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Etude de l'influence du régime d'une décharge à barrière diélectrique dans un mélange HMDSO/N2, sur les propriétés d'un procédé de dépôt

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Academic year: 2021

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Figure i ‐1 : Représentation de Cram de la molécule d'hexametyldisiloxane, ou HMDSO 

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