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Submitted on 1 Jan 1964
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Diffusion optique des couches minces métalliques
Roger Garron, Janine Dalmas, Michel Liberman
To cite this version:
Roger Garron, Janine Dalmas, Michel Liberman. Diffusion optique des couches minces métalliques.
Journal de Physique, 1964, 25 (1-2), pp.166-172. �10.1051/jphys:01964002501-2016600�. �jpa-
00205730�
166.
DIFFUSION OPTIQUE DES COUCHES MINCES MÉTALLIQUES
Par ROGER GARRON, JANINE DALMAS et MICHEL LIBERMAN,
Laboratoire de Physique Expérimentale, Faculté des Sciences de Marseille.
Résumé.
-On décrit une méthode nouvelle de mesure des facteurs de diffusion des couches minces métalliques. On donne quelques exemples des variations de
cefacteur en fonction de
l’épaisseur des couches et de la longueur d’onde, pour l’aluminium, l’argent et l’or, le magnésium
et le fer. On propose
uneinterprétation théorique des résultats basée
surla théorie électroma-
gnétique de la lumière et la structure granulaire de la couche, interprétation qui permet de retrou-
ver les traits caractéristiques des courbes expérimentales.
Abstract.
-A
newmethod is described for measuring the scattering factors of thin metallic layers.
Some examples are given of the variation of the factor as
afunction of the thickness of the
layers and of the wavelength for aluminum, silver and gold, magnesium and iron. A theoretical
interprétation of the results based upon the electromagnetic theory of light and upon the granular
structure of the layer is proposed ; this interprétation permits the characteristic features of the
experimental curves to be deduced.
LE JOURNAL DE
PHYSIQUE
TOME25, JANVIER-FÉVRIER 1964.
Introduction.
-Les 6tudes des couches minces
m6talliques au moyen du microscope 6lectronique
ont montre d’une mani6re certaine 1’existence d’une structure lacunaire de ces couches. Cette structure permet d’ailleurs d’expliquer les varia- tions des constantes optiques avec 1’epaisseur des
couches.
Une telle structure implique n6cessairement 1’existence d’une diffusion optique, comme cela se produit dans les suspensions colloidales m6tal-
liques. Mais alors que dans les suspensions, les granules sont r6parties en volume, le phenomene de
diffusion est ici superficiel, du seulement a des
particules de surface et son importance sera nota-
blement moindre. Aussi la mise en evidence de la lumi6re diffusée dans une direction et a fortiori la
mesure de son intensite seront des operations d6li-
cates, a la limite de la sensibilite des appareils de
detection. Et ce n’est que dans Ie cas particulier du
fluorure de calcium que P. Bousquet [1], en éclai-
rant la face hypotenuse recouverte d’une couche
mince, d’un prisme a r6flexion totale, a observe un syst6me de franges d’interférence tres contrast6es dues a la lumi6re diffus6e.
Nous avons mis en evidence et mesure la diffu- sion optique des couches minces m6talliques en
utilisant une m6thode d’int6gration du flux diffus6
dans tout 1’espace. Nous mesurons en effet non pas l’intensit6 diffusée autour d’une direction, mais le
flux total diffuse et cette extension permet d’obte-
nir un flux mesurable photoélectriquement, en
lumi6re monochromatique, meme pour des fac- teurs de diffusion tres faibles, inférieurs au cen-
tième.
Le montage utilise a ete decrit dans un precedent
article [2]. Nous rappellerons cependant briève- ment te principe de la m6thode.
La couche mince a 6tudier est proj etee sur un support de quartz serr6 dans une monture m6tal-
lique constituant l’anode d’une cellule photo6lee- trique expérimentale. La cathode en est constitu6e par la surface int6rieure d’un cylindre métaHique ferme, perc6 d’ouverture convenablement dispos6es
pour laisser passer les flux incident, transmis et régulièrement r6fl6chi, flux qui sont 61imin6s a
travers des f enetres de quartz. Par suite, seul le
flux lumineux diffuse par la couche m6tallique anodique vient frapper la cathode et le courant photoélectrique correspondant est bien entendu
proportionnel a ce flux. Un 6talonnage pr6alable
de la cathode a partir d’un écran diffusant connu et
inalterable permet de passer facilement du courant
photoélectrique au flux lumineux diffuse. Ce mon-
tage permet ainsi d’étudier les couches métalliques
sous le vide meme qui a servi a leur preparation.
Signalons que 1’anode est 6clair6e sous une inci- dence de 450 et que les couches m6talliques sont
obtenues par projection thermique ; enfin, un dis- positif annexe permet la mesure du flux incident et par suite le calcul des facteurs de diffusion.
Résultats.
-Nous avons étudié un certain nombre de m6taux parmi lesquels l’aluminium, 1’argent et l’or, le magnesium, le fer. Nous donne-
rons ici quelques r6sultats caractéristiques pour chacun des m6taux et nous essaierons d’en d6gager
les traits communs. Chacun des m6taux a 6t6 étudié depuis la plus faible epaisseur mesurable jusqu’au metal massif pour des longueurs d’onde du proche ultra-violet variant entre 366 et 244 my.
Aluminium.
-Les variations du facteur de dif- fusion en fonction de 1’epaisseur des couches 4 longueur d’onde constante (fig. 1) passent par des
Article published online by EDP Sciences and available at http://dx.doi.org/10.1051/jphys:01964002501-2016600
167
Trr. 1.
-Variations du facteur de diffusion 8 en fonction de l’épaisseur des couches minces d’aluminium (en mu).
maxima dont 1’abscisse depend de la longueur
u’onde. Ce maximum se deplace en effet de 60 à
45 my lorsque la longueur d’onde varie entre 366 et 244 my. Les courbes tendent ensuite vers un
palier par valeurs décroissantes. Signalons tout de
suite que cette allure simple des courbes est carac-
téristique des variations du facteur de diffusion
avec 1’epaisseur des couches pour 1’ensemble des mentaux que nous avions etudies, ainsi d’ailleurs
que le deplacement avec la longueur d’onde.
En fonction de la longueur d’onde a epaisseur constante (fig. 2), les variations du facteur de dif-
FIG. 2.
-Variations du facteur de diffusion des couches minces d’aluminium
enfonction de la longueur d’onde (en mu).
fusion sont plus complexes. En particulier, les
courbes pr6sentent plusieurs maxima caract6ris-
tiques de 1’6paisseur consideree. Par exemple, pour des 6paisseurs de 52 et 49 mu, les maxima succes-
sifs sont respectivement situ6s a 332, 296 et 280
pour la première, 335, 297 et 275 mu pour la
seconde. Cependant, il n’apparait pas de depla-
cement systématique du maximum vers les faibles
ou grandes longueurs d’onde lorsque 1’epaisseur
varie.
Quantitativement, les facteurs de diffusion de l’aluminium peuvent d6passer 5 % et peuvent etre
les plus importants pour 1’ensemble des m6taux
que nous avons etudies.
Argent et or.
-Les variations des facteurs de diffusion pour ces m6taux sont semblables entre elles et présentent en outre des analogies formelles
avec les variations correspondantes de l’aluminium,
mais les valeurs maximales ne d6passent pas 1 %.
Nous donnons a titre d’exemple les variations des facteurs de diffusion de 1’argent avec l’épaisseur
des couches pour quelques unes des longueurs
d’onde Átudiées (fig. 3) : on peut y constater un
FIG. 3.
-Variations du facteur de diffusion
enfonction de l’6paisseur des couches d’argent (en mu).
d6placement tres net de l’abscisse du maximum
lorsque la longueur d’onde varie, dans le mame
sens que celui de l’aluminium.
Magn6sium.
-L’6tude du metal sous le vide meme qui a servi a la preparation des couches nous a permis d’étendre nos mesures au cas d’un metal tres oxydable comme le magnesium. Les valeurs
maximales du facteur de diffusion du metal sont relativement faibles, de l’ordre de 3 %, contrai-
rement aux valeurs maximales du metal oxydé,
comme nous le montrerons plus loin.
Les figures 4 et 5 montrent quelques exemples
de variations du facteur de diffusion en fonction de
1’epaisseur a longueur d’onde constante (fig. 4) et
en fonction de la longueur d’onde a epaisseur cons-
tante (fig. 5). En fonction de l’ épaisseur, toutes les
courbes passent par un maximum dont l’abscisse
est une fonction d6croissante de la longueur d’onde
et tendent ensuite vers un palier, pour des 6pais-
FIG. 4.
-Variations du facteur de diffusion
enfonction de 1’epaisseur des couches minces de magnésium (en mu).
FIG. 5.
-Variations du facteur de diffusion des couches minces de magnesium
enfonction de la longueur d’onde (en mu).
seurs relativement faibles de l’ordre de 50 my, pour lesquelles les autres facteurs optiques n’atteignent pas la valeur limite relative au metal massif.
Les facteurs de diffusion du metal massif sont
nuls, a la sensibilite des mesures (soit une valeur
inférieure au 1/1000) pour des longueurs d’onde sup6rieures a 320 my environ. On peut eonstater
d’autre part la regularite et la simplicite des varia-
i,ions en fonction de la longueur d’onde par oppo- sition aux variations correspondants de Palumi-
uium ( fig. 2).
Si ron maintient les couches minces du m6tal au contact de l’air sous une pression de 10-3 torr
(vide primaire), l’oxydation du magnesium pro- duit des modifications tres importantes de la dif- fusion, dont les facteurs peuvent se trouver multi- pli6s par 20 et plus. Nous donnons quelques exemples sur la figure 6 de l’importance que prend
FIG. 6.
-Variations du facteur de diffusion des couches minces de magnesium oxyde
enfonction de la longueur
d’onde (en mu).
la diffusion apr6s ce traitement des couches : pour des epaisseur et des longueurs d’onde convenables,
le facteur de diffusion peut depasser 60 %. Signa-
lons que corrélativement, le facteur de r6flexion
régulière subit une diminution importante, dans
une proportion a peu pr6s e.gale a celle de I’accrois- sement du facteur de diffusion.
Fer.
-Les facteurs de diffusion des couches minces de fer sont tres faibles, de l’ordre de quel-
ques milli6mes, pour les longueurs d’onde com- prises entre 313 et 244 my. Les courbes de varia- tions en fonction de 1’epaisseur présentent un
maximum tres aigu pour des epaisseurs comprises
entre 11 et 13 mlL lorsque la Jongueur d’onde passe de 313 à 244 mu (fig. 7).
FIG. 7.
-Variations du facteur de diffusion
enfonction
de l’épaisseur des couches minces de fer (en mu).
169
En fonction de la longueur d’onde, les courbes
passent par des maxima dont l’abscisse depend de 1’epaisseur consideree. Ce deplacement du maxi-
mum est tres apparent sur la figure 8 : sa position
passe de 265 my pour une epaisseur de 11 mu à
290 mu pour le metal massif.
FIG. 8.
-Variations du facteur de diffusion des couches minces de fer
enfonction de la longueur d’onde (en mu).
La consideration de l’ensemble des courbes que
nous avons trae6es conduit a d6gager les propri6t6s
suivantes communes a tous les m6taux :
1. A longueur d’onde constante, les variations du facteur de diffusion en fonction de 1’epaisseur
des couches présentent une valeur maximale dont l’abscisse depend non seulement du metal consid6r6 mais aussi de la longueur d’onde.
De plus, 1’epaisseur critique pour laquelle se produit ce maximum est une fonction réguliè-
rement variable de la longueur d’onde.
2. A epaisseur constante, les courbes de diffusion
présentent un maximum dans tous les cas sauf celui de l’ahiminium pour lequel les variations du facteur de diff usion sont complexes.
Dans le cas ou le maximum est unique, l’épais-
seur correspondante a ce maximum se d6place régulièrement, suivant le metal, vers les faibles ou
grandes longueurs d’onde lorsque l’épaisseur aug- mente.
3. Quantitativement, les valeurs maximales des facteurs de diffusion dependent d’une mani6re
importante du metal considere : elles peuvent
varier de quelques milli6mes a quelques centi6mes ;
1’etude du magnesium montre d’autre part l’impor-
tance de 1’oxydation, meme partielle. Ces remar-
(tunes conduisent a lier en particulier le facteur de diffusion a l’indice de refraction complexe du
metal.
Interpr6tation théorique des r6sultats.
-Nous proposons une interpretation bas6e sur la th6orie electromagnetique classique, en admettant une
structure granulaire des couches. Nous traitons ici
le cas particulierement simple d’une couche cons-
titu6e de petites spheres metalliques, de dimensions
al6atoires autour d’une valeur moyenne caract6-
ristique de 1’epaisseur de la couche. Nos hypotheses
de base sont les suivantes :
1. La couche presente une structure granulaire, chaque grain 6tant considere en premiere approxi-
mation comme une petite sphere de diam6tre e’gal
a a.
2. Pour chaque epaisseur massique d, les dia-
m6tres a sont r6partis de façon al6atoire autour du
diam6tre moyen a. Afin de donner une application
coner6te de nos calculs, nous expliciterons plus
loin la fonction de r6partition des grains suivant la statistique de Maxwell-Boltzmann.
3. L’indice complexe de chacune des spheres est
celui du metal massif..
4. Nous ne considererons ici que la diffusion
simple, c’est-à-dire que nous admettrons que la diffusion totale est la somme des diffusions de
chaque grain. Cette restriction est moins limitative que dans le cas de la diffusion volumique, car la
diffusion multiple ne peut se produire que pour la lumi6re diffus6e tangentiellement a la couche.
Dans ces conditions, soit Q(a, X) le facteur de
diffusion d’une sph6rule de diam6tre a.
Le flux lumineux diffuse par une particule dans
tout 1’espace sera : Q(a, À). I(a) of I(a) est le flux
lumineux requ par une particule.
Pour dN spheres de diametres compris entre a et a + da
On en d6duit le flux total diffusé :
et le facteur de diffusion totale :
ou C est le flux incident sur la couche, .No le
nombre total de particules.
Les diff6rents facteurs qui interviennent sous le
signe somme peuvent s’expliciter de la facon sui-
vante : ’
1. Facteur de diffusion Q(a, À).
Le calcul du facteur de diffusion d’une sphere a
ete effectue par Mie [3] d’apr£s la th6orie 6lectro-
magn6tique classique. On sait que l’on peut
ecrire [4] :
ou zx est une fonction des param6tres de Mie, (Iv
et pv telle que :
cm
Les paralnètres de Mie, av et pv sont des series altern6es rapidement convergentes tant que a n’est pas trop grand. Ils sont fonctions respectivement
des quantit6s a’et p
=lnx, ou m est l’indice com-
plexe du metal constituant la sphere.
2. Le flux lumineux I (a) reçu par une sphere de
diamètre a peut s’ecrire
si E est 1’eclairement constant sur la surface.
En fonction du flux requ :
ou S est la surface totale de la couche.
3. D’apr6s nos hypotheses, nous prenons comme
r6partition des diamètres autour de la valeur moyenne une fonction de Maxwell-Boltzmann, soit
pour le nombre de spheres dont le rayon est com-
pris entre a et a + da une expression de la forme :
En 6crivant d’autre part que le nombre total de
particules est 6gal a No :
En utilisant ces expressions, nous pouvons ecrire le facteur de diffusion total :
On peut dans cette expression dimmer le nombre
total No de particules qui est une fonction de a en
introduisant un facteur de remplissage g tel que
s
=g S, s 6tant la surface r6ellement recouverte par le metal. En effet, on a :
D’oii 1’expression de 3 :
avec
La valeur de F(-a-, X) ne peut etre calcul6e que par integration graphique car on ne connait pas
d’expression analytique simple de Q(a, X). Remar-
quons d’autre part que le coefficient 6, qui carac-
térise la repartition de la grosseur des grains, reste
arbitraire.
Application au cas du fer.
-Nous avons expli-
cite les calculs precedents dans le cas des couches iiiinces de fer pour lequel l’indice complexe relatif m
pst connu dans l’ultraviolet avec une precision
suffisante. L’expression du facteur de diffusion
th6orique que nous avons calcule contient le coef- ficient
aque nous devons choisir arbitrairement.
En effet, ce param6tre caractérise l’amortissement de la fonction de distribution autour de la valeur moyenne et on peut penser que
adoit d6pendre
non seulement du metal projet6 mais encore de
1’6tat du support sur lequel on le projette.
II est possible aussi que
6soit fonction de 1’6pais-
seur des couches. Nous avons donc étudié tout d’abord l’influence de ce parametre sur le facteur
de diffusion th6orique 8 pour ]a longueur d’onde
À
=265 mfL (fig. 9). On peut constater que les variations de
an’entrainent pas de modifications
FIG. 9.
profondes dans 1’allure g6n6rale des courbes du facteur de diffusion th6orique en fonction du dia- metre moyen. Toutes les courbes présentent un
maximum tres net autour de a === 150 my et nous ne pensons pas que les variations de
aavec 1’epais-
seur des couches puissent alterer de fagon sensible
les r6sultats qualitatifs que nous allons exposer maintenant.
Nous avons calculé et trace les variations du facteur de diffusion th6orique dans le cas du fer,
au facteur de remplissage pr6s, pour des diam6tres moyens variant de 0 a 250 mu a longueur d’onde
constante (fig. 10) ainsi que les variations en fonc- tion de la longueur d’onde a diam6tre moyen constant ( fig. 11). La consideration de ces courbes fait apparaitre les points suivants :
-
a diam6tre moyen constant, en fonction de la longueur d’onde (fig. 11) les courbes passent par des maxima pour des diam6tres superieurs a 50 my.
D’autre part, on peut constater que l’abscisse de
ces maxima est une fonction nettement croissante
du diam6tre moyen des grains : ]a longueur d’onde
correspondante au maximum passe de 258 a 290 mu
171
FIG. 10.
FIG. 11.
lorsque le diam6tre moyen passe de 100 a 250 mu.
Ce deplacement est a rapprocher directement des r6sultats expérimentaux (fig. 8). Remarquons en
effet que la multiplication de chacune des courbes par un facteur g constant n’altère pas nos con- clusions sur le d6piacement du maximum ;
-
a longueur d’onde constante, en fonction du diam6tre moyen, on peut constater sur la figure 10
un 16ger deplacement du maximum vers les faibles diam6tres lorsque la longueur d’onde passe de 244 a 302 mu, en bon accord qualitatif avec les r6sul-
tats expérimentaux (fig. 7). On peut admettre en premiere approximation que la variation du fac- teur g pour une faible variation d’épaisseur n’agira
pas de fagon sensible sur 1’allure de ces courbes.
Enfin, du point de vue quantitatif, les valeurs maximales des courbes th6oriques 8 jg et des
courbes expérimentales à
=leA) sont du meme
ordre de grandeur compte tenu des valeurs pos- sibles de g. En eff et on peut obtenir une relation simple entre 1’epaisseur massique d et le diam6tre
moyen des particules en 6crivant que l’ épaisseur
est 6gale au rapport du volume occupe par les
particules a la surface totale de la couche, soit :
Or : d’ou
et la comparaison des points caractéristiques des
courbes th6orique et expérimentale, tels que l’abscisse du maximum, permet de calculer le fac-
teur g. Nous avons trouve pour le maximum des courbes g = 0,46, valeur tout a fait possible.
Conclusion.
-La m6thode de mesure que nous avons mise au point nous a permis 1’etude des fac-
teurs de diffusion de quelques m6taux sous un angle d’incidence de 450. Les r6sultats obtenus font
apparaltre d’une part des variations importantes
de la diffusion aussi bien avec l’épaisseur des
couches qu’avec la longueur d’onde, d’autre part, permettent de fixer 1’erreur maximale dans le cal-
cul des flux r6ellement absorb6s puisque l’on sait
qu’il est de pratique courante de negliger la dif-
fusion dans toutes les 6tudes relatives a 1’absorp-
tion des couches minces. N’ous nous proposons d’étendre prochainement nos mesures a d’autres
m6taux, ainsi que de modifier le montage en vue de
faire varier F angle d’incidence du flux lumineux
sur la couche ; il serait 6videmment d’un intérêt certain de mesurer les facteurs de diffusion en inci- dence normale. D’autre part, nous nous proposons
un essai d’extension de ces mesures aux radiations visibles par le choix d’une cathode appropri6e.
Au point de vue th6orique, sur la base de la
th6orie électromagnétique classique, et de la struc-
ture granulaire de la couche suivant un modèle
simple, nous avons pu retrouver qualitativement
les aspects caractéristiques des courbes de diffusion du fer, en admettant pour le metal en couche minces l’indice complexe du metal massif. Le mo- d6le choisi, a savoir des petites spheres m6talliques
dont les diam6tres sont de dimensions al6atoires autour d’une valeur moyenne, ne constitue qu’une premiere approximation. Cependant, telle quelle, la comparaison des r6sultats th6orique et exp6ri-
mentaux peut apporter des renseignements sur la
structure des couches minces, en liaison avec
1’etude de microphotographies au microscope 6lee- tronique.
Discussion
M. GRARD. - La th6orie proposee permet-elle de
determiner la valeur absolue de l’intensit6 de la lumi6re diffus6e ? Peut-on retrouver a partir de
cette th6orie le pouvoir de reflexion qui serait un
cas particulier (la distribution angulaire de ]a
lumi6re diffusée devant presenter un pic a 1’epingle
de réflexion) ?
M. GARRON. - Nous ne nous sommes int6ress6s
jusqu’ici qu’au flux total diffuse par la couche, et
ceci pour comparer les courbes th6oriques et exp6-
rimentale. Mais je pense qu’il est possible de cal-
culer a partir de cette th6orie la distribution angu- laire de l’intensit6 diffus6e, et en particulier l’inten-
site de la lumiere régulièrement réfléchie, bien entendu, au facteur de remplissage pr6s.
BIBLIOGRAPHIE [1] BOUSQUET (P.), Thèse, Ann. Physique, (13), 1957, 2,
163.
[2] DALMAS (J.) et GARRON (R.), Revue d’Optique, 1963, 6,
282.
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[4] VAN
DEHULST (H. C.), Light scattering by small par- ticles, Capman et Hall, London, 1957.
SUR LES PROBLÈMES THÉORIQUES DES ANOMALIES OPTIQUES DES COUCHES MINCES
EXPOSÉ D’ENSEMBLE Par H. MAYER,
Institut de Physique de Clausthal, Allemagne.
Résumé.
2014L’auteur examine tout d’abord quels sont les mécanismes d’absorption possibles
du point de
vuede la théorie quantique de l’action mutuelle dans
unmétal, du rayonnement et
des électrons
«libres
».Il discute ensuite les essais d’interprétation théorique des anomalies optiques
des couches métalliques minces à partir des divers types de structure possibles pour de telles couches.
Abstract.
-First the author examines possible absorption mechanisms from the point of view
of the quantum theory of interaction of radiation with
"free
"electrons in
ametal.
Attempts at the theoretical interprétation of the optical anomalies of thin metallic layers for
different possible types of structure are critically reviewed.
Zusammenfassung.
-Nach einem einleitenden Überblick über die qùantentheoretisch môgli-
chen Absorptionsmechanismen bei der Wechselwirkung
vonStrahlung und " freien
"Elektro-
nen
in einem Metall werden
anHand einer Skizze möglicher Typen
vonSchichtstrukturen die
vorliegenden theoretischen Versuche erörtert, die die optischen Anomalien dünner Metallschichten
zu
deuten versuchen.
LE JOURNAL DE