HAL Id: jpa-00212387
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Sur le classement des mesures en diffusion de la lumière
par les surfaces
P. Croce
To cite this version:
Sur le classement des
mesures endiffusion
de la lumière
par
les
surfaces
P. Croce
Institut
d’optique (*),
Centre universitaired’Orsay,
Bât. 503, BP 147, F-91403Orsay
Cedex, France(Reçu
le 18février
1989,accepté
sousforme définitive
le 20 novembre1989)
Résumé. 2014 On
envisage
d’unefaçon
trèsgénérale
les mesures que l’onpourrait
faire à l’aide de la diffusion de la lumière sur desspécimens
quand
la contribution des surfaces et interfaces est unepart non
négligeable
(souvent prépondérante)
de la diffusion totale. On est amené à mesurer desmoments
statistiques,
ouparamètres,
de différents ordres. Les coefficients liant les moments des faisceaux incidents et diffusés, dont la connaissance est le but de cesrecherches,
sont en nombreréduit pour certaines conditions
géométriques.
Il se trouve que pour ces conditions,qui
portentsur les
positions
relatives des faisceaux incidents, diffusés et de la surface, sont souvent satisfaitesexpérimentalement.
On s’attache enparticulier
à classer ces conditions pour les moments d’ordredeux, ordre le
plus
faible, ces moments pouvant alors être mis sous la forme deparamètres
de Stokes.Après
avoir abordé leproblème
del’optimisation
de la surface utile duspécimen
àemployer,
on montre surquelques exemples
l’intérêt de mesurer certains coefficients, que l’on ne mesure pas habituellement, d’ordre deux ouplus
et on discute des difficultésexpérimentales
auxquelles
on peut se heurter, enparticulier
pour les moments d’ordre élevé. Abstract. 2014 One considers froma
general point
of viewlight scattering
measurementslikely
to be made onsamples,
where thecontribution
of
surfaces and interfaces is not anegligible
but often amajor
part of the whole process.Thereby
statistical moments, or parameters, of different ordersmust be measured. The coefficients
linking
these moments, which this work aims atdetermining,
are in small number for some
geometrical
conditions. Such conditions,relating
to location of incident and scattered beams with respect to the surface, oftenprevail
experimentally.
Special
emphasis
isplaced
on the conditionsrequired
for moments of second order 2014the smallest one
-which can then be formulated in terms of Stokes parameters. After
considering
theoptimum
areaproblem
for thesample,
someexamples
show that it is desirable to measure some coefficients ofsecond or
higher
orders which are notusually
measured.Experimental
difficulties one canencounter in the determination of
higher
order moments are discussed.Classification
Physics
Abstracts 42.20G1. Introduction.
L’analyse
spontanée
que les êtres vivants font de la lumièrerenvoyée
par lesobjets qui
lesentourent est une des meilleures informations
qu’ils
aient du monde extérieur. Outre la forme(*)
U.A.C.N.R.S.,
n° 14.et le mouvement,
l’aspect
même de cesobjets
est trèsimportant.
D’une extrêmevariété,
ildépend
de la diffusionsimple
oumultiple
par les surfaces et par levolume,
àlaquelle
se mêleparfois
de la réflexionspéculaire,
le tout variantplus
ou moins avec lalongueur
d’onde. Il semblequ’on
ait peupublié
sur cettequestion,
dans sonensemble,
bienqu’elle
joue
un rôleimportant
dans de nombreux domaines(dans
l’industrie despeintures
notamment).
Uneexception
toutefois,
celle des astronomesqui
cherchaient,
avant les voyagesinterplanétaires,
à élucider la nature de la surface des
planètes
par l’étude de leuraspect.
Lesspécialistes
de télédétection ontpris
le relaismais,
sauf s’ils utilisent desradars,
ils ne sont pas maîtres de lasource, ce
qui distingue
leurs études de cellesqui
sont menées en laboratoire. Celles-ciportent,
engénéral,
soit d’un côté sur la diffusion envolume,
soit de l’autre sur la diffusion par les surfaces seules. Cesdernières,
après quelques publications
rares etanciennes,
se sontbeaucoup développées depuis
l’invention du laser et sontl’objet
d’unebibliographie
assezabondante
qu’il
serait difficile de rassembler etprésenter
d’unefaçon
critique.
Il est à noterqu’un appareillage
élémentaire donnedéjà
beaucoup
d’informations chiffrées et recherchéescomme
l’amplitude
et lespectre
desrugosités. Cependant,
pour allerplus
loin,
on va essayerd’envisager
systématiquement
toutes les mesures que l’onpourrait
faire dans ce domaine surdes
spécimens
aussigénéraux
quepossible,
maispossédant
toutefoisstatistiquement
despropriétés
usuelles.2. Méthode utilisée.
Une méthode
générale
pour étudier les corpsdiffusants,
dont la surface limite(ou
desinterfaces)
joue
un rôle nonnégligeable
dans ladiffusion,
consiste à envoyer sur cette surfaceun ensemble de
Ni
ondesplanes
(les
ondesincidentes,
d’où l’indicei) quasimonochromatiques
et de même
fréquence
moyenne. On les définit essentiellement par leur vecteur d’ondeki, g
(pour
celle de rangg)
et onprécisera
leur état depolarisation,
selon le cas, par un ou deux vecteurs unitairesperpendiculaires
àki, g.
En unpoint quelconque
rl’amplitude
de chacuned’elles est de la forme :
On détectera
Nd
ondes diffusées de mêmefréquence
(on
se limite à la diffusionélastique)
définies de
façon
semblable par des vecteurskd, 9,
et desamplitudes
Ed, g’
etEl, g’.
Pour une surface bien
définie,
l’amplitude
Ed, g’
est une fonctionlinéaire,
homogène,
desamplitudes
des ondes incidentes :N;
(on
seplacera
toujours
enoptique linéaire) ;
de même :(les
E et E * ne sont pas liéslinéairement) ;
onreprésentera
par’TT dN le
produit
deN
amplitudes complexes
Ed, 9,
ouEd, g,
(N, Ni, Nd
sont trois nombres totalementindépen-dants les uns des
autres),
avec lapossibilité
de faire intervenirplusieurs
fois le même facteurir iv de N
amplitudes
Ei, 9
etE;*g
des ondes incidentes. Cette linéarité est unpoint
fondamental pour ce
qui
suit. On associera aux E et E * des constantes equi
valent 1 pour lesE et - 1 pour les E * et on
appellera dispositif
lemontage
expérimental
réduit à ses éléments essentiels :spécimen
lui-même réduit à sa surface diffusante moyenne, vecteurs d’onde desNi
rayons incidents et desNd
rayons diffusés. Dans cescorrespondances
entre cesproduits
03C0N seuls interviennent des
produits auxquels
sont associés un même nombre de constantese de valeur 1 et un même
nombre,
pouvant
être différent duprécédent,
de constantese de valeur - 1.
Comme on
peut
écrireschématiquement
Ed
=a
[ Ei [[
on aura7rdN I I = !!
CN Il - Il -ziN 11,
où la matriceligne Il -ff dN Il
et la matricecolonne irin Il
ont pourbase les différents états de
polarisation indépendants
desproduits
-UdN pour lapremière
et’TTiN
pour la
deuxième. Les éléments de lamatrice Il
CN
11,
non nécessairementcarrée,
sont des combinaisons linéaireshomogènes
deproduits
de N facteurs a ou a *. Les éléments desmatrices a Il
et [[ CN Il
peuvent
être déterminésexpérimentalement
par les mesures desEd
et des ’TT dN en variant lapolarisation
et laphase
des ondes. Enparticulier,
si on introduitexpérimentalement
undéphasage
sur uneonde,
il en résulte des facteurs inverses dansl’amplitude
deschamps
E et E*. Cette remarquepourrait
êtreutile,
dans lesexpériences,
pour affecter à différentsproduits
ITN des facteurs dephase
différents etpouvoir
ainsi les isoler si cela était nécessaire.Après
avoir fait des moyennesstatistiques
sur ces élémentsCN
on obtient cequ’on appellera
les coefficients de diffusionDN =
(CN) ,
valeurs fondamentales dans cetarticle,
qu’on
doit déterminerexpérimentalement
etqu’on
devra comparer à des valeursthéoriques
calculées leplus
souvent à l’aide de modèles. Sans entrerdans
trop
de détails sur ces mesures,qui
pourront
parfois
être faites en intensité maisqui
devraient dans les cas lesplus généraux
être faites enamplitude,
on supposera d’abord que lesEi
ont des fluctuationsnégligeables puis
on fera une moyennespatiale
enremplaçant
la surfaceparticulière
utiliséejusqu’ici
par ungrand
nombre de surfacesstatistiquement
équivalentes.
Dans la suite on supposera que cessurfaces,
et les deux milieux que ces surfacesséparent, possèdent
certainesparticularités
trèsfréquemment
rencontrées : leur surface moyenne seraplane
(plan
notéP) ;
elles seronthomogènes
à deuxdimensions,
c’est-à-dire invariantesstatistiquement
pour toute translationparallèle
à P(elles
peuvent
donc être stratifiées suivant la troisièmedimension) ;
et, bien que ce soit moinsindispensable,
ellesseront
isotropes toujours
à deuxdimensions,
donc invariantesstatistiquement
pour touterotation autour d’une normale à P. Le milieu où est l’onde incidente sera
supposé
homogène
et nondiffusant,
sauf évidemment si on ne traite que de la diffusion en volume.La condition sur le nombre des constantes e vue
plus
haut entraîne queles coefficients seront donc comme il se doit
indépendants
del’origine
destemps.
Onrappelle
que
chaque
onde de rang g oug’
peut
ne pasfigurer,
ou au contraireapparaître
une ouplusieurs
fois,
dans ces sommes de N termes ainsi que dans celles des relationsqui
suivent. Il faudra deplus qu’un déplacement
del’origine
spatiale parallèle
à P(ou
une translationopposée
de lasurface)
n’entraîne pasl’apparition
d’un facteur dephase
entre les"TT dN et les 03C0in. Pour cela il faudra que les
composantes
kt,
suivantP,
des vecteurs kCe n’est que pour les vecteurs k satisfaisant
(3)
que les éléments de la matriceIl
CN
Il
peuvent
ne pas être nuls en moyenne. En revanche leurscomposantes
kn,
suivant la normale àP,
ne satisferont pas nécessairement à la relation :ce
qui
entraîne alors ladisparition
par interférence d’unegrande
part
de la diffusion envolume.
Si dans ces conditions les coefficients sont
indépendants
desorigines
(sauf
éventuellement si(4)
n’est passatisfaite),
il n’en est pas de même pour lesproduits
03C0N servant à lesdéterminer,
cequi
entraîne des mesures dephases
entre les différentes ondes. Cette difficulténe se
présente
pas si lesproduits
sontindépendants
desorigines,
cequi
limite évidemment encontrepartie
le nombre de coefficients accessibles.L’indépendance
desproduits
03C0in et’TT’ dN par
rapport
àl’origine
destemps
demande que les deuxsommes 03A3ei, g
etg, N
Y
Ed,g"
qui
sontégales,
soientnulles,
donc que lesproduits
comportent
N/2
termesg’, N .
E et
N/2
termes E* et que N soitpair,
cequi
sera presquetoujours
réalisé désormais.L’indépendance
parrapport
àl’origine
des espaces demande que soit nul chacun des membres de(3b)
et, si on veutsimplifier
lesexpériences,
ons’arrangera
pourqu’il
en soit de même pour la relation(4)
bienqu’il
en résulte uneperte
d’information ;
les ’TT’N deviennent alors des momentsstatistiques
ordinaires.On ne
poursuivra
pas dans cette voie trèsgénérale,
on s’intéressera à des casbeaucoup
plus
proches
de ceux que l’on réaliseactuellement ;
ces cassimples
seront d’ailleurs une bonneillustration du
problème général
dont ils mettentdéjà
en oeuvre lespoints
essentiels. On selimitera à un seul vecteur d’onde incident
ki
et, presquetoujours,
à un seul vecteur diffusékd.
On verra que même dans ces conditions restrictives on est bienloin,
pourl’instant,
de tirertoute l’information
possible
de telles mesures.3. Choix des axes de coordonnées.
On va définir tout d’abord les coordonnées du
problème.
On utilisegénéralement
unsimple
goniomètre
dont le détecteur tourne dans unplan
Q,
formépar k;
etkd,
lespécimen
étantplacé
perpendiculairement
à ceplan.
Les mesures sont faitesuniquement
dans leplan
d’incidence et il est naturel d’utiliser les deuxangles
que font les rayons incident et diffuséavec la normale à P : les
angles
d’incidence ei
et de diffusionOd.
Si on voulait faire desmesures hors du
plan
d’incidence,
il seraitsimple
d’utiliser le mêmemontage
et d’incliner lespécimen
autour de l’intersection A de P etQ.
On noteraitl’angle
d’inclinaison parcp et alors
0;
eted
seraient définis parrapport
à laperpendiculaire
à A dans leplan
Q
(Fig. 1).
Il faut maintenant un
système
d’axesO1
xl yl z, pour le rayon incident et un autreOi xi yi zi
pour le diffusé(Fig. 2).
01 z1
etOi zi
serontrespectivement
parallèles
àki
etkd
et de même sens,O1
Zl et0’
z’
se rencontrant en 0 sur leplan
P avecO10
=001 ; O1
YI et
0’ yi
serontperpendiculaires
auplan
d’incidenceki, kct
et de mêmesens ;
01
Xi et0’ x’
compléteront
leur trièdrerespectif
dans le sens direct.4. Coefficients d’ordre deux.
Les seuls vecteurs k donnant des coefficients
Di = (Ci)
d’ordre 1 non nulscorrespondent
àFig. 1.
Fig.
2.amplitudes) : si =
êd,kti
=kta,
mais ces conditionsgéométriques
sont trèscontraignantes
etces coefficients en eux-mêmes n’ont pas
grand
intérêt pour l’étude de la diffusion àlaquelle
sont mieux liés des coefficients d’ordre2,
qui
sont en outre de mesureplus
facile.Cependant
on sait que l’indice et le coefficient d’extinction d’un milieuhomogène
sont liés d’unefaçon
très étroite auxparties
réelle etimaginaire
du coefficientDl
de diffusion vers l’avant[1].
On s’intéressera surtout au cas N = 2. Dans la formule
(3)
lapremière
somme est alors nulle : en effet £;,1= - £i, 2,kti, 1 kti, 2 ; la
deuxième doit l’êtreégalement,
donc êd, i = - êd,2 etkca,1
=ktd, 2 :
on doit faire intervenir soit deux ondes diffusées decomposantes
k.d
designes opposés
et la relation(4)
n’est passatisfaite,
soit une onde et la relation(4)
estsatisfaite. Dans le
premier
cas une des ondes est dans l’air ou le vide et l’autrepénètre
dans lemilieu,
cequi
suppose ce milieu suffisammenttransparent
pour que l’ondepuisse
ressortir ;
ilfaudrait de
plus
mesurer lesamplitudes,
parexemple
à l’aide d’une détectionhétérodyne,
ettravers le
milieu,
soit par «réflexion » ;
c’est cette dernièrequi
est leplus employée
et c’est la seulequ’on
traitera.On abordera le
problème
enprenant,
toutnaturellement,
une seule onde incidente dont lechamp électrique
estdirigé
selon01
Xi etd’amplitude
Ep.
Il en résulte une onde diffusée dont lechamp électrique
en01
admet unecomposante
dirigée
suivant0’ x’
d’amplitude
Ep
= a pp .
Ep
et unecomposante
suivant0’
yl
1d’amplitude
Es
=a sp .
Ep ;
on définira demême des coefficients
a,
et a ss enprenant
une onde incidentedirigée
suivantO1 yi
d’amplitude
Es.
Engénéral
la source est unesuperposition
des deux. Comme on l’a vu, onprendra
les moyennestemporelles
(Ep. Ep ) , (Ep.
Es ) , (Es.
Et)
et(ES . Es ) .
On utilise d’habitude lesparamètres
de Stokesqui
sont une combinaison linéaire de cesproduits
lr2 :
(à
une constantemultiplicative
près).
On définira desparamètres analogues
pour l’onde diffusée[2].
On a vu que pour un diffuseur biendéfini,
comme celui considéréici,
ces deuxensembles de
paramètres
sont liéslinéairement,
propriété
qui
reste évidemment vraiequand
on effectue des moyennes
spatiales.
On a donc 16 coefficients réels à déterminer(1,
M,
C, S
sontréels).
Expérimentalement
ceux-ci devraientêtre,
enfait,
les moyennes desexpressions précédentes
sur ungrand
nombre despécimens équivalents statistiquement.
Cesmoyennes sont en réalité rarement
faites ;
on verraplus
loinpourquoi.
L’existence éventuelle de
symétries
introduit des relations entre ces coefficients et réduit le nombre de coefficientsindépendants.
Lessymétries
doivent conserver leplan
P mais nedoivent pas
permuter
les deuxmilieux,
cequi
exclut lesplans
et axes desymétries parallèles
àP et les centres de
symétrie ;
il ne resteplus
que les axes etplans
desymétrie perpendiculaires
à P. Deplus
il fautque ki
permute
aveckd
ou -kd
ouque k;
etkd
soient conservés. Lapremière symétrie qui
amèneki
surkd
demande que leurscomposantes
normales à P soientégales,
les rayons incidents et diffusés ne sont pas dans le mêmemilieu,
les modules desvecteurs
ki
etkd
sont alors différents et deplus
sauf en incidencenormale,
cas examinéplus
loin,
la relation(3b)
n’est pas satisfaite : cettesymétrie
nepeut apporter
derenseignements
intéressants ici. Pour la deuxièmesymétrie
on utilisera le théorème deréciprocité qui
est lié à l’invariance(valable
ici s’iln’y
a pas dechamp magnétique
statique intense)
parrapport
àl’inversion du
temps
nécessité par lechangement
designe
desk ;
pour la dernière on utiliserala
symétrie spatiale
entreéquations
de Maxwell. Perrin[3]
a étudié en détail cette réduction pour la diffusion en volume par un corpshomogène
etisotrope.
Ici cettehomogénéité
et cetteisotropie
sont à deux dimensions et l’ensemble dessymétries
dudispositif,
qui
doiventconserver de
plus
la surface enn’interchangeant
pas les deux milieuxqu’elle sépare,
estmoindre en
général
et auplus
le même que celui de[3],
àpropriétés équivalentes
de milieu.On traitera successivement ces deux cas en
commençant,
dans lesparagraphes
4.1 et4.2,
parcelui dans
lequel
laprésence
d’une surface ne diminue pas l’ensemble dessymétries
dudispositif.
Onpeut
faire alors unparallèle
entre l’étude de la diffusion envolume,
objet
de[3],
et celle de la diffusion de surface eXaminée ici. Onprendra
comme ensembles d’éléments desymétrie
successivement : axe, axe etplans,
axe de révolution sans ou avecplans.
Dans cesconditions il
apparaît
unecorrespondance biunivoque
entre les deux études et les résultats de4.1 DIFFUSION DANS LA DIRECTION DE RÉFLEXION SPÉCULAIRE. 4.1.1 Milieu
isotrope
sansplan
desymétrie.
- En[3]
la diffusion nedépend
que de «l’angle
de
phase
», c’est-à-dire del’angle
entre rayons incident etdiffusé ;
ledispositif présente
toujours statistiquement
un axe desymétrie :
c’est celuiqui
amène0’ z’
sur -01
zl. On a vuque cet axe devait être
perpendiculaire
à P. Bienqu’on
mènera différemment ladémonstra-tion,
onadopte,
comme dans[3],
pour les rayons inverses(onde
incidente -kd,
onde diffractée -ki)
respectivement
dessystèmes
d’axes02 x2
Y2 Z2 etO2
x2 y2 z2,
ces axes d’indice 2étant,
enfait,
obtenus en faisant subir aux axesprimitifs
d’indice 1 la rotation de7T autour de la normale à P
passant
par0 ;
01 (qu’on
prendra
confondu avec02)
permutant
ainsi avec02
(confondu
avec0’) (Fig. 2).
D’unefaçon
générale
on a cherché àadopter
autant quepossible
les mêmes notationsqu’en
[3].
Dans une
première disposition
(a)
on met enO1
une onde incidentepolarisée
suivant01 x, d’amplitude
Ep (a ) ;
on recueille en0’
suivant0’ y’
unecomposante
Eg(a)=
« Sp (a ) . Ep(a).
Dans une deuxièmedisposition
(b)
on met en0’
suivant0’
yi
une onde incidented’amplitude
ES (b )
et on recueille enO1
suivantO1 xl
unecomposante
Ep (b ) _
a ps (b ) .
Es (b ).
Cela donne une valeurprovisoire
de aps
(b )
car pour ce cas(b)
onchangera
les axes de
référence,
cequi
entraînera lechangement
dusigne
deES (b )
et donc celui dea ps (b ).
D’après
le théorème deréciprocité
de Lorentz[4] :
(En
réalité il faudrait faireapparaître
dans cette formule le courant source pourchaque
ondeincidente : il suffit de mettre ces sources à une
grande
distance en amont deO1
et01,
mais la même dans les deux cas, pour que les termes habituels donnent les termes de(6).)
On aurait donc avec ces axesa sp (a)
=aps(b),
mais pour le parcours(b)
on va utiliser lessystèmes
d’axes d’indice 2 à laplace
de ceux d’indice 1. Alors les axesOy
changent
de senstandis que les axes Ox
gardent
lemême,
cequi
entraîne lechangement
designe
annoncé dea ps (b).
On effectue maintenant sur le parcours(b)
la rotation considéréeplus
haut : ceparcours vient se confondre avec le parcours
(a),
ainsi que lessystèmes
d’axes d’indice 2 avecceux d’indice 1. Les
E (b )
nechangent
pas, ilspeuvent
et vont être alors définis par les mêmesaxes que les
E (a ).
Cequi
change,
c’est le diffuseur et la surfacequi
ont tourné maintenant de7r dans le
plan
moyenP ;
donc àpartir
d’ici(a)
et(b)
ne servirontplus qu’à distinguer
cesdeux
positions
de la surface :(a)
avant et(b)
après
rotation. En définitiveaps (b) = -
asp(a).
De même
l’application
du théorème deréciprocité
aux autres combinaisons p et s deE et E’ donne :
Il en résulte que, par
exemple,
Les moyennes sur les diffuseurs
(a)
étant les mêmes que sur les diffuseurs(b),
on pourra dans ces moyennessupprimer
les indices(a)
et(b).
Bien que parexemple
a sp (a)
puisse
être très différent deasp(b),
lessymétries agissent,
ces moyennesfaites,
defaçon
habituelle,
commelorsque
la surface et le milieu sontparfaits.
Si on condense en(qr ) (uv ) *
l’expression
générale
a qr . a * >
des moyennes telles que cellesqui figurent plus
haut,
on a(pp ) (sp ) * _
-(pp)(Ps)*, (ss)(spF = - (ss)(ps)*, (ps)(ps)* = (sp)(sp)*,
>(ps)(spF = (sp)(ps)* =
D’où finalement les relations pour les
paramètres
(EE*) :
.. " " .
et pour les
paramètres
de Stokes :L’examen de
(7)
ou de(7’)
montrequ’il
y a 10 coefficients réelsindépendants.
Endécomposant
les matrices 4 x 4 en sous-matrices 2 x 2 dans lareprésentation ( EE * ) ,
on voit que les sous-matricesdiagonales
sontsymétriques
et que pour lesnon-diagonales
latransposée
de l’une estégale
à l’autrechangée
designe.
Il en serait de même pour lareprésentation
de Stokes s’iln’y
avait pas le facteur1/i
dans la définitionde S ;
il y aurait alorssymétrie
de relation entre I et Mavec E p E p * >
(Es Es*)
d’unepart
et entreC et S
avec (Ep
Es*) et (Es
E p >
d’autrepart ;
mais le facteur1/i
(d’inverse -1/i)
introduitun
changement
designe
entre les termes nondiagonaux correspondants
de laquatrième ligne
et de laquatrième
colonne.4.1.2 Milieu
présentant
desplans
desymétrie.
-On suppose maintenant que le
dispositif
présente,
en outre, unplan
desymétrie.
Le milieului-même, alors,
doit rester invariantstatistiquement après symétrie
parrapport
à ceplan ;
du fait del’isotropie
il le restera parrapport
à toutplan
(toutefois,
évidemment,
si le milieu est stratifié lesplans
desymétrie
devront êtreperpendiculaires
auxstrates).
Un tel milieu est dénué depouvoir
rotatoire et onle
qualifiera
de «symétrique »,
les « »rappelant
que lequalificatif
neporte
que sur le milieu et non sur ledispositif complet.
Leplan
desymétrie
doittoujours
êtreperpendiculaire
à P. Onprendra
celui de cesplans qui
contientki
etkd
(du
fait de l’axe desymétrie,
un deuxièmeplan
contenant l’axe etperpendiculaire
auprécédent
est aussiplan
desymétrie).
Or on saitqu’à
une solution deséquations
deMaxwell,
pour unedisposition
de matière admettant unplan
desymétrie,
encorrespond
une autre obtenue enremplaçant
dans lapremière
solution leschamps électriques
E par leurssymétriques
(et
leschamps
magnétiques
par leurssymétriques
changés
designe).
Pour les ondesqui
interviennent dans cet article cela revient à laisserinchangées
lescomposantes
Ep
et àchanger
lesigne
descomposantes
Es.
Si lasymétrie
n’est questatistique
cette remarques’applique
à condition de la faireporter
sur les moyennesdu
type
( E . E * )
et les relations(7)
doivent rester valablesquand
(Ep. Es*)
et(Es. E§ )
changent
designe
(Ep. E§ ) et (Es. Es* >
restantinchangés.
Il en résulte que lesOn
peut
remarquer que ladisposition géométrique
présentement
étudiée estprécisément
celle sur
laquelle
on travaille enellipsométrie.
Mais là on ne détermine habituellement que 2coefficients
réels,
alors que, même pour des milieuxsymétriques,
cequ’on
supposera poursimplifer,
onpourrait
en déterminer 6 comme on vient de le voir. Onpeut
se demander ce que sont devenus les 4 autres. Onutilise,
enellipsométrie,
une onde incidentepolarisée
linéairement
cohérente,
donc12 = M2 +
C 2 + S2.
Contrairement à ce que l’onpourrait
penser cette relationn’apporte
pas de contrainte : en effet cette relation étant du seconddegré
ellen’empêche
pas de créer des étatsqui
comportent quatre
combinaisons deI,
M,
C et S linéairement
indépendantes,
à condition d’introduire pour l’onde incidente ou deproduire
àpartir
de celle-ci des ondesayant
lapolarisation
circulaire(comme
dans[3]).
En fait ladisparition
de deux des coefficients dans la théorie habituelle del’ellipsométrie
vient dece
qu’on
ne tient pascompte
de ladiffusion,
c’est-à-direqu’on
admetimplicitement
que(ps ) (ps ) *
et(ps ) (sp ) *
sont nuls cequi
entraîne que a2 =al et
a3 =a4. Il n’est pas nécessaire alors de faire intervenir des ondes
ayant
de lapolarisation
circulaire,
car onpeut
déterminera4 = a3 et
b2
qui figurent
dans(8)
même si on atoujours S
= 0. Onpeut
écrire :équations qu’on
peut
ramener à la forme trèssimple
Ep/Es
=(pp)/ (ss) .
EPIE,
donnant les relations habituelles del’ellipsométrie.
Pour cela il suffit de remarquer que(Ep. Ep*)
=Ep . Ep *,
... etc., pour des surfacesparfaites
et des ondesmonochromatiques
cohérentes,
approximations
que l’on fait habituellement enellipsométrie
et où l’onprend
Ep,
ES,
doncEPIE,,
fixes et réels.Quant
à ladisparition
des deux autres coefficients elle vient dece
qu’on
ne mesure pas l’intensité de l’ondeincidente,
ni exactementl’angle
que fait ladirection de
polarisation
avec leplan
d’incidence(on
pourrait
dire encorequ’on
nefait,
sur le faisceauréfléchi,
que des mesures de variations durapport
E’IE’ et
non des mesuresabsolues) :
onperd
ainsi deux coefficients maisqui
sont peu intéressants dans ce genred’étude.
Si maintenant on veut tenir
compte
de l’effet desrugosités,
leproblème
dans toute sagénéralité
devient trèscomplexe.
Toutefois pour essayer de l’abordersimplement
dans le modèle habituel on va isoler arbitrairement certaines contributions à l’onde réfléchie : lacomposante
Ep
(ou Es)
de l’onde incidente va donneraprès
deux diffusions sur la surface unecontribution
(pp) (ou (ss ))
auchamp
Ep
(ou E,)
et une contribution(ps) (ou (sp ))
auchamp
E’ (ou
Ep).
Les termescomplexes
(ps)
et(sp)
peuvent
être nuls en moyenne pour lesdiffusions
considérées,
mais ils sont corrélés si bien que, si pour(Ep)
et(Es )
leur effet estnul
après
moyenne sur différentessurfaces,
il n’est pas nul pour(Ep/Eg) .
Onpeut
s’attendre à ce que cet effetsoit,
en gros, de la forme03A3/ P +
px
2+ P _
px
2
B
x étant
l’amplitude
des à ce que cet effetsoit,
en gros, de la formeY
S+sx 2 S-sx 2
étantl’amplitude
desS+sx2 S-sx
/
rugosités.
Cettefonction,
qui
donne l’effet de ladépolarisation,
est très faible pour x faible maisaugmente
vite ensuite. Cette variation serait encoreplus
accentuée pour lesdiffusions
triples, quadruples, ..., x
intervenant alors à lapuissance
3, 4,
...Quant
auxmoyen de
(pp)
et(ss),
on doitpouvoir
continuer à utiliser la méthode desamplitudes,
maispour les fortes
rugosités
il seraitplus
sûr etprobablement plus simple
d’adopter
la méthode des moments d’ordre 2. Il serait normal d’ailleurs de faire toute laprésentation théorique
enellipsométrie
avec de tels moments, car la caractérisationexpérimentale
de l’onde réfléchie sefait
toujours
finalement par des mesures deflux,
donc par de tels moments.4.2 DIFFUSION VERS L’AVANT OU L’ARRIÈRE EN INCIDENCE NORMALE. - Bien
qu’il
ait été écritplus
hautqu’on
ne considérerait pas la diffusion par transmission enprésence
desurface,
on traitera
quand
même la diffusion versl’avant,
puisqu’on
s’intéresse ici aussi à la diffusionen volume. ,
4.2.1 Milieu
isotrope
sansplan
desymétrie.
- Onen revient pour le
dispositif
à un seul axe desymétrie
mais de révolution cettefois ;
dans un deuxièmetemps,
onadjoindra
unplan
desymétrie.
Alors la diffusion doit se faire soit vers l’avant soit vers l’arrière et lessimplifications
supplémentaires présentées
en[2]
n’existent avec une surface diffusante que si la diffusion alieu suivant la normale à son
plan
moyenP : Ol = 0, 02
= 0 ou 7T. On va trouver cessimplifications
enexprimant
que les relations matricielles se conservent pour toute rotationautour de cette normale. Il est naturel de
prendre
comme base les combinaisonsEp
+i ES
etEP -
i ES correspondant
aux ondespolarisées
circulairement et pour lesmoyennes :
la
première
étantmultipliée
et laquatrième
divisée parexp (4 TT i (ù )
pour une rotation desaxes de £ô, les deux autres restant invariantes dans cette rotation. Ne seront liés que les termes
qui
changent
de la mêmefaçon
parrotation ;
notamment l’ + S’ et l’ - S’ ne sont fonction que de I + S et 1- S ou encore l’ et S’ nedépendent
que de I et S :Pour la
première
et laquatrième
combinaison il faut traiterséparément
diffusion vers l’avant et diffusion vers l’arrière. Pour la diffusion versl’avant,
une rotation d’unangle
w de l’onde incidente parrapport
aux axes01
xi yl zl fait tourner l’onde diffusée d’un mêmeangle
parrapport
aux axes0’ xi y’ zi,
il en résulte que :d’où
ces matrices de liaison doivent donc avoir leurs termes non
diagonaux opposés,
contraintesqui
sont les mêmes que cellesimposées
par(7’)
et onpeut
écrire :En rétrodiffusion la même rotation de l’onde incidente fait tourner l’onde diffusée d’un
angle opposé
parrapport
à ces axes, donc :d’où
les termes non
diagonaux
doivent maintenant êtreégaux
mais,
commed’après
la mêmecondition
(7’)
ils doiventtoujours
êtreopposés,
ils nepeuvent
être que nuls :Au total il
n’y
a que 4 coefficients réelsindépendants.
4.2.2 Milieuprésentant
desplans
desymétrie.
-Enfin,
toujours
dans cettedisposition
desondes,
si on introduit unplan
desymétrie
le milieu devient «symétrique »
et unesymétrie
parrapport
auplan
d’incidence laisse invariants I et M etchange
lesigne
de C etS : il
n’y
aplus
decouplage
entre I et S ni entre M etC,
les termes b sontnuls ;
iln’y
aplus,
dans les deux cas, que 3
paramètres
réelsindépendants.
4.3 AUTRES CAS POUR LES MILIEUX PRÉSENTANT DES PLANS DE SYMÉTRIE. - Dans ce
paragraphe
4.3 on va traiter l’autre casenvisagé :
celui oùl’adjonction
d’une surface diminuel’ensemble des
symétries
dudispositif.
L’axe desymétrie,
de révolution ou non, doitdisparaître,
sinon on verrait facilementqu’on
est ramené aux casprécédents.
Commeéléments
possibles
desymétrie
il ne resteplus
que deuxplans, plans
dont l’existenceexige
que le: milieu soit «symétrique
», ce que l’on supposera être àpartir
de maintenant. Un de cesplans
est bissecteur dek;, - kd ;
l’autre,
perpendiculaire
aupremier,
contient k;
etkd-
On nepeut
avoir ici les deux à lafois,
cequi
réintroduirait l’axe desymétrie,
et la surface doit êtreperpendiculaire
auplan unique
desymétrie.
4.3.1
Diffusion
« conique
». - Dans lepremier
cas on a alors01
=02
et il faut quecp soit différent de 0 sinon le
plan
d’incidence serait aussiplan
desymétrie.
Le rayon diffusé etle rayon incident seront sur un même cône de révolution axé sur la normale à P. Un
raisonnement fondé sur le théorème de
réciprocité, analogue
à celuiqui
conduit à(7),
montreque la matrice 4 x 4 devient
symétrique
parrapport
à ladiagonale
principale,
car ici4.3.2
Diffusion
habituelle. -Quant
à l’autreplan,
il sera iciplan
desymétrie
si la diffusion sefait dans le
plan
d’incidence : cp = 0. Ce cas est trèsimportant
car c’est engénéral
celui desdispositifs expérimentaux
actuels. Comme pour l’établissement de(8)
la relation matricielleinitiale,
pourlaquelle
maintenant iln’y
aplus
decontrainte,
doit rester valable pour unchangement
designe
desEs ;
la matrice 4 x 4 sedécompose
alors en deux matrices2 x 2 dont tous les termes restants sont
indépendants :
Si l’observation de la diffusion est vers l’avant ou vers
l’arrière ,
iln’y
a pas desimplification
supplémentaire
sauf si l’incidence est normale(application
possible
au radarqui
fonctionne souvent enrétrodiffusion).
Il y a 8 coefficients réels
indépendants.
5. Coefficients d’ordre
supérieur
à 2.Après
cette étude détaillée du cas leplus simple,
celui des coefficients d’ordre2,
il y aurait à considérer les coefficients ou moments d’ordreplus
élevé. Pour N = 4 et rienqu’en
selimitant à un seul vecteur d’onde diffusé avec
toujours
un seulincident,
il y aura pour chacun9
paramètres
à faire intervenir - les associations dechaque
terme de l’ensemble(pp,
ps,ss)
avec
chaque
terme de(p * p *, p *
s *,
s *s *)
- et donc 81 coefficientspossibles.
Onpourrait
en faire l’étude en
généralisant
la méthode élémentaire suivie pour N = 2. Peut-être serait-ilplus
rapide
des’appuyer
sur la remarque suivante : lesparamètres qu’on
peut
considérer,
après
combinaison linéaire sinécessaire,
comme une base dereprésentation
dessymétries
dudispositif
nepeuvent
être liés par des coefficients que s’ilsappartiennent
à la mêmereprésentation
irréductible dechaque symétrie
(la
théorie desreprésentations
estexposée
dans presque tous les ouvrages sur les groupes, par
exemple
[5]).
Mais il seraittrop
long
depoursuivre
dans cette voie. Ilimporte
de discuter desproblèmes qui
seposent
dans ledomaine
expérimental.
On le fera d’abord dans le casgénéral.
6. Surfaces à utiliser.
On va s’intéresser d’abord à la taille du
spécimen
à étudier. Il faut que les dimensions de la surface éclairée et diffusante soientgrandes
devant la distance de corrélation desrugosités
(il
peut
y avoirplusieurs
distances : on en verra unexemple plus
loin).
Dans lapratique
actuelle onopère
leplus
souvent sur de trèsgrandes
surfaces. Soitdonc,
pour commencer, une surfacequ’on prendra
en forme de carré de côtéL,
suffisammentgrande
pourqu’on puisse,
par lapensée,
décomposer
sonplan
moyen en un pavage de carrés élémentaireségaux,
dont lapoint
de coordonnéeplane
pj
donne lacontribution,
non corrélée avec les autres,Ej
=Aj(kti,
ktd)
exp 2 7Ti(kt; - ktd) .
pj
auchamp
totalEo
qui règne
au centre dudiaphragme
de sortieplacé
près
durécepteur.
Les fonctions aléatoiresAj
ont leurspropriétés statistiques
qui
varient lentement engénéral
en fonctionde
1 kti -
ktd 1
mais,
par contre, lesphases
relatives desEj
varient trèsrapidement
du faitprincipalement
des facteursexponentiels
desorte que les contributions
Aj
auchamp
totalEo
se font avec desdéphasages qui
oscillent trèsrapidement.
Il s’ensuit que les moyennesspatiales
peuvent
être faites sur une seulesurface,
comme il a été écrit
plus
haut,
en faisant les moyennes sur unpetit
intervalle kt; -
ktd 1
soit,
par
exemple,
en faisant varier02.
Apartir
d’un trèsgrand
nombre de telles surfaces ou,comme on vient de le
voir,
enagissant
sur unangle
0 il serait intéressant de déterminer leshistogrammes
descomposantes
réelles etimaginaires
duchamp Eo
au centre dudiaphragme ;
quoique
compliquée,
cette détermination directe seraitpossible
mais les différents momentsd’ordre deux et
supérieurs
peuvent
donnerdéjà
de bonnes informations à cesujet.
On doit s’attendre à ce que ceshistogrammes
serapprochent
deplus
enplus
d’une loi de Gauss(ou
detype
Rayleigh
si on travaille sur lesmodules)
au fur et à mesure que Laugmente,
le nombrede contributions
Ej
augmentant
aussi. Ceci est en faveur del’emploi
depetites
surfacespuisqu’il
s’agit
de caractériser l’état de surface ou d’endistinguer
les différentstypes.
Mais sur le choix de ces dimensions et du reste de la
géométrie
dudispositif pèsent
d’autres contraintes que l’on va voir. On est amené à mesurer lesamplitudes
elles-mêmesquand
ellesapparaissent
dans un moment avec unepuissance impaire.
Ces mesures devraient être faites parsuperposition
avec une onde de référence au niveau durécepteur ;
elles demandent que ladifférence de
phase
entrel’amplitude
dechaque
ondeletteAj
prise
maintenant sur lerécepteur
et celle de l’onde de référence soit constante sur toute la surface durécepteur.
Grâce à uneoptique
il estpossible
de réaliser defaçon
convenable cette constance pour uneondelette
particulière,
celle du carré central parexemple.
Pour toutes les autres elle devra l’être alorségalement
à une faible fraction de 2 7Tprès.
Il en sera ainsi si la différence demarche entre les chemins reliant deux
points
fixes duspécimen
éclairé et diffusant à unpoint
du
récepteur
varie très peuquand
ce dernierpoint
décrit toute la surface dudiaphragme,
le maximum de cette variation devant être une faible fraction de À : c’est-à-dire que la surfaceutile du
spécimen
doit être sensiblement l’aire de cohérence habituelle déterminée par lagéométrie
du côtérécepteur
del’appareillage.
Cette dernière conditionexprime
aussi que le carré del’amplitude
de E restepratiquement
constant sur toute la surface dudiaphragme,
condition nécessairequand
on veut que les mesures donnent une bonnereprésentation
duchamp
diffusé. Ceci est nécessaire en théorie dans tous les cas.On va donner un ordre de
grandeur
de ces contraintes. Si R est la distancespécimen pupille
et S =
L2
la surface éclairée de cespécimen,
la conditionprécédente
sera satisfaite si leproduit
de la surface ôa dudiaphragme
parl’angle
d’ouverture sn = S . cos02/R2
est inférieur au carré de lalongueur
d’onde. Parexemple
siel
et192
=0,
si R = 50 cm etA =
0,5
03BCm et si le diamètre de la surface éclairée est 5 mm, celui de
pupille
doit être bieninférieur à 50 jim. On voit l’intérêt de travailler sur de
petites
surfaces : l’étendue du faisceauutile est limitée mais si on diminue la surface éclairée on
peut augmenter
enproportion
lasurface du
diaphragme
sansperdre
deflux,
lemontage
mécanique
peut
être moinsprécis.
Quand
N = 2(sauf
pour le cas de deux ondesdiffusées)
on a à faire des mesures deparamètres
de Stokesqui
se ramènent à des mesures directes de flux par lerécepteur
etintervenant linéairement dans les moyennes
cherchées,
les contraintes sontbeaucoup
moins lourdes et onpeut
engénéral
utiliser degrandes
surfaces despécimen
éclairées et dediaphragme.
On gagne enrapport
signal
sur bruit et la moyennespatiale
estdéjà
faite en7. Discussion.
En résumé il y aurait un
grand
nombre de mesures à faire. Mais comment lesexploiter
est laquestion qui
se pose. On ne sait pas d’unefaçon
générale
résoudre leproblème
inverse,
c’est-à-dire remonter directement de ces mesures auxpropriétés
intéressantes duspécimen.
Il fautprocéder
parmodèles,
modèlesqu’on
pourracompliquer
deplus
enplus
enpassant
parexemple
de la diffusionunique
à la diffusionmultiple
-double,
triple...
-en
augmentant
lestypes
dediffuseurs,
en variant leursdistributions,
etc...Lorsque
la surface a un effetprédominant,
deux modèlessimples
- à facettes et « àréseaux » -
peuvent
servir depoint
dedépart
à des modèlesplus
élaborés. Dans lepremier
on suppose que l’onde incidente se réfléchit sur une facette suivant les lois de
l’optique
géométrique
et ne se réfléchitqu’une
seule fois sur la surface. Ce modèle demande quel’amplitude
desrugosités
soitgrande
devant lalongueur
d’onde. Dans le modèle àréseaux,
qui
s’applique
au contraire pour les faiblesrugosités
et les faiblespentes,
on considère les ondulations de la surface comme lasuperposition
d’ungrand
nombre de réseaux sinusoïdauxélémentaires,
chacund’amplitude
très faible. Cela revient àexprimer
la cote u de toutpoint
de la surface comme une série de Fourier :
De
plus
on admet quechaque
ondulationf K
diffuseindépendamment
des autres.Dans
beaucoup
de cas intéressants(surfaces
polies
enparticulier)
ce modèle « à réseaux » àune seule
diffusion,
le seul utilisé dans lasuite,
donnedéjà
de très bonnesapproximations.
L’amplitude
diffusée par la surface est leproduit
def K
par un termequi,
pour lapolarisation
s, varie lentement avec
02, 01
étantfixé,
maisqui,
pour lapolarisation
p, variebeaucoup
etmême s’annule et
change
designe
siOl
se trouve dans un certain domaine. La théorie àemployer
ici doit nécessairement être « vectorielle »(par
opposition
aux théoriesscalaires)
puisque
lesangles
Ol
et02
peuvent
approcher
ir/2
dans lesexpériences
et que lapolarisation
joue
un rôle trèsimportant.
La référence[6]
concerne l’un des très raresexposés
bibliographiques
sur laquestion.
La méthode de Greenpermet
de traiter l’effet desrugosités,
des diffuseurs dans la masse et des couches de passage simultanément sans
beaucoup
decalculs
[7].
Le coefficient(pp)(pp)*, qui
estpositif,
devrait donc s’annuler(expérimentale-ment la diffusion
présente
un minimum très accusé pour des valeurs deel
et02
légèrement
différentes d’ailleurs de celles que
prévoit
la théoriesimple
[8]).
Quant
au coefficient(pp ) (ss ) *,
il devraitchanger
designe ;
ce coefficientfigure
dans la deuxième matrice(15)
dont on ne mesure pas engénéral
les coefficients cequi
seraitpourtant
intéressant à faire. Par ailleurs comme ce modèle « à réseaux » fait intervenir un nombre restreint deparamètres
-les termes croisés
(ps ) (ps ) *
et(sp ) (sp ) *
sont nuls - etque d’autre
part
onpeut
faire desmesures pour des valeurs de
Ol
et02
s’étendant sur unlarge
domaine,
les coefficients(pp)(pp)*
et(ss)(ss)*
qui figurent
dans(15)
sont déterminés avec unegrande
redondance. Dans de nombreusesexpériences
sur des surfacespolies
on a trouvé que les termes « croisés »ne sont pas tout à fait
nuls,
le flux reçu par lerécepteur
variant très peu avec02 :
c’est une bonne indication depossibilité
de diffusionmultiple
ou de diffusion dans lamasse par des diffuseurs
qui
n’ont pas lasymétrie
sphérique.
Pour aller
plus
loin il faudrait examiner les voies où onpeut
affiner le modèle « à réseaux » : couches de passage, diffusionsmultiples
de surface et diffusion dans la masse. On va commencer par ces dernières. SiOl
est différentde 02 et
si les défauts en volume n’ontaucune corrélation avec ceux en