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Submitted on 1 Jan 1980
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Caractérisation par diffraction X, microscopie électronique et fluorescence X, des couches minces
obtenues par évaporation de SmS. Structures cristallographiques après recuits par le faisceau
électronique
M. Gasgnier, J.P. Sénateur
To cite this version:
M. Gasgnier, J.P. Sénateur. Caractérisation par diffraction X, microscopie électronique et fluo- rescence X, des couches minces obtenues par évaporation de SmS. Structures cristallographiques après recuits par le faisceau électronique. Journal de Physique, 1980, 41 (10), pp.1127-1133.
�10.1051/jphys:0198000410100112700�. �jpa-00208938�
Caractérisation par diffraction X, microscopie électronique et fluorescence X,
des couches minces obtenues par évaporation de SmS.
Structures cristallographiques après recuits par le faisceau électronique
M. Gasgnier
ER. 060210
«Eléments de Transition dans les solides », C.N.R.S., 1, place A.-Briand, 92190 Meudon-Bellevue, France et J. P. Sénateur
ER. 155
«Laboratoire des Matériaux »,
E.N.G. Ingénieurs Electriciens de Grenoble, Domaine Universitaire, B.P. 46, 38042 St-Martin-d’Hères, France (Reçu le 18
mars1980, révisé le 19 mai, accepté le 29 mai 1980)
Résumé. 2014 Des films minces sont obtenus par évaporation
sous10-6 torr du sulfure SmS de samarium divalent.
Les dépôts d’épaisseur inférieure à 1 500 Å environ sont toujours amorphes. Ceux d’épaisseur supérieure à 2 000 Å
ont des propriétés différentes
enfonction de la température du support. Ces échantillons déposés à 85 K et lentement
réchauffés jusqu’à 293 K sont gris-noir et cristallisés (structure c.f.c., a
=5,91 Å), et correspondraient à
unétat de
valence + 2 de Sm. A 293 K les dépôts sont jaunes et mal cristallisés (structure c.f.c., a
=5,58 Å) et correspon- draient à
unétat de valence + 3 de Sm. Les résultats sont obtenus par diffraction X et diffraction électronique, quelques analyses sont faites par fluorescence X. Au sein du microscope, après recuits à l’aide du faisceau d’élec- trons, il apparaît les composés : Sm2O2S, B-Sm2O3 et C-Sm2O3. A haute température il y
aformation de nouvelles structures ayant de grandes mailles et appartenant probablement à
unsystème ternaire Sm-O-S,
commele révèle
la fluorescence X.
Abstract.
2014Thin films
areobtained from divalent SmS evaporation under
a vacuumof 10-6 torr. The layers with
a
thickness of less than 1 500 Å
arealways amorphous. Those with
athickness of
morethan 2 000 Å present some
properties varying according to the substrate temperature. The samples deposited at 85 K and slowly heated up to 293 K
areblack-grey and cristallized (f.c.c. structure, a
=5.91 Å) which may be characteristic of the 2 + valence state for Sm. At 293 K, samples
areyellow and poorly cristallized (f.c.c. structure, a
=5.58 Å) which may be cha- racteristic of the 3 + valence state for Sm. Crystallographic results
areobtained by X-ray diffraction and electron diffraction. Analysis have been made by the X-ray fluorescence method. The electron beam permits to anneal the
films and the following compounds appear : Sm2O2S, C and B-Sm2O3. At high temperature there is formation of
new
structures with large lattice parameters probably belonging to the Sm-O-S ternary system
asX-ray fluorescence
analysis shows it.
Classification
Physics Abstracts
61.10
-61.14
-61.40
-61.50
-61.55D - 68.55
-68.90
-81.15G - 82.80
Introduction. - L’évaporation sous vide du com- posé, purement divalent Sm2 + S, a permis d’étudier
l’état de valence du samarium. Les échantillons obte-
nus présentent des caractéristiques bien définies en
fonction de la température du support ou des recuits.
En l’absence de méthode directe : ESCA (déplace-
ment des pics), pertes d’énergie (structure fine des raies), l’effet de changement de valence a été observé à l’aide de la diffraction X et de la diffraction électro-
nique. Ces deux méthodes ont amené à différencier des structures cristallographiques proches de celles
relatives à Sm"S et Sm"S. La fluorescence X a été aussi utilisée afin de vérifier la présence des deux composants au sein des échantillons de faible épais-
seur.
Plusieurs méthodes ont été employées pour fabri- quer des dépôts de sulfure de samarium et étudier leurs propriétés physiques. Holtzberg et Torrance [1]
par canon à électrons, Batlogg et al. [2] par évapora-
tion flash, Suryanarayanan et Brun [3], Chenevas-
Paule et al. [4] par coévaporation, ont donné des résul-
tats relatifs aux propriétés cristallographiques, opti-
ques et de transport (effet Kondo) des échantillons obtenus. D’importants travaux ont été effectués par
Bzhalava, Shul’man, Sminov et al. [5-9]. Les échantil-
lons sont obtenus par coévaporation ou par évapora-
tion de SmS divalent. Les résultats montrent plus particulièrement la possibilité d’un changement d’état
de valence de la couche par chauffage à 670 K [5, 6]
ou par polissage de surface [7, 8, 9]. Ces auteurs ont
Article published online by EDP Sciences and available at http://dx.doi.org/10.1051/jphys:0198000410100112700
1128
étudié les propriétés cristallographiques, optiques et électriques des échantillons. Ils notent la présence
de différentes phases cristallographiques en fonction
des conditions expérimentales, surtout en fonction
de la température (supports chauds et recuits). Les
résultats obtenus par Shul’man et al. [8] feront l’objet
d’une discussion dans cet article. Ils seront comparés à
ceux déterminés par Zhukova et al. [10] et Ryabov
et al. [11, 12] dans le cas de monocristaux de SmS et à ceux de Jayaraman et al. [1 3] et Felmlee et Eyring [14] dans le cas de poudre.
1. Préparation des échantillons.
-1.l PRÉPARA-
TION DE SmS.
-Les composés sont préparés par réaction directe de la vapeur de soufre sur le samarium distillé. En vue d’éviter une réaction trop violente, les éléments sont portés à deux températures différentes, dans une ampoule de quartz placée dans un four à
2 zones de température : cette technique permet de contrôler la réaction. Au début de l’expérience, le
soufre est porté à - 600 K et le samarium à - 800 K, les températures sont augmentées progressivement jusqu’à 700 et 1 000 K. Après environ 300 h, la diffu- sion du soufre est totale. Le produit très inhomogène,
est composé du samarium libre et de ses divers sul- fures. Il est introduit après compression dans un creuset
de tantale soudé à l’arc sous faible pression d’hélium (0,1 bar). L’ensemble est alors porté à 2 700 K par induction HF directe sur le creuset de tantale et refroidi
en quelques heures. Les monocristaux obtenus sont
broyés et caractérisés par diffraction X, mesures
magnétiques et absorption X. Ces diverses techniques
permettent de conclure que l’état de valence du Sm est purement 2 +, le diagramme X ne permet de déceler que SmS (a
=5,9684 A).
1.2 PRÉPARATION DES COUCHES MINCES. - La
poudre est placée dans un creuset de très faible sec-
tion afin de porter le produit réfractaire à haute tem-
pérature (1 800 K environ), et obtenir un taux d’éva- poration convenable. L’enceinte à vide classique est
munie d’un piège à azote liquide. Le vide est de
l’ordre de 7-8 x 10 - 7 torr. Les supports sont en
float-glass ou NaCl et peuvent être refroidis jusqu’à
des températures proches de l’azote liquide. Les films
minces d’épaisseur 500 à 3 000 A environ sont déposés
soit à 293 K soit à 85 K environ (la vitesse de dépôt
varie de 10 à 150 Â/s environ). Ils sont ensuite retirés de l’enceinte afin de pouvoir être étudiés. Ils sont
décollés du verre à l’aide d’un vernis et du NaCI par flottaison sur l’eau distillée.
2. Caractérisation des échantillons. - 2. 1 DÉPÔTS
AMORPHES ET MAL CRISTALLISÉS.
-Quelle que soit la
température du support les couches minces (e 1 500 A) présentent les caractéristiques des
matériaux amorphes. Ces échantillons seront nom-
més type (SmS)A",. Par diffraction X et diffraction
électronique les clichés montrent des anneaux larges
et flous.
Cependant, il faut noter que, au sein du microscope électronique en utilisation ordinaire, le faisceau élec-
tronique peut induire une légère élévation de tem-
pérature de l’échantillon. Ce phénomène a été observé pour les films de type (SmS)An" qui ont alors tendance à cristalliser très faiblement. Les anneaux de diffrac- tion sont alors plus marqués (Fig. 1). Il est possible d’indexer, à partir du système d’anneaux, un réseau cristallographique de type c.f.c. et de paramètre :
a
1 =5,58 ± 0,03 À (la constante du microscope a
été établie par l’indexation de composés cristallins bien connus).
Fig. 1.
-Diagramme de diffraction électronique d’une couche
amorphe recuite à 320 K environ. Le système d’anneaux est c.f.c.
avec
al = 5,58 Á.
[Electron diffraction pattern of this layer after annealing at about
320 K. The ring system corresponds to
af.c.c. structure with
a =
5.58 A.]
Un échantillon du type (SmS)Am a été analysé par fluorescence X. Cette méthode est adaptée à un appareillage STEM. Elle ne permet de caractériser les éléments qu’à partir du sodium. La figure 2 montre
un spectre caractéristique. La surface analysée est
de 1000 x 1 500 Â environ. Les seules raies appa- rentes correspondent au samarium (6 raies) et au
soufre (1 raie). Pour un même temps de comptage quatre plages ont été analysées. Après soustraction du fond continu, le rapport des hauteurs des raies les
plus intenses (Ka du soufre et Lez du samarium) varie légèrement de 6 à 10. Ceci indique de faibles variations
d’homogénéité. Il n’est pas possible, actuellement, d’estimer la composition de l’échantillon en fonction de ces résultats.
2 . 2 DÉPÔTS CRISTALLISÉS.
-2. 2. 1. Supports à tem- pérature ambiante.
-Les couches épaisses (e > 2 000 À) ont une couleur jaune, ce qui caractéri-
serait un état de valence + 3 du samarium dans SmS
Fig. 2.
-Spectre de fluorescence X d’une couche amorphe
carac-térisant le samarium et le soufre.
[X-ray fluorescence spectrum of
anamorphous thin film showing
the samarium and the sulfur.]
(type Sm3 +S). Les clichés de diffraction X présentent
une particularité : le halo ayant un maximum d’inten- sité à son sommet (Fig. 3) montre que ce dépôt est orienté, mais sans organisation cristalline développée.
Sur le même cliché la raie 111 d’une couche mince d’or texturée est prise comme étalon. Ces enregistrements
sont effectués en positionnant les supports en verre à des angles de réflections bien précis par rapport au faisceau X (raie K(%l du cuivre). Pour l’or cet angle est
de 19,15°. Ainsi il est possible de positionner le centre
du halo texturé et d’évaluer l’angle de diffraction qui
est de 1 b° environ, ce qui correspond à une distance
Fig. 3.
-Diagramme de diffraction X d’une couche épaisse (cou- leur jaune). Le halo central diffracte
sous unangle de 160 environ.
La raie intense correspond
auplan (111) de l’or. (Echelle :
x2.) [X-ray diffraction pattern for
athick film (yellow). The central halo is obtained by diffraction with
anangle orientation at about 160. The intense line diffraction corresponds to they gold (111) plane (scale
x2).]
interréticulaire de : 2,79 ± 0,03 Á. Cette valeur se
rapporte au plan (200) de la structure c.f.c. définie
précédemment, avec pour paramètre a
1 =5,58 Á.
2.2.2 Supports froids (T - 85 K).
-Les films épais ont des caractéristiques particulières selon les
modes de recuits.
-
Si le support est ramené lentement à la tempéra-
ture ambiante, les couches présentent un aspect trans- parent, mais avec un fond de couleur gris-noir ce qui
caractériserait un état de valence + 2 du samarium dans SmS (type Sm2+S).
-
Par diffraction X, comme le montre la figure 4,
il apparaît un système d’anneaux présentant une légère texture. La raie 111 de l’or étant prise comme origine, il est facile d’indexer un système c.f.c. de paramètre a2
=5,91 ± 0,01 Á.
-
Si le support est ramené très rapidement à la température ambiante, les couches présentent l’aspect jaune par réflection directe et l’aspect gris-noir par transmission. Les couches sont cristallines et les
diagrammes de diffraction X présentent deux sys- tèmes de raies de faible intensité. Ils sont indexés selon deux structures c.f.c. :
et
Fig. 4.
-Diagramme de diffraction X d’une couche épaisse (cou- leur gris-noir). Le système de raies (texturé) est relatif à
unc.f.c.
avec
a2
=5,91 A. (Echelle :
x2.)
[X-ray diffraction pattern of
athick film (grey-black). The diffrac- tion lines (with texture) correspond to
af.c.c. structure with
a =
5.91 A (scale
x2).]
Ces échantillons montrent la coexistence des deux types : Sm2+S et Sm3+S.
Shul’man et al. [8] ont obtenu des résultats sem-
blables pour des échantillons épais de SmS déposés
sur support chaud (520 K). De même Zhukova et al. [10], Ryabov et al. [11, 12], après polissage de
cristaux de type Sm2 +S, ont observé la coexistence
des deux types. Les résultats sont résumés tableau 1.
1130
Tableau 1.
-Paramètres des structures c.f.c. de Sm2+S et Sm3+S quand elles coexistent.
2. 3 DISCUSSION DES RÉSULTATS. - 2. 3 .1 Coexis-
tence des phases type Sm2+S et Sm3+S. - Jayara-
man et al. [ 13] ont montré que la transition à l’état massif, Sm2+S - Sm3+S, a lieu à 6,5 kbar à 293 K.
La méthode des couches minces permet dans certains
cas de geler les phases de haute pression et/ou de haute température. Il est possible d’obtenir un tel phénomène pour des couches épaisses évaporées rapidement. Ceci a été observé pour le samarium métal dont la phase de haute pression (40 kbar) a été mise en évidence par diffraction X [15]. Pour les sul- fures, la pression est sept fois moindre, et la stabilisa- tion de la phase de haute pression (Sm3 +S) n’est pas surprenante.
2.3.2 Transition Sm3+S
HSm2+S. - Pour tous
les échantillons de type (Sm3 +S) recuits au moyen du faisceau électronique, aucune transformation Sm3+S -+ Sm2+S n’a été observée. Il semble que leur trop faible épaisseur (500 e 1 000 Á) et leur
état quasi amorphe ne puissent permettre un tel phé-
nomène. Ces couches s’oxydent et/ou s’oxysulfurent trop rapidement. De plus, le matériau SmS est très absorbant, et l’observation de couches d’épaisseur supérieure à 1000 Á est impossible par microscopie électronique. Comme les dépôts épais sur verre n’ont
pu être recuits, la transition Sm 3 + S -+ Sm 2 + S à 670 K, décrite par Bzhalava et al. [7] n’a pas été observée.
Enfin, il serait intéressant de pouvoir effectuer des
expériences de rayons X in situ afin de mettre en
évidence, si elles existent, les transformations cristal-
lographiques en fonction de la température. Ceci pourrait donner des indications lors du recuit de 85 à 290 K comme dans ce travail, ou lors de la
trempe de 520 à 290 K comme pour les expériences
de Shul’man et al. [8].
2.3.3 Hypothèse sur la composition.
-Les valeurs des paramètres déterminés en couches minces sont
inférieures à celle obtenue à l’état massif (Sm2+S)
et à celle déterminée théoriquement (Sm3 + S). Jayara-
man et al. [13] ont montré que la diminution de la valeur du paramètre de maille est liée à l’addition
d’une autre terre rare. L’analyse par fluorescence X de l’échantillon de type (Sm3+S) n’a pas révélé la
présence d’autres terres rares.
Il est possible, en fait, que l’oxygène joue un rôle
déterminant. Au cours de l’évaporation, ou après
remise à l’air ou lors du décollement dans l’eau dis- tillée, ce gaz peut être occlus au sein de la couche mince. Celle-ci ne serait pas tout à fait homogène et pourrait être considérée comme ayant une composi-
tion ternaire de type SmS, -.,0,,. Dans ces conditions
il est possible que les valeurs des paramètres moyens déterminées par Shul’man et al. [8] soient aussi fonc- tion de la teneur en oxygène de leurs échantillons;
d’autant plus que leurs échantillons sont déposés
sur support chaud. Ces valeurs, reportées tableau I,
sont soit inférieures à celles reportées dans ce travail
pour Sm2+S, soit très proches pour Sm3+S.
Des échantillons très minces (e - 500 Á) évaporés
très lentement ont été observés par diffraction élec-
tronique. Comme précédemment le faisceau élec-
tronique a induit une faible cristallisation. Le système
d’anneaux larges est indexable selon une structure c.f.c. de paramètre a3
=5,47 ± 0,03 Á. Cette valeur
est pratiquement moitié de celle qui correspond à
Sm203 de structure cubique centrée (forme C)
(les raies observées étant en fait : 222, 400, 440 et 622).
Par focalisation du faisceau électronique il est facile
de recuire les couches. A basse température il y a formation simultanée de C-Sm203 et de Sm202S.
Ce qui prouve la présence de soufre et d’oxygène au
sein de la couche.
La présence d’oxygène au sein des couches minces, expliquerait la plus faible valeur calculée pour les
paramètres de SM2 ’S et SM3 ’S. Les résultats obtenus pour les couches très minces pourraient suggérer que le composé obtenu est alors très proche de C-Sm203,
mais avec une certaine teneur en soufre. A la limite il pourrait être décrit par une formule du type :
Sm01-xSx ou encore (SmO)201- ySy. En considérant que le diagramme indexé soit c.f.c., le paramètre
a3
=5,47 Á, serait la valeur minimum des composés
ternaires « SmOS ».
3. Recuits à basse température.
-La focalisation du faisceau peut être modulée à l’aide des déflectrices,
ce qui permet de recuire très lentement les couches minces. La température de chauffage n’est malheureu-
sement pas déterminée.
La figure 5 montre le système d’anneaux caracté-
ristiques du composé Sm202S de structure hexago-
nale (ah
=3,89 A et Ch
=6,72 Â). Il a été observé
quels que soient les échantillons étudiés. Dans le cas
où il y a prépondérance initiale du composé C-Sm203,
il y a coexistence des deux structures. Les anneaux sont toujours fins et continus, caractérisant des petits
cristaux.
Fig. 5.
-Système d’anneaux relatifs à SM202S pur.
[Electron diffraction pattern relative to pure Sm202S.]
’
La formation de Sm202S prouve que tous les échantillons contiennent du soufre et de l’oxygène.
Ce dernier, qui est excédentaire, après recuit, provient
du piégeage des gaz résiduels (02, H20, ...).
4. Recuits à haute température. - a) Par focali- sation de plus en plus intense du faisceau électro-
nique il est possible d’obtenir de nouvelles recristalli- sations. Au cours des recuits deux étapes ont été
observées. La première est la coexistence de l’oxy-
sulfure avec les sesquioxydes de type B-Sm203 (mono- clinique) et C-Sm203 (c.c.) ; la seconde est la trans-
formation presque totale selon la structure B-Sm203.
Dans ce dernier cas l’oxysulfure hexagonal a des propriétés comparables à A-Sm203 (hexagonal). La
transition A - B est aussi possible que la transition C - B [16, 17]. La transformation
sans transition par C-Sm203, n’est pas surprenante.
En coexistence avec les trois structures décrites, les diagrammes de diffraction électronique montrent
l’existence de phases supplémentaires qui apparais-
sent au cours des recuits. Elles sont caractérisées par des systèmes de taches de faible intensité ; certaines d’entre elles sont allongées, caractérisant peut-être
des composés instables.
Les résultats reportés tableau II correspondent
aux structures déterminées au cours des différentes
étapes de la recristallisation (certains paramètres sont comparés à ceux de C et B-Sm203 et de Sm202S).
La formation de ces phases dépend de divers para- mètres : modes de chauffage (plus ou moins rapides), épaisseur des couches, composition initiale ...
b) La figure 6 présente une coupe du réseau réci- proque d’un grand cristal de B-Sm203. Les taches
Fig. 6. - Coupe [312] du réseau réciproque d’un grand cristal B-Sm203. Les taches peu intenses
au1/4 et 3/4 entre rangées prin- cipales n’appartiennent pas
auréseau.
[Zone axis [312] of the reciprocical lattice for
alarge crystal B-
Sm203 type. Few intense spots, at the 1/4 and 3/4 between intense
rows, do not correspond to the lattice. ]
1132
Tableau II.
-Structures observées après recuits des couches minces de SmS.
de plus grand paramètre s’indexant selon : (111), (203)
et (112) (coupe [312] du réseau réciproque).
Il apparaît en outre des rangées de taches de faible
intensité placées au 1/4 et au 3/4 entre chaque rangée
relative aux diffractions du grand cristal (la rangée
à mi-distance n’existe pas). Les taches observées entre
(000) et (203) ont pour distance interréticulaire : 10, 10 Á et 3,36 Á ; celles des taches proches du centre
étant de : 3,52 ; 3,20 et 2,72 Á.
L’hypothèse d’une surstructure est difficile à retenir [18]. Il pourrait s’agir d’un composé ternaire
Sm-O-S en épitaxie (la tache (111) est commune
aux deux diagrammes). Le système cristallographique
serait monoclinique.
c) Par fluorescence X il a été possible d’analyser
des cristaux ayant été presque fondus par recuit
rapide à très haute température. La figure 7 montre
nettement la raie du soufre pour un cristal sélectionné.
Le rapport Sm(L2)/S(K2) est de 7,5, ce qui montre
que la quantité de soufre est aussi importante que dans la couche initiale. Un autre cristal sélectionné dans une zone de recuit plus lent, donne un rapport de raie de 22,5, il y a donc appauvrissement en soufre.
La présence du soufre au sein des grands cristaux
de B-Sm203 serait l’explication de la formation de
nouvelles structures. Elles peuvent s’expliquer par liaisons de type Sm-S ou 0-S existant entre les groupe- ments complexes (SMO)N ’ qui sont la base de la
structure lamellaire de B-Sm203.
Dans le cas de cristaux isolés présentant des struc-
tures non en épitaxie avec B-Sm203 il y a probable-
ment de plus fortes concentrations locales de soufre (ségrégation aux joints de grain, cristaux de composi-
tion élevée en soufre, ...). Cette hypothèse peut être reliée au fait que pour les échantillons les plus épais,
Fig. 7.
-Spectre de fluorescence X d’un échantillon fortement chauffé et presque fondu : il y
atoujours présence de soufre.
[X-ray fluorescence for
asample heated at high temperature
nearthe melted point : the sulfur is always detected.]
il apparaît, après recuit à basse température, en
coexistence avec Sm202S, le composé SmS2 de struc-
ture c.f.c. avec a
=7,87 Á.
5. Conclusion.
-L’évaporation sous 10-6 torr
du matériau SM2 ’S a permis de montrer que les échantillons obtenus présentent un caractère amorphe
pour de faibles épaisseurs (e 1 500 À) et un caractère
cristallisé pour les plus épais (e > 2 000 Â). Toutes
les couches déposées sur support à température
ambiante sont de type trivalent (Sm3+S). Les couches épaisses ont alors une couleur jaune. Cependant
les dépôts effectués sur support froid (’" 85 K) per-
mettent de caractériser la structure de type divalent
(Sm2+S). Les couches épaisses ont une couleur gris-
noir. Dans certaines conditions (support froid ramené
rapidement à 290 K) il est possible d’observer la coexistence des deux phases. Les paramètres calculés
sont plus petits que ceux déterminés à l’état massif,
ce qui s’expliquerait par la présence d’oxygène au
sein de la couche.
Après recuits à très basse température il y a for- mation de Sm202S en coexistence soit avec B-Sm203,
soit avec C-SM203.- Krill et al. [19] ont observé avec SM2 IS la formation de SM202S et Sm203, ces
composés sont détectés après 1 h sous 10
" 1torr,
par X.P.S.
Après recuits à haute température il se forme de grands cristaux de B-Sm203 et de nombreux com-
posés possédant de grandes mailles cristallines. Ils sont soit en épitaxie sur B-SM203, soit isolés au sein de la matrice B-Sm203. Leur formation est liée à la présence de soufre dans la couche comme le montre les analyses par fluorescence X.
Remerciements.
-Les auteurs remercient M. H. Dexpert et le Département d’Analyses de
l’I.F.P. pour les études effectuées par STEM (fluo-
rescence X). Les couches minces ont été réalisées à l’Institut d’Optique dans le service de M. Croce.
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