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Un nouveau modèle de striations des plasmas radio-fréquence

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Academic year: 2022

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rencontre du non-lin´eaire 2020 1

Un nouveau mod` ele de striations des plasmas radio-fr´ equence

Victor D´esangles1, Jean-Luc Raimbault2, Alexandre Poy´e1, Pascal Chabert2 & Nicolas Plihon1

1 Laboratoire de Physique, ENS de Lyon, Univ Lyon, Univ Claude Bernard, CNRS

2 Laboratoire de Physique des Plasmas, CNRS, Sorbonne U., U. Paris Sud, ´Ecole Polytechnique nicolas.plihon@ens-lyon.fr

L’auto-organisation des d´echarges plasma continues a ´et´e observ´ee d`es le d´ebut du XIXesi`ecle. Elle se traduit par des modulations r´eguli`eres de l’intensit´e lumineuse ´emise, dues `a une instabilit´e d’ioni- sation li`ee `a des non-lin´earit´es de la fr´equence d’ionisation en fonction de la densit´e ´electronique [1].

Des modulations analogues ont aussi ´et´e observ´ees depuis le milieu du XXe si`ecle dans des d´echarges radio-fr´equence (RF), mais dont l’origine restait inexpliqu´ee [2].

Nous proposons un nouveau m´ecanisme d’instabilit´e permettant l’explication de cette auto-organisation grˆace `a un mod`ele fluide pour le plasma, dont les coefficients de transport ´electronique sont calcul´es par un mod`ele cin´etique [3]. Pour un plasma quasi-neutre, le flux d’´electrons Γeet le flux d’´energieHepeuvent ˆ

etre exprim´es en fonction des gradients de densit´e ´electronique∇neet de temp´erature ´electronique ∇Te

en fonction de param`etres de transportDa, µe, χe et κe selon : Γe

He

=−

Daµe χe κe

· ∇ne

∇Te

. Lorsque la fonction de distribution est non-Maxwellienne - usuellement le cas `a basse pression - les termes non- diagonaux sont non nuls. Lorsque ceux-ci sont n´egatifs, le syst`eme devient instable, et des modulations de densit´e ´electronique peuvent se d´evelopper, conduisant `a des modulations d’intensit´e lumineuse.

En utilisant un mod`ele cin´etique pour un plasma d’argon `a basse pression, nous avons montr´e que les termes non-diagonaux peuvent ˆetre suffisamment n´egatifs pour d´estabiliser les effets de diffusion classique pour des pressions inf´erieures `a 150 Pascal. Ces r´esultats expliquent un ensemble d’observations exp´erimentales dans un plasma RF d’argon `a basse pression (entre 0 et 300 Pascal) en g´eom´etrie annulaire : (1) une brisure de l’axisym´etrie est observ´ee au del`a d’une pression seuil, (2) des modulations azimutales de l’intensit´e lumineuse sont observ´ees, dont le nombre d’onde augmente avec la pression, (3) l’axisym´etrie est restaur´ee pour les pressions les plus ´elev´ees (voir Figure 1).

Figure 1.Intensit´e lumineuse d’un plasma annulaire, pressions croissantes de gauche `a droite et de haut en bas.

Le nombre d’ondemdes modulationseimθaugmente avec la pression ; l’axisym´etrie est restaur´ee `a haute pression.

R´ ef´ erences

1. V. I. Kolobov,J. Phys. D39, R487 (2006).

2. A. S. Penfold, J. A. Thornton, and R. C. Warder,Czech. J. Phys. B 23, 431 (1973).

3. V. D´esangles, J.-L. Raimbault, A. Poy´e, P. Chabert, and N. PlihonPhys. Rev. Lett.123, 265001 (2019)

c Non Lin´eaire Publications, Avenue de l’Universit´e, BP 12, 76801 Saint- ´Etienne du Rouvray cedex

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