HAL Id: hal-00994757
https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00994757
Submitted on 23 May 2014
HAL is a multi-disciplinary open access archive for the deposit and dissemination of sci- entific research documents, whether they are pub- lished or not. The documents may come from teaching and research institutions in France or abroad, or from public or private research centers.
L’archive ouverte pluridisciplinaire HAL, est destinée au dépôt et à la diffusion de documents scientifiques de niveau recherche, publiés ou non, émanant des établissements d’enseignement et de recherche français ou étrangers, des laboratoires publics ou privés.
Piezoelectric aluminum nitride resonator for oscillator
Olivier Mareschal, S. Loiseau, A. Fougerat, L. Valbin, G. Lissorques, Sébastien Saez, Christophe Dolabdjian, R. Bouregba, G. Poullain
To cite this version:
Olivier Mareschal, S. Loiseau, A. Fougerat, L. Valbin, G. Lissorques, et al.. Piezoelectric aluminum nitride resonator for oscillator. Frequency Control Symposium, 2009 Joint with the 22nd European Frequency and Time forum. IEEE International, Apr 2009, Besançon, France. p894-897. �hal- 00994757�