respectivement les param`etres a et c de la maille, ces distances sont modifi´ees de
mani`eres diff´erentes suivant que le Cu occupe un site du Fe ou un site du Pt.
L’´etude de l’´evolution des param`etres de maille avec l’ajout du Cu est donc
essen-tielle pour comprendre et interpr´eter les ph´enom`enes observ´es. Nous avons pour
cela effectu´e une ´etude o`u nous avons fait varier la concentration en Cu de 0 `a
15[at%]. Le paragraphe suivant pr´esente les r´esultats obtenus. Nous avons ´etudi´e
les modifications structurales induites par le cyclage `a haute temp´erature sur les
´echantillonsE5 etE6. Pour chacun de ces ´echantillons, une caract´erisation AFM a
´et´e effectu´ee avant et apr`es les cyclages thermiques, les r´esultats sont pr´esent´es sur
la figure I.45. Comme pr´ec´edemment, on observe que la mesure modifie l’´etat de
surface des ´echantillons. Cependant on constate que cette modification est
beau-coup plus importante dans le cas o`u l’´echantillon comporte du Cu. Car, comme on
peut s’en rendre compte au niveau du tableau I.8 o`u sont r´esum´ees les rugosit´es
des ´etats de surfaces des ´echantillons avant et apr`es le cyclage thermique ainsi que
0 [at%] Cu - Before Magnetic Measurement at High Temperature
Scan on 10µm Scan on 5µm
Scan on 2µm Scan on 1µm
(a) ´Etat avant la mesure avec 0% de Cu
0 [at%] Cu - After Magnetic Measurement at High Temperature (Tmax=800K)
Scan on 10µm Scan on 5µm
Scan on 2µm Scan on 1µm
(b) ´Etat apr`es la mesure avec 0% de Cu
13.8 [at%] Cu - Before Magnetic Measurement at High Temperature
Scan on 10µm Scan on 5µm
Scan on 2µm Scan on 1µm
(c) ´Etat avant la mesure avec 13.8% de Cu
Scan on 10µm Scan on 5µm
Scan on 2µm Scan on 1µm
13.8 [at%] Cu - After Magnetic Measurement at High Temperature (Tmax=800K)
(d) ´Etat apr`es la mesure avec 13.8% de Cu
Figure I.45 – Illustration des modifications de l’´etat de surface avant et apr`es
un cyclage `a une temp´erature `a 800K. (a) et (b) Couche ne comportant pas
de Cu ( [Fe(46.19)Pt(53.81)]Cu(0) ). (c) et (d) Couche comportant 13.8[at%] de Cu
([Fe(51.29)Pt(48.71)]Cu(13.76))
TableI.8 –Evolution de la rugosit´e de l’´etat de surface des ´echantillons´ E5etE6avant
et apr`es le cyclage thermique et taille des grains d´eduite des diagrammes de diffraction.
Concentration en Cu 0% 13.8%
Avant cyclage Apr`es cyclage Avant cyclage Apr`es cyclage
Rugosit´e (nm)
R
pvR
msAv
R14.1±2 39±5
2.5±0.2 4±0.1
2±0.2 3.1±0.1
12.8±1 345±19
1.4±0.1 59.3±1
1.1±0.1 50±1.4
Taille des grains (nm)
Scherrer – – – 31.7±3.1 16.6±2 37.3±5.2
la taille des grains76 d´eduite des diagrammes de diffraction. On constate qu’avant
la mesure, les morphologies des ´etats de surfaces sont quasiment identiques. Tandis
qu’elles sont tr`es diff´erentes apr`es le cyclage en temp´erature, comme la t´emoignent
les valeurs de rugosit´e obtenues. Ces observations sont en accord avec les r´esultats
de Platt et al. [254] qui ont observ´e le mˆeme ph´enom`ene par AFM et par
mi-croscopie ´electronique en transmission (TEM). Ces auteurs concluent que l’ajout
de 20% de Cu dans le syst`eme FePt fait passer la taille des grains de 20nm `a
50nm apr`es un recuit `a 450°C/10min, ce qui est aussi en accord avec la taille des
grains d´eduite des diagrammes de diffraction77(Tab. I.8). Ces r´esultats sont
ce-pendant en contradiction avec ceux de Park et al. [255], qui observent que la taille
des grains des syst`emes [Fe(57)Pt(43)]Cu(0) et [Fe(57)Pt(43)]Cu(4)78sont
respective-ment de 80nm et 30nm apr`es un recuit `a 500°C/10min. Ces auteurs concluent
que l’ajout du Cu dans le syst`eme FePt supprime la croissance des grains durant
le processus de recuit. Leurs r´esultats contrastent cependant avec ceux d’autres
auteurs, comme ceux obtenus par Barmak et al. [88], sur une couche ´egalement
plus riche en Fe (54.4%), o`u un recuit de 600°C fait passer la taille des grains de
8.5nm `a 20nm79. Apr`es ces observations, regardons un peu plus en d´etails les
modifications structurales et magn´etiques observ´ees sur ces deux ´echantillons E5
etE6 en effectuant les mˆemes ´etudes en faisant varier la concentration en Cu.
76. En notant 2θrad et Λ(2θrad) la position et la largeur `a mi-hauteur d’une raie de
diffraction et λK
αla longueur d’onde utilis´ee, la taille D des grains peut ˆetre estim´ee
en utilisant la relation de Scherrer donn´ee par : D = 0.89·λ
KαΛ(2θ
rad)·cos(2θ
rad). Cependant cette
relation devient impr´ecise dans le cas o`u les grains sont soumis `a des microcontraintes dont
les effets induisent des d´eformations locales de la structure cristalline.
77. La valeur de∼30nmtrouv´ee pour l’´echantillonE5 doit ˆetre nuanc´ee du fait (voir
Fig. I.44) de la contribution encore importante de la phase douce apr`es le cyclage
ther-mique ainsi que de la forme inhabituelle de la raie de surstructure (110).
78. Ce qui correspond dans une ´ecriture ternaire `a Fe(54.72)Pt(41.28)Cu(4)
79. En accord avec les r´esultats de Platt et al. [254] obtenus pour 50[at%]de Fe.
I.C.2.b Influences du Cu : Caract´erisations par rayons X
Cette ´etude a ´et´e effectu´ee sur quatre ´echantillons comportant 0, 3.1, 9.3 et
15[at%] de Cu. La figureI.46pr´esente les r´esultats obtenus. Pour une description
plus simple, les ´echantillons seront d´esign´es par leur concentration en Cu (leurs
compositions exactes sont pr´esent´ees sur la figureI.54). La figureI.46(a1)pr´esente
les diagrammes de diffraction mesur´es et calcul´es pour les quatre ´echantillons.
Les comportements observ´es confortent les r´esultats pr´ec´edemment observ´es sur
les ´echantillons E5 et E6 (Fig. I.44), `a savoir un d´ecalage des pics de Bragg qui
augmente avec l’ajout du Cu de mani`ere d’autant plus importante que l’indiceℓdes
plans diffractant augmente80. Cette observation est clairement mise en ´evidence
au niveau de la figure I.46(b) o`u la quantification de ce d´ecalage par rapport `a la
concentration en Cu, par utilisation de la relation de Bragg, montre une ´evolution
lin´eaire de ce dernier avec l’indice ℓde Miller81 . Ce r´esultat est une cons´equence
des ´evolutions constat´ees des param`etres de maille (Fig.I.46(a2)), o`u l’on observe
que l’ajout du Cu modifie fortement le param`etrecde la structure L10alors que le
param`etrea varie tr`es peu. Ces valeurs des param`etres de maille ont ´et´e d´eduites
de l’analyse Rietveld des quatre diffractogrammes. Le r´esum´e des r´esultats de cette
analyse est pr´esent´e sur le tableauI.9.
Table I.9 – R´esum´e des r´esultats de l’analyse Rietveld et du calcul des intensit´es
int´egr´ees sur l’influence de l’ajout du Cu sur le syst`eme FePt apr`es un traitement thermique
`a 400°C/30min. fv d´esigne la fraction volumique de la phase ordonn´ee, r
F e+Cuet r
P td´esignent respectivement les fractions des sites correctement occup´es par du Fe (ou du
Cu) et par du Pt, S(Rvd) d´esigne le param`etre d’ordre obtenu en utilisant les r´esultats
de l’affinement de structure (Eq.I.1) etSef f(cal) d´esigne le param`etre d’ordre d´etermin´e
par la m´ethode de comparaison des intensit´es int´egr´ees (Eq.I.10).
[Cu](at%) [Fe+Cu](at%) f
v(L1
0) r
F e+Cur
P tS(Rvd) S
ef f(cal)
0% 47.8% 98.5±8.5 0.82±0.02 0.833±0.012 0.65±0.02 0.63±0.052
3.1% 49.1% 86.3±4 0.875±0.02 0.862±0.01 0.74±0.02 0.69±0.032
9.3% 55% 92.6±2 0.964±0.014 0.906±0.01 0.87±0.01 0.66±0.014
15% 59.1% 96.5±5 0.944±0.02 0.896±0.01 0.84±0.02 0.89±0.046
80. Cette observation contraste ´egalement avec les r´esultats de Park et al. [255] qui
ob-servent (sur une plage de 2θ variant de 20 `a 80°) que l’ensemble des positions des pics de
diffraction reste le mˆeme pour 0 et 4[at%] de Cu. Ces auteurs concluent que la diminution
de la temp´erature d’ordre et l’augmentation de la coercivit´e sont respectivement les
cons´e-quences de la s´egr´egation en surface des atomes de Cu et de la formation de pr´ecipit´es en
volume qui augmentent la mobilit´e des atomes de Fe et de Pt du fait de la possibilit´e de
l’immiscibilit´e du Cu avec le syst`eme FePt.
10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 110 120 130 -0,2 0,0 0,2 0,4 0,6 0,8 1,0 90 95 100 105 110 115 0,0 0,1 0,2 0,3 0 5 10 15 3,66 3,68 3,70 3,72 3,74 3,76 3,78 3,80 3,82 3,84 3,86 0,948 0,952 0,956 0,960 0,964 0,968 0,972 annealing 400°C/30mn I n t e n s i t y ( a r b . u n i t s ) 2 (degree) Cu content [at%] 0% 3.1% 9.3% 15% Calcul Bragg Position L1 0 A1 ( 0 0 1 ) S ( 1 1 0 ) S ( 1 1 1 ) ( 2 0 0 ) ( 0 0 2 ) ( 2 0 1 ) S ( 1 1 2 ) S ( 2 2 0 ) ( 2 0 2 ) ( 2 2 1 ) S ( 1 3 0 ) S ( 3 1 1 ) ( 1 1 3 ) ( 2 2 2 ) ( 2 0 3 ) S (a1) L1 0 Peaks ( 2 2 2 ) ( 1 1 3 ) ( 3 1 1 ) ( 1 3 0 ) S 0% 3.1% 9.3% 15% Calcul (a3) a lattice c lattice c/a ratio l a t t i c e p a r a m e t e r s [ Å ] Cu Content [at%] (a2) c / a r a t i o
(a) Diagrammes de diffraction mesur´es et calcul´es et param`etres de maille
0 2 4 6 8 10 12 14 16 0,0 3,0x10 -3 6,0x10 -3 9,0x10 -3 1,2x10 -2 1 d d 1 sin sin 0 0 Miller indice (110) (111) (112) (113) [ S h i f t B r a g g p e a k s ] Cu Content [at%]