HAL Id: jpa-00249477
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Submitted on 1 Jan 1996
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Étude de l’efficacité des modes de Lamb dans la
signature acoustique V(z) d’une couche mince par la
théorie de la résonance
Abderrafi Ramdani, Franck Augereau, Gilles Despaux
To cite this version:
J. Phys. III France 6
(1996)
571-595 MAY 1996, PAGE 571#tude
de
l'eflicacit4
des
modes
de
Lamb
dans
la
signature
acoustique
V(z)
d'une
couche
mince
par
la
th40rie
de la
r4sonance
Abderrafi
Ramdani,
FranckAugereau
(*)
et GillesDespaux
Laboratoire
l'Analyse
desInterphases
et deNanophysique
(**),
Case courrier 82,Place
EugAne
Bataillon, 34095Montpellier
cedex 5, France(Re§u
le I acfit 1995, rdvisd le 30 janvier 1996, acceptd le 15 fdvrier1996)
PACS.43.20.+g
General linear acousticsPACS.43.35.+d Acoustics
properties
of thin films PACS.43.35.+d Surface waves inliquids
and solidsPACS.68.35.Gy
Mechanical and acoustical propertiesR4sum4. Les relevds
exp6rimentaux
dessignatures
acoustiques sur des couches minces sont difliciles hinterpr6ter
car tous les modes de Lambg6n6r6s
h di1f6rentsangles
d'incidence vontinterf6rer,
cequi
rendimpossible
toute d4termination desparambtres
acoustiques
de la couche. II est alors ndcessaire de mettre en ceuvre une mdthoded'analyse
rapide
afin d'dtudier l'influencede chacun des
parambtres
de la couche sur ces modes afin de d6terminer les conditionsoptimales
de mesure. La mdthode
d'analyse
basde sur la ddterniination de lalargeur
I mi-hauteur despics
de r6sonance du pouvoir r6flecteur est un moyenoriginal
de rdsolution duproblAme
direct, quipermet de montrer que certains modes sont
plus
eflicaces qued'autres,
et doncplus
faciles 1d6tecter sur les
signatures
exp6rimentales.
Grice aux rAsultatsth60riques
obtenus, lesfr6quences
d'observation ont pu Atre
optimisdes
pour des6paisseurs
desplaques
d'acier et deverre utilis6es
dans la
partie
exp6rimentale
de ce travail. De ces mesures et en utilisant notre modAle desimulation de la
signature
acoustique, nous avons r6solu le problbme inverse et ainsi avons pud6terminer les parambtres acoustiques de ces couches.
Abstract.
Experimental
acousticsignatures
measured on thin films areperturbated
by
aninterference process between the different Lamb waves
generated
at various incidentangular
values. This disables the correct determination of the layer's acoustic parameters and for this
reason, it is helpful to
develop
apowerful
method to study the influence of each layer parameteron these modes. For this purpose, a
technique
based on the calculation of thehalf-height
width on resonancepeaks
of the reflectance power has been elaborated. From these simulations, wemay determine which modes will be more
efficiently
extracted from acousticsignatures
for steeland
glass
films. This result has been confirmedexperimentally
using
ultrasonicfrequencies
optimized
versus thesample
thicknesses forglass
and steelplates.
Indeed,
fromexperimental
acoustic signatures, we have next been able to retrieve the acoustic parameters of these
samples.
1. Introduction
Depuis
unevingtaine
d'ann4es,
lamicroscopie
acoustique
a AtAd4veIopp4e
enprenant
encompte
diff4rents
aspects,
dont lesprincipaux
sont la r4alisationd'appareillages
deplus
enplus
perfor-mants,
une familiarisation auximages
acoustiques
qui
permet une meilleureinterpr4tation
des(~) Auteur
auquel
doit Atre adress6e lacorrespondance
(e-mail:
augereau@
lain.univ-montp2.fr)
("~)
URA CNRS D1881structures
visualis4es,
et surtout une modAlisation deplus
enplus
sophistiqu4e
dessignatures
foumies par Ie
microscope
acoustique.
Cesappareils
peuventAgalement
fonctionner soit h unefr4quence
donn6elorsqu'on
d4focalise lecapteur
parrapport
auplan
focal,
soit h di1f4rentesfr4quences
avec uneprofondeur
fix4e de d4focalisation du capteur. Cessignatures
acoustiques
sont rel16es h la structure des mat4riaux
analys4s,
h leurspropr14t4s 41astiques
et h leursmor-phologies.
Si pour un mat4riau
massif,
leproblAme
inverse,
c'est-h-dire la d4termination des vitesses depropagation
des ondeslongitudinale
ettransversale,
et par suite lespropr14t4s
m4caniques,
estrelativement facile h
traiter,
it n'en est pas de mAme pour une couchedApos4e
sur un substratmassif ou pour une couche
immerg4e
dans unliquide.
Dans ce cas, le
problAme
inversequi
consiste hd4terminer,
soit les4paisseurs
descouches,
soit leurs
densit4s,
ou encore leurspropri4tAs
mAcaniques,
ou les trois h lafois,
devient trAscomplexe,
si on veut le r4soudre avec des relev4s designatures
acoustiques
exp4rimentales
V(z),
d'autant que certains modes depropagation
sont peuefficaces,
c'est-h-direapparaissent
plus
difficilement que d'autres.
Pour traiter le
problAme
inverse,
il est n4cessaire de biencomprendre
leproblAme
direct et parsuite,
d'4tudier l'influence de chacun desparambtres
physiques
mis enjeu
dans la modAlisationde la
signature
acoustique
V(z).
L'analyse
duproblAme
directpeut
Atre forte par des modAleshabituellement utilis4s
(Sheppard
et Wilsonill,
Atalar [2]).
Si on veut lesappliquer
auproblAme
inverse,
les m4thodes de calcul basses sun les modAlespr4-cit4s
sort difficiles h mettre en ceuvre.Pour cette
raiser,
nous avonsadapt4
etd4veloppA
une m4thode de calculplus rapide
bas4esur un formalisme de rAsonance utilis4 pour l'Atude de la diffusion en
physique
nuc14aire [3].I
partir
de ce nouveaumodAle,
nous essaierons de mettre en 4vidence lesparamAtres, qui
sontlids h l'eflicacit4 des modes de Lamb dans la
signature
acoustique
V(z),
afin de d4terminer pourchaque
couche 4tud14e les conditionsoptimales
de mesure. En utilisant cesinformations,
dessignatures
acoustiques
serontpr41ev4es
sur desplaques
de verre et sur desplaques
d'acier douxaria de d4terminer les vitesses des modes de Lamb
pr6sents.
Ces mesures serviront h dormer unexemple
de traitement duproblAme
inverse et h d4terminer ainsi lesparamAtres
acoustiques
de la couche.
2. Notion d'eflicacitA de la
signature
acoustique
Les di1f4rents modAles de calcul de la
signature
acoustique
nAcessitent la connaissance dupouvoir
r4flecteur ou coefficient de r4flexion des structures en fonction del'angle
d'incidenceR(9).
Leplus
utilis4 est celui deSheppard
et Wilsonill
:9m~x
Viz)
=P~
(9)R(9) exp(2jkoz
cos9)
sin 9 cos 9d9(1)
oh
9rnax
est ledemi-angle
d'ouverture de lalentille,
ko
est le vecteur d'onde darts leliquide,
P2
lo)
=
exp(-3,
5 x(50)2
IS
/9rnax)~)
est lar4partition
del'4nergie
de la fonctionpupille
de lalentille pour une ouverture maximale de 50°.
Le traitement
num4rique
dessignatures
exp4rimentales
outh40riques
par Transform4e deFourier
Rapide
(TFR)
permet
d'extraire les vitesses des ondes de Lamb us,a avec la relationUs~a " ~~ ~ ~
(2)
2f)z
oh vi est la vitesse des ondes
acoustiques
decompression
darts le milieu decouplage
etf
estN°5 ETUDE DE L'EFFICACITE DES MODES DE LAMB 573
Lorsque
ces vitesses sortrapides,
la TFR Depermet
pas la d6termination des valeurs us,aavec une bonne
pr4cision
h cause d'un faible nombre de lobes darts lasignature.
La m4thode de traitement de la
signature
acoustique
par TFR montre quel'4nergie
des raiescorrespond
h l'efficacit4 des modes.Cependant,
plusieurs
solutions permettent d'avoir des raiesayant
la mAme4nergie
alors que l'amortissement etl'amplitude
de lasignature
acoustique
senttrAs di1f4rents.
Une deuxiAme mAthode de traitement
appelAe
"mAthoded'analyse
directe" est basAe sur lad4composition
de lasignature
acoustique
par des fonctionsmath4matiques
simples.
Eneifet,
Kushibiki [4] a montr6 que la
signature
acoustique
Viz)
peut
Atred6compos4e
en deux termes :une fonction de transfert ou
r4ponse
de la lentille :VL(z),
une fonction
caract4ristique
du mat6riau :hlz)
dont lap4riodicit4
spatiale
est fonction dela vitesse du mode choisi.
Viz)
=
VLlz)
+Viz)
13)
oh
VL(z)
=A+Ai
exp(-aiz)
+A2
exp(-o2z~)
est la fonction de transfertpouvant
Atre obtenueexp4rimentalement
sur un mat6riauparfaitement
r4fl4chissant(or, TAflon...),
eth(z)
= Gexp(-flz)
sin ~~ z +c)(4)
zocorrespond
au terme depropagation
de l'onde de Lamb leplus
efficace dans lasignature
acoustique.
Dans le dernier terme de la fonction
Viz),
lesparamAtres
G etfl
correspondent
respective-ment h
l'amplitude
du mode depropagation
et h son amortissement. CesparamAtres
sontlids,
soit h la nature du
mat4riau,
soit h son (tat de surface ou encore h sa structureinterne,
mais surtout ilsd4pendent
de la r44mission des ondes deplaque
vers le capteur(rayonnement).
3. ThAorie des modes de Lamb
Le cas
qui
nous intAresse est celui pourlequel
l'4paisseur
d du matAriau est de l'ordre degrandeur
ou inf4rieure h lalongueur
d'onde~,
dans ce cas il y apropagation
des modesdispersifs
de Lambsym4triques
etantisym4triques,
dont les vitesses sontrespectivement
les solutions desAquations
IS)
et(6)
d4termin4es par Viktorov [5]lorsque
laplaque
estimmerg6e
darts un
liquide
:lk)
+s))~ coth(qsd)
4k)qsss coth(ssd)
=i~~
~~~~
IS)
P2
@@
(k~
+s~)~
tarn(qad)
4k~qasa tarn(sad)
= I~~
~~~~
~~~ ~ ~ ~ P2fij
kL
=~
j~ g~,a ~~,a~~
danslesquelles
kT
" et(7)
~T ~2-~2
_~2
uJ s,a~ s,a Tks,a
" Us~api et p2 sont
respectivement
les densit6s du milieu externe et de laplaque.
Les nombres d'ondesaxe Z
milieu
liquide Sup6rieur:
V3,p
3onde onde incidente rdfldchie f > f 'I
~
f ~i@
~' T .) VL, VT,p
2 ' "0
~
aXe X ~ ~'~
ondes transmisesmilieu
liquide
infdrieur: Vi,p
Fig. 1. R6flexion et transmissimi par
une
plaque immerg6e
entre deux fluides.[Reflected
and transmitted waves inplate
immersed between twoliquids.]
On utilise les indices
(s,a)
pour lesparamAtres k,
s, q et u ariaA'indiquer qu'ils
correspondent
aux modessymAtriques
is)
et/ou
antisym4triques
la).
Cette notatioisera consent<4e darts lasuite de cet article.
On remarque que darts le cas d'une
plaque
libre,
les seconds membres des4quations IS)
et(6)
sort nuls.Une deuxiAme m4thode de d4termination des vitesses de
dispersion
u~,a consiste h calculer lepouvoir
r4flecteur R et h trouver [es solutionsqui
annulent son d4norninateur. Le modAle deBrekhovskikh [6] est le mieux
adapt4
pour d4terminer R en fonction del'angle
d'incidence etde la
fr4quence
des ondes 4mises vets unempiiement
de couches sun un substrat ma,qsif.Pour une
plaque
in1mergAe
dans un fluide(Fig. I),
le coefficient de r4flexionpeut
se mettresous la forme suivante
(fluiAe
I = fluide3)
:N°5 ETUDE DE L'EFFICACITE DES MODES DE LAMB 575
On
peut
v4rifier ais4ment que le coefficient de r4flexion pour uneplaque
peut
s'4crire)(N
M)j
)(N
+M)j
))
~ ~(lo)
ii
~~)
~ jjj
j ~ ~~)
jij
ZL ZL ZL ZLPuis,
en posantea=
~~(N-M)
(L
ill)
Cs
=I(N+
M)
ZL
et le
rapport
desimp4dances
r =
~~
(12)
ZL
on obtient : ~(Ca
~~(C~~
iT)
~~ ~~~)Cs
~Ca
iT ~Cs
iT ~~~~I
l'aide des4quations
(9), ill)
et(12)
eten
posant
: d =2d',
s =[et
q =
fi~,
les
quantit4s
Ca
et C~ deviennentEn alfectant h
k,
q et s les indices "a"(#q.
(14))
et "s"((q.
(15)),
on remarque que les4quations
:Cs
ir = o(16)
et
Ca
+ ir= o
(17)
sont strictement
4quivalentes
aux4quations
(5)
et(6)
donnant les modessym4triques
etanti-sym4triques
d'uneplaque immerg4e.
De
mAme,
hpartir
del'4quation
(13),
on voit que la condition d'annulation dupouvoir
r4flecteur est
Cacs
=r~
(18)
Pour une
plaque
peucharg4e,
oh r est trAspetit
devantI,
c'est-h-direquand
l'imp4dance
acoustique
duliquide
est trAspetite
devant celle dusolide,
la condition d'annulation dupouvoir
r4flecteur
(18)
et les4quations
donnant les modes propres de laplaque
libre coincident. Surles
figures
2 et 3 nous donnons unexemple
de courbe dedispersion
des vitesses en fonctionVitessedephase~knds) al Si ,~ as " s4 si al 8 S1~ v~ v~ ao D 2 4 0 8 lo 12 14 lo F-e (l4Hcmm)
Fig.
2. R6seau dedispersion
des vitesses des modes de Lamb pour l'acier. Traits gras : modessym6triques. Traits fins : modes antisym6triques.
[Velocities
of Lamb modes asa function of the
product
offrequency
f
andplate
thickness e in a steelsample.]
Vitesse de phase ~kws) al ~~ ~~ as ~~ 53~~
ai a6 VL-+ So vT ~'~~ v ao D 2 4 0 8 lo 12 14 id F-e (l4hz.mm)Fig.
3. RAseau de dispersion des vitesses des modes de Lamb pour le verre. Traits gras : modessym4triques.
Traits fins : modesantisymAtriques.
[Velocities
of Lamb modes asa function of the
product
offrequency
f
and plate thickness e in aglass
N°5 ETUDE DE L'EFFICACITE DES MODES DE LAMB 577
4. Formalisme de la rAsonance
angulaire
La th40rie de la diffusion rAsonnante R-S-T-
(Resonance
Scattering
Theory)
dAvelopp4e
enacoustique
par Uberall et ses collaborateurs pour descylindres,
puis
pour desplaques
[3, 7],
s'appuie
sun les r4sultats de l'6tude de la diffusion enphysique
nuc14aire. Le coefficient derAflexion 4crit sous la forme d'une somme de deux termes
((qs.
(13)) pr4sente
un caractArerAsonnant
quand
lesparties
r4elles de son d4nominateurs'annulent,
c'est-h-direquand
lafr6-quence de l'onde incidente coincide avec une
frAquence
propre donn4e parCa
= o ouCs
=o,
r 4tant
suppos4
petit
devant I. On dit que laplaque
entre en r4sonancelorsqu'une
onde deLamb est
g4n4r4e.
Pour une
fr4quence
donn6e,
Ca
etCs
peuvent
s'exprimer
en fonction de la variableangulaire
9 ou x
= sin 9
(9
(tautl'angle d'incidence).
On note
respectivement
xm~ et xm~ les r6sonancesangulaires
du m-iAme modesym4trique
etantisym4trique.
Afin de mettre en 6vidence le caractAre r4sonnant de
R(9),
on4crit,
auvoisinage
de lar4sonance
angulaire
des modessym4triques
ouantisym6triques,
lesd4veloppements
deCa
etCs
en sArie deTaylor,
soitCs(x)
=Cs(xm~
+lx
xma)
Ii
+l19)
~~ ~=~_~I
la r4sonanceangulaire
xm~ on a :c~(x~~)
= o.(20)
De mAmeCa(x)
=Ca(xm~
+(x
xm~)
1)
+(21)
~=~~~ avecCa(xm~)
" o.(22)
En posantrm
=~°'~
dAfinie comme
largeur
h mi-hauteur du mode(23)
~'~
8Cs_a
' 8~ ~~~ avec r~,~ = PI ~l ~°S 9 ~ Pi(Vi
/uL)~
xj~
~ P2 UL COS$1 p2 g2(~~)
ms,a et~
~'~~ "~ ~'~ ~°~ ~'~ ~°~~/
1~~
)
~~~
~~~1~~)
~'~+2r~
(9~
cos 29 sin 2~t + ~ty sin 29 cos 2~t) cot
~
(25)
2~
~'~~ "~~'~~°~~'~~~~
~~/
~)
~ ~~~
~~~~)~'~
+2r~(9~
cos 29 sin 2~t + ~ty sin 29 cos2~t)
tan~
°~ 9~ =
(lift/uL)~
xS~~)-~/~
~t~ =llui/vT)~
xS~
~)-~/~
P~
=kdxm,
~((vi
/uL)~
xL~
~)-~/~
j27)
Q~
=-kdxm~
~jjui/uL)~
xL~,~)-~/~
uL r = uTle
pouvoir
rAflecteur donn4 parl'4quation
(13)
peut s'4crireR
-j~
II
+iir~~
ilii~
+j~
/£~+iir~~
ilii~
(28)
En
d4veloppant
lesexpressions
deCa
etCs
donn4es par les4quations
(19)
et(21)
on obtient~
ii /
ii
[(x
xm~)i
ij
ii~
~m~"~m,
I
+k)
~-~~,Ii /
I)*)
(lx
xm~)([*
it
1 ~(x
xm~)
)irm~
ji
+ c~ ~~~~ c~ ~m~»~~En
n4gligeant
lesquantit4s
~
)et
~~
devant I pour chacun des modes et enCa
~=s~~Cs
~=s,~~posant
:ir~
r~ri
~~~
~laiX[,)
~CaiXm~)
(£')~=s,,1,
j30)
1r
r~rj
~~~~~
"fisii[~)
~csixm~)
(%)~=~,,,~
II est
possible,
en sommant sur tous lesmodes,
de dAduire R sous la forme suivante= m~
~~
~l~
~-X),
1(~
~ +~j
~ ~ma + flm~ ~ ~~ ~a ~ ~ma)ir~~
(31)
Les
quantitAs
flm~ etflm~
deviennentnAgligeables
lorsque
r~,a estpetit
devant I. Les z4rosannulant le
pouvoir
rAflecteur R et lespoles
annulant son d4nominateur sort donnAs parXz4ro ~ Xm~ a +
fm~
a132)
xpoie = xm~ +)irm~
a133)
Le formalisme de la rAsonance
appliquAe
surR(9)
((q.
(29)
et(31))
a donnA des rAsultats enparfaite
concordance avec les relations exactes deR(9)
donnAe par Brekhovskikh [6].Ceci reste valable dans la mesure oh les modes sont relativement
AloignAs
(Figs.
4a etb).
Dans le cas
contraire,
unphAnombne
d'interfArences entre les modes voisins seproduit
niais leN°5 ETUDE DE L'EFFICACITE DES MODES DE LANIB 579 ~ i,o 0,8 D,8 © ©~ 0,6 ~ 0~6 - ~ $
£
E ~ < 0,4 < 0,4 s~ 0~2 a~ ao D,0 D,0 0 10 20 30 40 50 0 10 20 30 40 50a)
6(degr6s)
b)
6(degrAs)
Fig.
4.Comparaison
du pouvoir rdflecteur exact(ModAle
deBrekhovskikh) a)
et de lasuperposition
des pouvoirs r6flecteurs autour des rAsonances ao et so
b),
pour uneplaque
d'acierd'6paisseur
15 ~tmh une
fr6quence
de 100 MHz.[Comparison
bet,veen the reflectance power calculated from the Brekhovskikh's model(Curve a)
andthe superposition of reflectance powers around the resonance points ao and so
(Curve b)
in the caseof a 15 ~tm thick
plate
of steel at 100MHz-j
On vient de voir que pour tous les modes contenus dans le
pouvoir
r6flecteur,
et par suite dans lasignature
acoustique,
on a uneexpression
du coefficient de rdflexionqui
est fonction deleur
largeur
h mi-hauteurrm,
~.
Dans les relations
(23)
et(24)
on a pusAparer
deuxparambtres
qui
influencent l'efficacitA de lasignature
acoustique,
its'agit
:1)
du rapportd'imp4dance
rs,aqui
est fonction des rapports des densit4sliquide/mat4riau.
Ainsi dans une
plaque
libre on retrouve le mAmeph4nomAne
que celui observ4 sun un matAriau massif [9],jj(~ /~~)2
~2
/ji
~2
)j)
2)
du facteur ~'~ ~~ ~qui
dApend
de laposition
du modesur le
(ac,,~
8~~~~
rAseau de
dispersion.
CettepositiIn
est fonction de la i<itesse depropagation
desmodes,
du
produit
fe
et de la nature du mat4riau.1
Si
Ai
angle (degrds)
0a)
10 IS 20 1Ai
~l
angle
(degr4s)
b)
~ 10 20Fig.
5.Comparaison
dupouvoir
rAflecteur exact(ModAle
deBrekhovskikh) a)
et de lasuperposition
des
pouvoirs
rdflecteurs autour des rdsonances al et sib),
pour uneplaque
de verred'dpaisseur
35 ~tm h uuefrdquence
de 100 MHz.[Comparison
between the reflectance power calculated from the Brekhovskikh's model(Curve a)
andthe
superposition
of reflectance powers around the resonancepoints
al and si(Curve b)
in the caseof a 35 ~tm thick
plate
ofglass
at 100MHz-j
5. Relation entre
l'amplitude
et laphase
Nous avons vu au
paragraphe
prAcAdent
que les modes de Lamb se manifestent dans lepouvoir
r4flecteur par un minimum du module et un
changement
dephase.
Le minimum du moduleest alors caract4risA par sa
largeur
h mi-hauteurrm~
~,
et le
changement
dephase
par sapente
tan(q7~,a).
En
elfet,
si nous 4crivons lepouvoir
rAflecteur auvoisinage
d'une r4sonance xm~~
de la
fagon
suivante
Ri,a
"~ ~~~'~
i~~~'~
"A~,a
+iBs,a,
(34j
X Xmsa
§lXms
a
nous pouvons ainsi d4duire la
pente
de laphase
dupouvoir
r4flecteur par :N°5 ETUDE DE L'EFFICACITE DES MODES DE LAMB 581
Tableau I.
Infl~ence
de la variation de la densitd d~iiq~ide
s~r laiarge~r
dmi-ha~te~r,
iescoefficients
G,
fl
et s~ri'ampiit~de
d~pic
de la TFR.[Influence
of thecoupling
fluiddensity
on thehalf-height
width r parameter, the G andfl
parametersand also on the
spectral
amplitude
of the mode detected byFFT.]
densitA du indice
Largeur
h G fl coefficientAmplitude
duliquide
picorrespondant
au mi-hauteurAmplitude
d'amortissementpic
dAtectA(kg/m~)
rapport pi/p2
(degrAs)
du mode du mode par TFR1000 1 0,25 1,18 x 10~~ -2,14 x 10~~ 12,7 2500 2 0,68 2,52 x
10~~
-5, 82 x10~~
15,6 4000 3 1,03 3,75 x10~~
-8, 77 x10~~
15,3 5000 4 1,36 4,9 x10~~
-1, 41 x10~~
14 8000 5 2,05 7,1 x10~~
-1, 63 x10~~
ii,1 12 000 6 3,36 1,22x10~~
-2, ii x10~~
7,2 13 600 7 3,5 1,31 x 10~~ -2, 97 x10~~
6,8Nous remarquons
ainsi,
hpartir
del'4quation
(35),
que la pente de laphase
est directementproportionnelle
h lalargeur
h mi-hauteur et que, pour x = xm~~,
tan q7~,a tend vets l'infini.
Ce rAsultat est d'une
grande
utilit6 car il nouspermet
par la suite d'utiliser un seulparamAtre
pour caract4riser un
mode,
h savoir salargeur
h mi-hauteur.6. Influence de la densit4 du
liquide
Si nous reprenons
l'Aquation
(23)
nous dAduisons immAdiatement que lalargeur
h mi-hauteurrm~_~ est
proportionnelle
au rapport des densit6s duliquide
sur le solide~~
(cf.
Tab.I).
CetteP2
propr14t4
est mise en 6vidence sur lafigure
6 oh nous avonsaugment4
la densitA duliquide
de loco
kg/m3
(eau)
h 13 600kg
/m3 (mercure).
Nous remarquons alors uneaugmentation
syst4matique
de lalargeur
h mi-hauteur(Fig.
6a)
ainsi que de la pente de laphase
(Fig. 6b)
(les
indices I h 7 de cetteFig.
correspondent
h ceux du Tab.I).
On constate que cette
augmentation
de lalargeur
h mi-hauteur se traduit sun lasignature
acoustique
(Fig. 6c)
par uneaugmentation
del'amplitude
despremiers
lobesqui
diminue trAsrapidement
pour les lobes suivants.L'analyse
directe de cessignatures,
auxquelles
nous avonsretranchA la
rAponse
de lalentille,
montre que le facteur G ainsi que le coefficientd'amortisse-ment
fl
varient dans le mAme sens que lalargeur
h mi-hauteur(voir
Fig.
7).
7. Influence des
paramAtres
acoustiques
uL et UT1)
Dansl'6quation
(23)
on d6duit que lalargeur
h mi-hauteurrm~
~ s'annule pour xm~ ~ = sin
9m~~
= "~ ="~,
c'est-h-dire u~,a = uL. Lalargeur
h mi-hauteur est donc minimaleu~,a uL
lorsque
la vitesse dephase
estAgale
h la vitesselongitudinale
uL de la couche.2)
Nous pouvons remarquer h travers les courbes dedispersion
des modes de Lamb de l'acieret du verre donn6es sur les
figures
2 et3,
que les modessymAtriques
ne se coupent pas entre eux, il en est de mAme pour les modesantisym6triques.
Cependant,
un modesym6trique
peut
, 3 1,O O,8
#
°,6 SE
~ O,40,2
o,o
o lo 20 30 40 50 ~~8
(degr6s)
2,0 1,5 1,o o,5 Q3 o,o,li
7J -o,5~
© -i,oc--i,5
-2,0 lo 20 30 40 50Fig.
6. Pouvoir rdflecteur(a)
amplitude
etb)
phase)
etsignature
acoustique
c)
du mode si pourune plaque d'acier
d'6paisseur
65 ~tm h une fr6quence de 100 MHz h di1f6rentes valeurs de densit6 duliquide.
[Reflectance
power(a)
amplitude,
b)
phase)
andcorresponding
acousticsignature c)
for si mode for aN°5 ETUDE DE L'EFFICACITE DES MODES DE LAMB 583
AJnplitude
relative (indice Ii0,06 0,04 0,02 o,oo '°,°2 D6focalisation Z (~m) -0,04 0 256 512 768 1024
AJnplitude
relative(indice 3)
0,06
0,04
0,02
o,oo
~°,°2 D£focalisation Z(~m)
-0,04
0 256 512 768 1024AJnplilude
relative(indice 6)
0,06
0,04
0,02 o,oo~°,°2
Ddfocalisation Z(~m)
-0,04
~)
0 256 512 768 1024Fig.
6.(Suite.)
Par
ailleurs,
nous constatons aussi que le nombre de croisement des modes n'est pas le mAmepour tous les matAriaux.
Ainsi,
les deux modes d'ordreI,
al et si, se croisent en deuxpoints
pour le verre, alors
qu'ils
ne se croisent pas pour l'acier. Le seulparamAtre
qui
a variA entre ces deux matAriaux est le rapport de la vitesselongitudinale
uL sur la vitesse transversale UTPour
simplifier
l'Acriture,
on pose :"~
=
(.
Nous avons Atud16 alors le lienprobable
entre le UTcroisement des modes al et si et les valeurs de la
largeur
it mi-hauteur en fonction de(. Ainsi,
nous avons montrA que pour les matAriaux dont lerapport
(
est de1,76,
les modes al et si secroisent en un seul
point,
tandis que pour( supArieur
h1,76
(acier),
on n'a pas depoints
decroisement et
qu'il
en existe deux pour(
infArieur h1,76
(verre).
Ce rdsultatpermet
d'AtablirfacteurG
fi(*m0rthsement)
14 12 lo 8 6 G 5 O O,66 t03 1,36 2,05 3,36Lar%eurkmi-hauteur(dogr&)
Fig.
7. Variation des paramAtres G etfl
en fonction de lalargeur
I mi-hauteur.[Variation
of fl and G parameters as a function of thehalf-height
width parameterr-j
symAtrique
et d'un mode anti-symAtrique
de mAmeordre,
cequi
est d'unegrande
utilitA pourl'identification des modes dans la
signature
acoustique
expArimentale.
Lors de cette Atude
thAorique,
nous avonsremarquA
aussi que pour tous les modesAtudiAs,
la
largeur
h mi-hauteuraugmente
defagon
quasi-linAaire lorsque
cerapport
(
augmente.
Ainsi,
pour le mode si,
r~,
augmente
linAairement,
tandis que cettecaractAristique
prAsente
unacci-dent pour le mode al h la valeur de
(
(gale
h1,76
prAcAdemment
calculAe(Fig.
8).
Lalargeur
h mi-hauteur est donc elle aussi sensible au croisement des modes.
8. Influence de la
position
du mode de Lamb dans le rAseau dedispersion
sur lalargeur
h mi-hauteurCette influence se traduit
mathAmatiquement
((q.
(23)
par l'intermAdiaire du facteur(vi
/uL)~
X$
~
~'~0Cs,a
fi ~=~~~ ~Sur la
figure
9 nous avons tracA pourl'acier,
dans le cas de la rAsonanceangulaire,
lalargeur
h mi-hauteur
rm~,~
pour lespremiers
modes ao et so en fonction duproduit
fe.
Pour le mode ao,
ra~
diminue constamment et passe par un minimum pour se stabiliserensuite h une valeur constante.
Pour le mode so,
r~~
passe par un maximum et tend vers la valeurd'asymptote
dera~.
Nous avonsauspi
suivi l'Avolution de lalargeur
h mi-hauteur pour les modessupArieurs
(al,
si, Pour l'acier celle-ci passe par un maximumpuis
tend vers zArolorsque
fe
augmente
N°5 ETUDE DE L'EFFICACITE DES MODES DE LAMB 585 Largeur A mi-hauteur (°) O,2 a~ O, I 1,33 2 2,33 2,66
V~VT
~f=1,76
TFig.
8.Largeur
h mi-hauteur pour les modes al et si en fonction du rapport~~
du mat4riau. UT
[Half-height
width for al and si modes as a function of the ~~ ratio of thesample.]
UTVitesse de phase @ads) L°rM k m~hawmr
(deK*)
So a ra~ 1,5 c lln i rs~ O 1 2 8 4 5 7 8 F.e tMHz.mm)Fig.
9.Largeur
h mi-hauteur pour les modes ao et so sur le r6seau dedispersion
en fonction duproduit
fe.
Vitesse de
phase (kmh)
Largeur
h mi-hauteur(degrd~)
12 0,4 r~~ 0,3 8 ~ al 4 o,1 0 0 2 4 6 8 10 12 14 16a)
F-e(MHz.mm)
Vitesse de
phase (knvs)
Largeur
I mi-hauteur(degrds)
12 03 10 ~
0,25
ml
80,2
6 b d j~ 4 oj 20,05
0 0 0 2 4 6 8 10 12 14 16 ~~ F-e(MHz.mml
Fig.
10.Largeurs
h mi-hauteurs et courbes dedispersion
pour les modesa)
al etb)
si en fonction duproduit
fe.
[Half-height
,vidth for al(Curve
a)
and si(Curve b)
modessuperposed
on thecorresponding
curvesof the velocity versus the
product
offrequency
f
and thickness e-j9.
lltude
de l'ellicacitd des modes de Lamb darts lasignature
acoustique
en fraction de Ieurspositions
sur Ie rdseau dedispersion
Nous irenons de i<oir que la
Iargeur
I mi-hauteur dupouvoir
rAflecteurRio)
des modes 41<olueen fonction du
produit
fe.
II est intAressant de suivre [esconsAquences
de cette 4volution surla
signature
acoustique.
Pourcela,
nous airons Atud14 [es modes so et si en diffArentesrAgions
du r@seau de
dispersion
correspondant
I diffArenteslargeurs
h mi-hauteur despics
du module deRio),
ou h despentes
plus
ou moinsimportantes
de sonchangement
dephase.
9. I.
#TUDE
Du MODE so Nous avonspartagA
la courbe dedispersion
du mode so en troiszones et avons
calcu14
[espouvoirs
r4flecteurs et [eslargeurs
h mi-hauteur autour despoints
a.N°5 ETUDE DE L'EFFICACITE DES MODES DE LAMB 587 1,o 0,8 © 0,6 m 4 E < 0,4 0,2 a c 0,0 0 10 20 30 40 50
8
(degr6s)
Fig.
il.Amplitude
du pouvoir rdflecteur pour le mode soaux
dpaisseurs
dea)
15 ~m,b)
25 ~m etc)
35 ~m h unefr6quence
de 100 MHz.[Amplitude
of the reflectance power for the so mode for variousplate
thicknesses at 100 IVIHz: 15 ~m(Curve
a),
25 ~m(Curve b)
and 35 pm(Curve c).]
On peut
distinguer
1)
UnepremiAre
r@gion
(point a)
oh la vitesse du mode est presque constante. Cecicor-respond
h une foiblelargeur
h mi-hauteur(Fig.
ii-point
a).
2)
Une deuxiAmerAgion
(point b)
correspondant
au maximum de lalargeur
I mi-hauteur et oh la vitesse dedispersion
diminue avec une forte pente(Fig.
11-point
b).
3)
Une troisiAmer4gion (point
c)
oh la vitesse du mode tend vers celle deRayleigh
et oh lavaleur de la
largeur
h mi-hauteur estcomprise
entre celles des deux autresrAgions.
Les
signatures
acoustiques
calculAes hpartir
despouvoirs
r@flecteurs simul@s darts chacunedes zones,
auxquelles
nous avons retranchA larAponse
de lalentille,
sont donnAes surlafigure
12.Comme nous l'avions
prAvu,
l'eificacitA des modes croft avec lalargeur
h mi-hauteur ou avecla pente de la
phase
(Tab. II).
Ainsi,
pour lepoint
b,
nous obtenons unesignature plus
ellicaceque pour [es deux autres
points.
9.2.
#TUDE
Du MODE si Sur lafigure
10b dormant la variation de lalargeur
I mi-hauteurde
l'amplitude
du mode si, nousdistinguons
quatre
rAgions
I)
unepremiAre rAgion
(point
a) correspondant
h la crAation dumode,
oh sa vitesse diminuefortement en fonction de
fe.
La relation(23)
montre que lalargeur
I mi-hauteur T~~prAsente
Agalement
une forte d6croissance2)
une deuxiAmer@gion
(point b)
oh lalargeur
h mi-hauteur est minimale. Nous sommes auAmplitude
relative(indice a)
0,04 0,02 o,oo-0,02
~~ ~ D6focalisation Z(~m)
-0,06
0 256 512 768 1024Amplitude
relative(indice b)
0,04
0,02 o,oo -0,02-0,04
D6focalisation Z(~m)
-0,06 0 256 512 768 1024Amplitude
relative(indice
c) 0,04 0,02 o,oo -0,02-0,04
D6focalisation Z(~m)
-0,06
0 256 512 768 1024Fig.
12.Signatures
acoustiquescalcu16es,
du mode so aux6paisseurs
dea)
15 pm,b)
25 pm etc)
35 pm h unefr6quence
de 100 MHz.[Acoustic
signatures
calculated for the so mode for variousplate
thicknesses at 100 MHz: 15 pm(Curve
a),
25 pm(Curve b)
and 35 pm(Curve
c).]
3)
une troisiAmer4gion
(point
c)
oh lalargeur
I mi-hauteur est maximale. La vitesse dumode si est trAs voisine de la vitesse
vTv5
4)
unequatriAme rAgion
(point
d)
oh lalargeur
h mi-hauteur diminue et la vitesse du modetend
asymptotiquement
vers UT.Nous avons calculA le
pouvoir
rAflecteur autour despoints b,
c et d du mode si du rAseau dedispersion.
Lesamplitudes
des diffArents coefficients de r4flexion sort donn6es sur lafigure
13.N°5 ETUDE DE L'EFFICACITE DES MODES DE LAMB 589
Tableau II. Variation des
coejJicients
G etfl
dir mode so enfonction
de saposition
sitr lerdseait de
dispersion.
[Variation
of G andfl
parameters
for mode so versits theposition
on thecorresponding
curveof
velocity
uersits theproduct
offrequency
andthickness.]
fe
6mm£~
r~
p
G(MHz
mm)
(degr4s)
(m/s)
(degr4s)
point a 1500 17,19 5076 0,13 -1, 5 X10~~
5, 96 X 10~~point
b 2500 23,61 3749 1,04 -1, 85 X 10~~ 7 X 10~~point
c 3500 29,39 3061 0,71 -1, 28 X10~~
3 X10~~
1,o 0,8 0J ~e
0,6 4 E ~ 0,4 0,2 d c b 0,0 0 lo 20 30 40 508
(degr6s)
Fig.
13.Amplitude
du pouvoir r6flecteur pour le mode si aux6paisseurs
deb)
45 pm,c)
65 pm etd)
90 pm h unefr6quence
de 100 MHz.[Amplitude
of the reflectance power for the si mode for variousplate
thicknesses at 100 MHz: 45 ~m(Curve a),
65 pm(Curve b)
and 90 pm(Curve
c).]
Comme pour le cas
prAcAdent,
l'ellicacitA des modesaugmente
avec lalargeur
h mi-hauteur.C'est ainsi
qu'au
point
c, nous avons le maximum d'ellicacitA alorsqu'au point b,
elle devientminimale.
Ce rAsultat est
Agalement
confirmA par la dAtermination de l'attAnuationfl
et del'amplitude
G calculAes I
partir
del'analyse
directe de lasignature
acoustique
(Tab. III).
9.3. CHOIX DE LA
FR#QUENCE
ET DE L'#PAISSEUR DES#CHANTILLONS
EN FONCTION DEL'APPAREILLAGE.
D'aprls
Cette 6tUde SUr l'eliicacit# des dirt(rents modes SUr le r6SeaUfrAquence-Amplitude
relative(indice b)
o,oi o,oo-o,oi
-0,02 0,03 D6focalisation Z (~m)-0,04
0 256 512 768 1024Amplitude
relative (indice c)o,oi o,oo -o,oi -0,02 ~°'°~ Ddfocalisation Z (~m) -0,04 0 256 512 768 1024
Amplitude
relative(indice
d) o,oi o,ooo,oi
-0,02 -0,03 Ddfocalisation Z (~m) -0,04 0 256 5 12 768 1024Fig.
14.Signatures
acoustiques calcu16es, du mode si aux6paisseurs
deb)
45 pm,c)
65 pm etd)
90 pm k unefr6quence
de 100 MHz.[Acoustic
signatures
calculated for the si mode for various plate thicknesses at 100 MHz: 45 ~m(Curve a),
65 pm(Curve
b)
and 90 pm(Curve
c).]
Apaisseur
en quatrer4gions
distinctesdans la zone oh : 1000 <
fe
< 2000 Hz m, le mode ao est leplus
ellicace de mAme pour 2000 Hz m <fe
< 4000 Hz m : le mode so est leplus ellicace,
40U0 Hz m <
fe
< 6000 Hz m le mode al est leplus eificace,
6000 Hz
m <
fe
< 8000 Hz m : le mode si est leplus
ellicace.N°5 ETUDE DE L'EFFICACITE DES MODES DE LAMB 591
acoustique
h notredisposition
:I)
Nous avons une seule valeurd'Apaisseur,
c'est-I-dire,
un seulAchantillon,
mais nouspouvons utiliser le
microscope
acoustique
hplusieurs
frAquences.
Si notreplaque
d'acier faitpar
exemple
50 ~m, le maximum d'ellicacitA est obtenu pour le mode ao I unefrAquence
de 20 MHzle mode so h une
frAquence
de 50 MHzle mode al I une
frAquence
de 90 MHzle mode si h une
frAquence
de 130 MHz.Nous pouvons
ainsi,
en choisissant lafrAquence
detravail,
dAtecter le modequi
nous intAresse avec le maximum d'ellicacitA.2)
Le deuxiAme cascorrespond
aux conditions suivantes : lemicroscope
fonctionne I uneseule
frAquence
(capteur
avec une faible bandepassante),
et notre matAriau hanalyser
estdisponible
enplusieurs Apaisseurs.
Par
exemple,
pour unefrAquence
de 50MHz,
l'eificacitA des modes ao, so, al et si estmaximale
respectivement
pour [esApaisseurs
20 ~m, 50 ~m, 90 ~m et 130 ~m.II est
possible
de choisirI'@paisseur
convenable pour d4tecter avec le maximumd'eificacitA,
le mode
qui
nous int@resse.10. Rdsultats
expdrimentaux
L'Atude
prAcAdente
sur l'acier a montrA sur Ie rAseau dedispersion
que le mode so est leplus
eificace entre [es valeurs 2000 Hz m et 4000 Hz m du
produit
fe,
alors que le mode a-i l'estentre 4000 et 6000 Hz m.
Ainsi,
dans [es relevAs dessignatures
acoustiques
avec unmicroscope
fonctionnant h 50
MHz,
le mode so est leplus
ellicace pour des@paisseurs comprises
entre 50et 70 ~m, par contre le mode al l'est pour une
4paisseur
voisine de 75 pm.Cependant,
cesdeux modes conservent une ellicacitA sullisante pour toutes [es
4paisseurs
comprises
entre 50et 80 ~m, ce
qui
permet de [es dAtecter darts toutes [essignatures
acoustiques
expArimentales.
Par
ailleurs,
le mode si n'est dAtectA dans aucune de cessignatures,
car it n'est eificacequ'h
partir
d'uneApaisseur
de l10 pm. En cequi
concerne le mode ao,qui
th@oriquement
n'estellicace
qu'entre
1000 et 2000 Hz m, it n'est dAtectA que pour desApaisseurs
de l'ordre de50 ~m.
Ainsi,
l'AtudethAorique
de lalargeur
h mi-hauteurT,
nouspermet
deprAiroir
et de dAterminerdans un
premier
temps,
pour chacun desmodes,
ceuxqui peuvent
Atre dAtectAs dans lasignature
acoustique
thAorique
afind'optimiser
[es conditions de mesures et faciliter la dAtection des modes sur [es relev4sexp4rimentaux
dessignatures
acoustiques.
Tableau III. Variation des
coejJicients
G etfl
dir mode si enfonction
de saposition
sitr lerdseait de
dispersion.
[Variation
of G andfl
parameters for mode si versits theposition
on thecorresponding
curveof the
velocity
versits theproduct
offrequency
andthickness.]
fe emin
vsi
rsi
P G(MHz mm)
(degrAs)
(m/s)
(degrAs)
point b 4500 15,47 5625 0,04 -1 X 10~~ 3 X 10~~
point c 6500 19,76 4438 0,25 -2,1 X 10~~ 1,2 X 10~~
Vitesse de phase ~knds) 12 ai Sz io al si sv
'
~°h
+ poin~ expddmentaux O 2 3 4 5 6 F-e (MHz.mm)Fig.
15. Confrontation des r6sultatsth60riques
etexp6rimentaux
(+)
sur le r4seau dedisper-sion de Lamb pour l'acier h la
frdquence
de 54 MHz.[Superposition
ofexperimental
points(+)
and theoretical curves of Lamb modesvelocity
versusthe
product
offrequency
and thickness calculated with the fitted simulation parameters for aplate
ofsteel at 54
MHz-j
Tableau IV. Valeitrs des uitesses des modes calcitldes par TFR d
partir
des relends de signa-titresezpdrimentales
et les ualeitrscorrespondantes
dparttr
dir rdseait dedispersion
(Vmode)
aprds
ajitstement.
[Comparison
for different Lamb modes between thevelocity
extractedby
FFT fromexperi-mental
signatures
and those calculated(Vmode)
from the fitted parameters VL andVT-j
Vitessedu mode al Vitessedu mode so Vitessedu mode ao
(Pm)
(m/S)
(m/S)
(m/S)
TFR Vmaae TFR Vmade TFR Vmade
50 6351 6314 3474 3472 2727 2749
60 5504 5537 2939 3114
70 4877 5011 2942 3006
75 4690 4686 2945 2971
80 4500 4472 2956 2954
#tart
placA
darts [es conditionsoptimales
demesure des modes de Lamb pour une
plaque
d'acier de 50 ~m
d'Apaisseur,
nous avons identifiA [es modes depropagation
prAsents
darts [esV(z)
expArimentaux.
Ensuite,
nous avons cherchA h rAsoudre leproblAme
inverse c'est h dire larecherche des vitesses des ondes
longitudinale
et transversale sepropageant
darts cetteplaque.
Cette dAtermination s'effectue darts un
premier
temps hpartir
de la simulation de la signa-tureacoustique
de laplaque
par le modAle deSheppard
et Wilsoniii
et enprenant
pour [esparamAtres
vL, UT et p des valeursapproximatives
issues de la littArature. ParTFR,
onN°5 ETUDE DE L'EFFICACITE DES MODES DE LAMB 593 1 V(Z) o,s
a)
0 320 640 960 1280 1600 Iltfocafisadon Zman)
A1nplitudenonnMisteduV(Z)
o,sb)
° ~~° 64° 960 1280 l6tW l~*f0calisation Z~Am)Fig.
16.Signatures
acoustiquesexp4rimentales
d'uneplaque
de verred'4paisseur
60 pma)
et d'uneplaque
d'acierd'6paisseur
70 pmb)
h lafr4quence
de 54 MHz.[Experimental
acoustic signatures at 54 MHz for a 60 pm thickplate
ofglass
(Curve a)
and for a70 pm thick
plate
of steel(Curve
b).]
[es vitesses des modes extraits des mesures
expArimentales.
De Ii un programmeinformatique
ajuste
parapproximations
successives [esparamAtres
de simulation de la couchejusqu'l
ce que [es vitessesthAoriques
etexpArimentales
des modes coincident(Fig. IS).
Ce travail a AtA
r6pAtA
pour 5 lamesd'acier,
dont [es6paisseurs
sontcomprises
entre 50 et80 ~m. De l'ensemble des mesures
expArimentales,
on a d6terminA [esparamAtres
recherchAsVitcsse al sz j al lo 8 So ' 4 ~
~°h
+ points exp4dmentaux o O 2 3 4 5 6 F-e (MHz.mm)Fig.
17. Confrontation des r6sultatst1i60riques
etexpdrimentaux
(+)
sur le rdseau dedisper-sion de Lamb pour le verre k la
frdquence
de 54 MHz.[Superposition
ofexperimental
points
(+)
on thecurves of Lamb modes
velocity
versus theproduct
of frequency and thickness calculated with the fitted simulation parameters for a
plate
of steel at54
)[Hz.]
soit 2881
m/s.
I
partir
de vL et UTajustAes prAcAdemment
h 54l~Hz,
la valeur calculAe est de2873m/s.
Le tableau IV permet de comparer [es i<itessesexpArimentales
des modes de Lambavec celles obtenues
thAoriquement
eninjectant
dans le modAle [esparamAtres
ajust4s
de lacouche.
Des r4sultats semblables ont 4t4 obtenus sur des
plaques
de i;erre pourlesquelles
la pr4ci-sion des mesures estplus
satisfaisante,
car le mat4riau 4tantplus
homogAne,
[es relev@s dessignatures
sontplus
contrast@s(Figs.
16a,b
etFig. 17).
Conclusion
Avec ces
r4sultats,
on a d4montr4 que l'on peutd4terminer,
defapon
non destructive et trAslocale, [es
propri@t4s
m4caniques
d'une couche ou d'uneplaque
trAs mince dontI'@paisseur
peut
alter de la fraction d'un millimAtrejusqu'h quelques
micromAtres,
lorsque
[es mesures sontfaites aux
frAquences adaptAes.
Laprincipale
dillicultA Atant irks souvent liAe h l'identificationdes modes de Lamb dons la
signature
acoustique,
il Atait nAcessaire de trouver une mAthode dereconnaissance liAe h leur ellicacit@. Le formalisme de rAsonance
angulaire
utilisA darts ce travailapporte une aide
importante
pour r4soudre ceproblAme
ainsi que leproblAme
inverse,
h savoir,caract4riser [es
propr14t@s m4caniques
deplaques
et couches minces parsignature
acoustique.
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