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PACVD OF "DIAMOND-LIKE" CARBON FILMS IN MICROWAVE MULTIPOLAR PLASMAS

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Academic year: 2021

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Texte intégral

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HAL Id: jpa-00229610

https://hal.archives-ouvertes.fr/jpa-00229610

Submitted on 1 Jan 1989

HAL is a multi-disciplinary open access archive for the deposit and dissemination of sci- entific research documents, whether they are pub- lished or not. The documents may come from teaching and research institutions in France or abroad, or from public or private research centers.

L’archive ouverte pluridisciplinaire HAL, est destinée au dépôt et à la diffusion de documents scientifiques de niveau recherche, publiés ou non, émanant des établissements d’enseignement et de recherche français ou étrangers, des laboratoires publics ou privés.

PACVD OF ”DIAMOND-LIKE” CARBON FILMS IN MICROWAVE MULTIPOLAR PLASMAS

M. Morin, L. Vandenbulcke

To cite this version:

M. Morin, L. Vandenbulcke. PACVD OF ”DIAMOND-LIKE” CARBON FILMS IN MICROWAVE MULTIPOLAR PLASMAS. Journal de Physique Colloques, 1989, 50 (C5), pp.C5-665-C5-665.

�10.1051/jphyscol:1989577�. �jpa-00229610�

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JOURNAL DE PHYSIQUE

Colloque C5, supplément au n 0 5 , Tome 50, mai 1989

PACVD OF "DIAMOND-LIKE" CARBON FILMS IN MICROWAVE MULTIPOLAR PLASMAS

M. MORIN and L. VANDENBULCKE

Centre de Recherches sur la Chimie de la Combustion et des Hautes Temperatures, CNRS, F-45071 Orléans Cedex 2 , France

( recenk' news )

Article published online by EDP Sciences and available at http://dx.doi.org/10.1051/jphyscol:1989577

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