HAL Id: hal-00000373
https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00000373
Preprint submitted on 21 May 2003
HAL is a multi-disciplinary open access archive for the deposit and dissemination of sci- entific research documents, whether they are pub- lished or not. The documents may come from teaching and research institutions in France or abroad, or from public or private research centers.
L’archive ouverte pluridisciplinaire HAL, est destinée au dépôt et à la diffusion de documents scientifiques de niveau recherche, publiés ou non, émanant des établissements d’enseignement et de recherche français ou étrangers, des laboratoires publics ou privés.
Pt-based metallization of PMOS devices for the
fabrication of monolithic semiconducting/YBa2Cu3O7-d superconducting devices on silicon
Guillaume Huot, Laurence Méchin, Daniel Bloyet
To cite this version:
Guillaume Huot, Laurence Méchin, Daniel Bloyet. Pt-based metallization of PMOS devices for the fabrication of monolithic semiconducting/YBa2Cu3O7-d superconducting devices on silicon. 2003.
�hal-00000373�
ccsd-00000373 (version 1) : 21 May 2003
2
3
7−δ
!"
1# $ % &'( )* + * , - . /!0 1"
2 3 4 5 6 76 8 3 9 :; 3 <= >?@A 4 8 9B6C 4 8 D : EFGHIJFKL MH 6 NHEA < O M MP
; NILQR NS TPFEA UV =W = QHM HX 6 NHEA YINEQH
Z [ \]^_`]
a b c d ec d ef a b ghi d efj k elkh m no p lgqr s rrh irtb pkeri bheb uk ghi ukv
2
pwsx
peygerp sz { | ptweerykh} ghi ghhrgnri kh elr ~ g
2 w
3
v
7−δ
}yb el bhikekbhp j lr
r re b ghhrgnkh} bh elr plrre yrpkeghr b whtgeeryhri ngzryp gp o rgpwyri
d exs gpri o wnekngzryri o regnnkgekbh b y elr d a v u irqkrp gp t ybtb pri ghi erperi
b y elr o b hbnkelk kher}ygekb h b d a v u irqkrp ghi ~
v prhpb yp b h elr pg o r
pknkbh pwspeyger j lr s rpe yrpwnep ryr bsegkhri kel g def j kfa bxpknkkir peywewyr
plb kh}
0.472 Ω
2
kheryb hhre plrre yrpkpekqkez ghi
2×10−4Ω·cm2 pt rkm bhege
yrpkpekqkez g ery ghhrgnkh} by
60 o khwerp ge 700◦
kh
0.5 o sgy v 2 tyrppw yr
H IMJ
d e a b a regnnkgekbh uwt rybhiwekh} prhpbyp a b hbnkelk
her} ygekbh
¡ ¡¢ £ ¤¥ ¦ ¡§¨ ¤¥ £¡ ©¡ª « ¤ ¥¬ §©¡ ®¬ ©£¤ ¯ °
2±
¬
3² 7−δ
³
¯ °
± ² ´
ª ¤©§¡« ¡¡ª £§¥ ® ¥ª ¤©¡ ®¬ ©£¤ §ª ¤ §¥ ¡ £ ¥ª ¥¤µ
¤©¡ ¥¬« ¥£§£ ¤ ¡§® § £¡ © £ ¡¶§ ¥ ¥¡§ §¢¡§ª ©¥· ¸ ©¤
£ §®¡¬£ ©£§¡¤©¥ £ ¹¹ º ¥ ©¡¥ ¥ ¡¥¥¤« £¡ £ ®£©£¡§ ¥ ¥¶§
® ¶£ ¥ »¼ ½¾¿· ¥ ¡§£ ® ¤¥£ ©¥ « £¦ ¥ ¥¡§¥ ® ©£§¡ ¤©¥ §¶£
¡¤¥ ¤©¨ ¬ ¢§¡ª £ ¶ ¤§¡ ª £ ® £ ©§¡¥¥ £¨ « £¦ ¤ ¥ ¤ £
©¥ ¡¢ ¥ ¥¡§ ª ¬ £¤À¤ »Á¿· ¬ §£ §ª ¡§ ½ £ ¥ ¥¡§ ¥Ã ¥£ª ® ¤ª ¥¤¡ ¥ §
§® ¬ © ® ½ £ ©£§¡ ¤© ¦ ¤£ ¡¤¥ © « ¡¦ §® ® £ ¥££¤© §¢¡§ª ©¥
1
b yyrptb hikh} gwelb y ro gknÄ } lwbeÅ } yrz kpo yg y
± ²
¤ ®¶¤©¥ ¶ £¡ « §¡©¥¥ ® £ £ ¥£ · ® ¡¥¤£¤¡ ©¡ ®¤£¤¡¥ ¡¢
¤ ¬ ¤£Ã ¯ °
± ²
ç¥ ¡ ¥¤¤©¡ ¶ « ® ¥©§¤« ® ¤ »¿· ¥ª ¤©¡µ
® ¬ ©£¤ ®¶ ¤©¥ ¡£« à ¶ £¡ ¦ ¤£ ¥£ ® ¤ £ £ª §£¬ §¥ §¡¬ ®
¹
◦
±
¤ ¡Àà £ª ¡¥ §
³
®¬ §¤ ¯ °
± ²
® ¡¥¤£¤¡ £ ¥¬ « ¥£§£ ¡®§
¤¥ ® £ ¹
◦
±
¼ ª
· ª ° §
² 2
§¥¥¬ § ¢¡¡¦ ® «Ã £¬ £
◦
±
¼ ª
¹ ª ° §
² 2
§¥¥¬§
´
· ¡¬§ À §¤ª £¥ ¥¤ª ©®ª ¤© ¸
²
£© ¡¡ à ¦ ¥ ¬ ¥® ¦ § ¦ § ©® £ ¥£ ® §® ª £¤£¤¡ « ¬Ã
ª ¬£¤Ã§ ¡ ·
©£¤¡ §¥£¥ £ ©£¥ ¡¢ £ ¤ £ª §£¬ §
® ª « ¤£ £ª ¡¥ § ¡ £ ¥©£® ª £¤© ç¥
³
¸ £½ ¡½ ¤
´
®
¥¡ª ©¡ª « ¤ £¤¡ ¡¢ £ ª · ¸ £µ« ¥® ª ¬ £¤Ã§® ª £¤ £¤¡ ¥Ã¥£ª ¤¥
£ §¡ ¡¥® ® £¥£ ® ¤ ¥©£¤¡ ¼ ·
® ¡¥¤£® ª £¤© £ ¤ ª ¥ ¡ « ¡£
10Ω ° ¡§¡µ®¡ ® ¥¤¤©¡ ® ¡À¤µ
® ¤® ¥¤¤©¡ ¦ ¢§¥ «Ã  ¥ ¬££§¤ · § ¬ § ª £ £§ £¥ ¦ § ¬ ¥ ®
¡ ½ ¸ £ ® ¤·
¤ ®
¤
² 2
¥¬ «¥£§£¥ ¦ § ¬ £§¥¡ ¤©Ã © ® ¬ ¥µ
¤ ¡§ ¤© ¥¡¬ £¤¡¥ « ¢¡§ ¡® ¤ ¤£¡ £ ¥ ¬ ££§¤ © ª « §· « ¥
§¥¥¬ § ¡¢ £ © ª « § ¦ ¥ « ¡¬£
10−6 ª « §· ¡ ® ¸ £ ¡ ç¥ ¦ § ®µ
¡¥¤£® ¡£¡ ¥¬ « ¥£§£ ¥ £ §¡¡ª £ª §£¬§ · ¸ £ ® ¸ £
¤ ç¥ ¦ §
§ §® ¤ ¥¤£¬ ¡ £¡ £® ¥¬ « ¥£§£ ¥ £
450◦± ¢¡§ ¤ ® 550◦± ¢¡§ ¸ £ ³¥
® £¤¥ ¤ »¿
´
·
ª ¥ ¦ § ©£§¤©Ã © §©£§¤® ¥µ® ¡¥¤£ ® ® ¢£§
¤ ¢¡§
60 ª ¤¬ £¥ ¤£§ ¤ 10−4 ª « § ¶©¬¬ ª ¡§ £ 0.5 ª « § ¡À õ
§¥¥¬ § ¤ £ ¥§ « £¤¡ © ª « § ¬ ¥® ¢¡§ £ ¯ °
± ²
§¡¦ £ ·
£§ ¤¥ §®¤£¤¶ §¥¤¥£ © ® £ ¥ª ¥ § £® ¢§¡ª £ « ©¨ ¥¤® ·
£ª §£¬ § ¡¢ £ ¥¬ « ¥£§£ ¡®§ ¦ ¥ À® £
700◦± ½ ¦ ¤© ª ¥
¥ª £ª §£¬ § §¡¬ ®
750◦± · ¥ £ § ¥¤¥£ © ¡¢ £ ª £¤© õ
§¥ ¦ ¥ ª ¥¬ §® ¬ ¥¤ £ ©¡¤ § ¢¡¬ §µ§¡« £ © ¤¬ ¦ ¤£ ¸ Á°
£¥£§ »¿· ¥¬£¥ § § ¡§£® ¤ « · Á½ ¦ § ©§¡¥¥ ª ¥ ¡ µª ¥¬ §«
¥ £ §¥¤¥£ © · ¬ ¤££¤¶ «¤« ¤¡ § ¤© ® £ ¡ ¨ ¡¦ ¤£§©£¤¡ ¥ ¦ ¤£
¥¬ « ¥£§£
³
¢§¡ª »¿
´
§ ®® ® ¢¡§ ©¡ª §¤¥¡ ¤ ©¡¬ ª ¥ ® ° ¡¢ « ·
Á·
²
¬ § §¥¬£¥ § ©¡ ¥¤¥££ ¦ ¤£ « ¤«¤¡ § ¤© ® £ · ©¡ ©£§£ ¡ £
©£ ¡¢ £ ¤ ¤ ¡À Ã ·
²
à ¸ £ ç¥ ¥¡¦ ¡¦ § § ¥¤¥£ © ¢£§
¤ ¤
² 2
« ¡£ ¡
¤ ®
¤
² 2
¥¬ « ¥£§£¥· ¡¦ ¶§½ £ ® ¥¤¡ ¡¢ ¸ £
¡
¤
² 2
¦ ¥ ¡£ § §¡ ®¬ ©¤« · ¥ £ §¥¤¥£ © ¡¢ ¸ £
¤ ç¥ ® ¡¥¤£ ®
¡
¤
² 2
¤¥ ¡£ ® §®® · £ ¥£½ ¸ £
¡ ¡
¤ ©¡¬ ® ¥¡ « ¡¡® © ®¤® £ ·
§¡ª £ ¥ §¤ª ¤ §Ã ª ¥¬ §ª £¥ ¤£ §¥ £ £ ¸ £µ« ¥® ª ¬ £¤Ã§®
¥Ã ¥£ª ¥¡¬ ® « ® ¶¡ ® ¢¡§ ¡¬ § ¸
²
®¶¤©¥ ¤ ¡§® § £¡ ¦ ¤£ ¥£ ® £
¯ ° §¡¦ £ ©¡ ®¤£¤¡ ¥·