Caractérisations structurales

a Microscopie Electronique en Transmission Pour comprendre l’effet du re- cuit sur les couches de cobalt-platine, elles ont été observées par microscopie électronique à transmission par Christophe Arm du laboratoire LEMMA – La- boratoire d’Etude des Matériaux par Microscopie Avancée– du CEA-Grenoble INAC/SP2M . Les échantillons pour cette étude ont été préparés classiquement mais sans désoxydation du substrat avant dépôt de l’alumine. L’empilement avant recuit est donc, depuis la surface, Pt (3 nm)/Co (1, 6 nm)/Al2O3(2 nm)/SiO2(2 nm)/Si.

Ils ont été observés en coupe ; pour cela ils sont d’abord amincis à la polisseuse ma- nuelle puis par PIPS – Precision Ion Polishing System – ou grâce à une méthode manuelle de précision, le tripode complet afin d’obtenir des lames d’une épaisseur de quelques dizaines de nanomètres.

Les deux images de gauche des figures III.25 et III.26 ont été obtenues par cette méthode, ce sont des images en haute résolution sur lesquelles on voit bien le cristal du silicium, les couches métalliques, ainsi que les couches amorphes d’oxyde. Sur certaines images avec un grossissement moins important, on distingue également la rugosité liée au puits de SiGe (voir a page 151). De nombreuses images avec des techniques et des préparations d’échantillons différentes – dark field ou bright field, échantillon aminci au PIPS ou au tripode complet – ont été réalisées pour distinguer le cobalt du platine et comprendre la formation éventuelle d’un alliage, mais sans succès.

Les courbes de droite des figures III.25 page suivante et III.26 page ci-contre sont des profils chimiques réalisés sur les échantillons juste après dépôt et recuits par spectroscopie EELS. La technique de spectroscopie de pertes d’énergie d’élec- trons EELS – Electron Energy Loss Spectroscopy – permet de mesurer localement la composition chimique [Egerton, 2009]. Elle a permis de montrer que pour un échantillon brut, le cobalt était localisé au contact de l’alumine alors que pour un échantillon recuit le cobalt a diffusé dans toute l’électrode. Il y a donc probable- ment la formation d’un alliage de CoPt. Il semble aussi y avoir diffusion de l’oxy- gène et une zone de recouvrement du cobalt et de l’oxygène assez importante. Mais les caractéristiques des raies du cobalt comme la forme, le décalage ou encore le rapport entre la hauteur des raies indiquent qu’il n’y a pas de formation d’oxyde de cobalt lors du recuit.

Il faut donc bien noter une limite de cette technique qui est liée à l’épaisseur de la zone sondée – identique à celle de l’échantillon soit la dizaine de nanomètre. L’analyse locale de la composition chimique est en fait une moyenne de la compo- sition sur l’épaisseur observée de l’échantillon. En raison de la rugosité de ceux-ci, les limites de zones ne sont pas abruptes, ce qui est visible par exemple sur les profils de l’échantillon brut. Il est difficile de placer exactement les frontières entre matériaux.

Sur les profils chimiques, les intensités des différentes courbes ne sont pas normalisées et correspondent à des valeurs arbitraires. L’intensité correspondant au métal est une lecture optique sur une image TEM réalisée en champ sombre où seuls les éléments lourds sont visibles. Les courbes noires ne sont donc pas réalisées par spectroscopie EELS.

b Microscopie à Force Magnétique Pour caractériser un dépôt, il est souvent utile d’en observer la surface en Microscopie à Force Atomique. Vu les épaisseurs

FIGURE III.25: (a) Image par Microscopie Electronique à Transmission d’un empilement Pt/Co/Al2O3/SiO2/Si après dé-

pôt. (b) Profil chimique de cet empilement par Spectroscopie EELS.

FIGURE III.26: (a) Image par Microscopie Electronique à Transmission d’un empilement Pt/Co/Al2O3/SiO2/Si recuit

pendant 1h30 à 410˚C.(b) Profil chimique de cet empilement par Spectroscopie EELS.

déposées pour cette électrode et la rugosité du substrat sur lequel elles sont dépo- sées, nous n’avons rien pu tirer de ces observations. En revanche l’image III.27 en Microscopie à Force Magnétique réalisée sur une grande surface montre que la taille des domaines varie de manière significative en fonction de la zone observée. La variation de la taille des domaines peut être liée à une inohomogénéité de l’épaisseur du cobalt déposé :

– Si le flux de Co n’est pas homogène, il peut y avoir des variations d’épais- seurs, mais cette hypothèse semble très peu probable, les variations de tailles de domaines ont lieu sur des échelles trop petites.

– Maurice et al. ont montré que le dépôt de Cobalt ne formait pas un film homogène [Maurice, 1999]. Mais l’échelle de taille de la rugosité qu’ils ob- servent est de l’ordre de la dizaine de nanomètres ce qui ne correspond pas non plus aux observations.

Il semble donc peu probable que la varition de taille des domaines soit liée à une fluctuation de l’épaisseur du cobalt. Cette variation de taille est vraissembla- blement due à une inhomogénéité lors du recuit de la couche magnétique ou à une zone présentant une impureté avant le dépôt. En revanche il n’y a pas de direction préférentielle pour les domaines magnétiques.

FIGURE III.27: Image 20x10 µm par Microscopie à Force Ma- gnétique d’une couche Al₂O₃/Co/Pt recuite à 410˚C désaiman- tée. La taille des domaines observés sur cette image varie de 100 nm à 1µm.

c Diffraction X L’effet du recuit sur les couches Al2O3/Co/Pt est très impor-

tant puisqu’il suffit pour changer la direction de facile aimantation de la couche magnétique (voir b page 98). Pour comprendre quelle est l’influence de ce recuit sur la structure des échantillons puis quelle est l’influence de la structure cristallo- graphique sur l’aimantation, des échantillons ont été analysés en diffraction X par

Stéphanie Pouget du SGX – Service Général des Rayons X – au CEA-Grenoble INAC/SP2M.

Pour cette étude, un injecteur Al2O3/Co/Pt a été déposé sur du silicium désoxydé.

Après dépôt, cet échantillon a été clivé en plusieurs morceaux qui ont chacun été recuits à des températures différentes mais suivant exactement la même procédure – temps de pompage avant recuit, rampe de monté et descente en température – pour assurer le maximum de reproductibilité. Stéphanie Pouget a ensuite réalisé des spectres θ − 2θ sur les couches pour identifier les phases cristallographiques présentes dans ces couches et en ω pour sonder la qualité cristalline de la couche.

Les principaux résultats sont présentées sur les figure III.28 page suivante et III.29 page suivante. Le spectre en θ − 2θ montre la disparition des pics liés au cobalt et au platine et l’apparition d’un pic intermédiaire lorsque la température de recuit augmente. L’application de la loi de Vegard donne un alliage Co0,4Pt0,6,

ce qui est cohérent avec les épaisseurs déposées. Pour les températures de recuit les plus élevées, de 550˚C à 650˚C, seul le pic de l’alliage est visible. La forme d’un pic dans ces conditions de diffraction est un sinus cardinal dont l’écartement entre les différents maximas dépend de l’épaisseur de la couche. Ainsi pour les hautes températures l’épaisseur de l’alliage est comprise entre 4,6 et 5 nm, ce qui correspond bien à l’épaisseur total de métal déposée.

Quelques points ne sont pas encore parfaitement élucidés sur ce graphe : le décalage de la position exacte du pic de l’alliage CoPt en fonction de la tempéra- ture de recuit. Le comportement monotone de cette évolution ne semble pas être compatible avec un simple problème d’alignement de l’expérience. L’ajustement de la courbe de la couche recuite à 410˚C doit encore être amélioré pour mieux comprendre les différents pics.

La figure III.29 page suivante présente la largeur à mi-hauteur du pic princi- pal du spectre en ω des couches en fonction du recuit qu’elles ont subi. Pour les échantillons faiblement recuits – 0˚C, 300˚C et 350˚C–, le pic principal est celui du cobalt. Pour les températures plus importantes il s’agit du pic de l’alliage cobalt- platine. L’évolution de la largeur de ces pics montre que les cristallites tendent à s’orienter de la même manière dans la direction (111) lorsque la température de recuit augmente.

Pour conclure sur cette étude de diffraction X sur les couches de cobalt-platine, il a été montré que le recuit conduisait à un alliage proche de Co0,4Pt0,6avec dispa-

rition des couches de cobalt et de platine. La qualité de l’alliage formé s’améliore avec la température de recuit et la texture (111) apparaît de plus en plus marquée. En revanche aucune mise en ordre chimique dans l’alliage n’a été observée. Le lien entre la formation d’un alliage, l’amélioration de sa texturation et les proprié- tés magnétiques n’a pas été clairement décrit dans ce manuscrit, il fait l’objet d’un article en préparation.

FIGUREIII.28: Scan θ − 2θ de la couche de CoPt en fonction de la température de recuit. Les scans sont décalés pour faciliter la lecture.

FIGUREIII.29: Largeur à mi-hauteur – FWHM – du pic princi- pal du spectre en ω de la couche de CoPt.

3.2 Propriétés d’injection