HAL Id: jpa-00229527
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Submitted on 1 Jan 1989
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MÉTHODE D’ANALYSE DE GAZ EN AMONT ET EN AVAL DE RÉACTEURS DE MOVPE EN VUE DE
LA MISE AU POINT DE PROCESS
B. Cros, M. Stoehr, M. Maurin, A. Mathieu, J.-M. Fabre, L. Giral
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B. Cros, M. Stoehr, M. Maurin, A. Mathieu, J.-M. Fabre, et al.. MÉTHODE D’ANALYSE DE GAZ EN AMONT ET EN AVAL DE RÉACTEURS DE MOVPE EN VUE DE LA MISE AU POINT DE PROCESS. Journal de Physique Colloques, 1989, 50 (C5), pp.C5-14-C5-14.
�10.1051/jphyscol:1989504�. �jpa-00229527�
JOURNAL DE PHYSIQUE
Colloque C5, supplement au n05, Tome 50, mai 1989
METHODE D'ANALYSE DE GAZ EN AMONT ET EN AVAL DE RI~ACTEURS DE MOVPE EN W E DE LA MISE AU POINT DE PROCESS
B. CROS, M. STOEHR, M. MAURIN, A. MATHIEU*, J.-M. FABRE* et L. GIRAL*
Laboratoire de Physicochimie des Materiaux Solides, U.R.A. D 0.407, Place Eugene-Bataillon, F-34060 Montpellier Cedex 1, France
'~aboratoire de Chimie Structurale Organique, Universite des Sciences et Techniques du Languedoc, Place Eug&ne-Bataillon, F-34060 Montpellier Cedex 1. France
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Article published online by EDP Sciences and available at http://dx.doi.org/10.1051/jphyscol:1989504
