(fe) المطعم بالحديد (SnO2) تحديد خصائص أكسيد القصدير

ةيبعشلا ةيطارقميدلا ةيرئازجلا ةيروهمجلا

يملعلا ثحبلاو يلاعلا ميلعتلا ةرازو

: بيترتلا مقر

:لسلستلا مقر

يهشلا ةعماج

د

رضخل همح

ـ

يداولا

ـ

ةقيقدلا مولعلا ةيلك

ةداهش لينل جرخت ةركذم

رتسام

يميداكأ

ءايزيفلا ةبعش

ةيقيبطت ءايزيف

عاعشإو ةقاط :

ىـليل ينقس : دادعإ نم

عوضوملا

: موي تشقون

25

/

05

/

2016

ةشقانملا ةنجل

دارم ينوميم ذاتسلأا

دعاسم ذاتسأ

ب مسق

رضخل همح ديهشلا ةعماج

-يداولا

سيئر

ةميسن حاتفم ةذاتسلأا

ةدعاسم ةذاتسأ

مسق

أ

رضخل همح ديهشلا ةعماج

-يداولا

شقانم

ة

روشاع لاحر ذاتسلأا

دعاسم ذاتسأ

مسق

ب

رضخل همح ديهشلا ةعماج

-يداولا

رطؤم

يعماجلا مسوملا

:

15

20

/

2016

ريدصقلا ديسكأ صئاصخ ديدحت

)

2

(SnO

ديدحلاب معطملا

(Fe)

ءادهلإا

لىإ

....يننثإزعأ

نافرعو ركش

ريدقتلاوركشلاب مدقتأ

لىإ

لضفلا بحاص

ذاتسلأا

" روشاـــــــــــــــع لاحر"

ناك تيلا هتادوهمج ىلع

اله

. هيلإ تلصو ام في غلابلا رثلأا

كشأو

ةشقانلما ةنجللا ءاضعأ ر

ذاتسلأا نم لك

"دارم ينوميم"

ذاتسلأا و اسيئر

ة

حاتفم"

ن

س

" ةمي

ةشقانم

مهلضفت ىلع

ا

. يلمع ةشقانبم

ذاتسلأل ركشلاب مدقتأ امك

"ركبوب ىوح نب"

لكو

نم

برمخ ىلع ينلوؤسلما

"VTRS"

و

كلذك

ءايميكلا برمخ

ىلع

بيناج لىإ مهفوقوو منهواعت

.

و

لا

يلمع حانجإ في ديعب وأ بيرق نم لضفلا هل ناك نم لك ركشأ نأ لاإ يرخلأا في نيعسي

ه

اذ

.

سرهــفلا

عيضاولما سرهف

روصلاو لاكشلأا ةمئاق ... ... ... ... I لوادجلا ةمئاق ... ... ... ... III زومرلا ةمئاق ... ... ... ... IV ةــماــعلا ةــمدـقملا ... ... ... ... 11 ةماعلا ةمدقملا عجارم ... ... ... ... 16 لولأا لصفلا : ةفافشلا ةلقانلا ديساكلأا (TCO) 1. I ةفافشلا ةلقانلا ديساكلأا (TCO) ... ... ... 11 2. I ةفافشلا ةلقانلا ديساكلأا صئاصخ TCO) ) ... ... ... 11 1.2.I ةيئابرهكلا صئاصخلا ... ... ... 20 2.2.I اصخلا ةيئوضلا صئ ... ... ... 22 3.I ةفافشلا ةلقانلا ديساكلأا رايتخإ ريياعم (TCO) ... ... .. 21 4.I ةفافشلا ةلقانلا ديساكلأا ميعطت (TCO) ... ... ... 22 1.4.I عون ( نم ميعطتلا n ) ... ... ... 21 2.4.I عون ( نم ميعطتلا p ) ... ... ... 21 5.I ريدصقلا ديسكأ ) 2 SnO ) ... ... ... 21 1.5.I ريدصقلا ديسكلأ ةيرولبلا ةينبلا ) 2 ( SnO ... ... ... 21 2.5.I قلا ديسكلأ يقاطلا لصافلا (ريدص 2 SnO ) ... ... .. 00 2.5.I صئاصخلا ريدصقلا ديسكلأ ةيئايميكلا ) 2 SnO ) ... ... 01 3.5.I ريدصقلا ديسكلأ ةيئايزيفلا صئاصخلا ) 2 SnO ( ... ... 01 4.5.I ريدصقلا ديسكلأ ةيئوضلا صئاصخلا ) 2 SnO ( ... ... 02 5.5.I ريدصقلا ديسكأ تاقيبطت ) 2 SnO ) ... ... ... 00 6.I ةيئايميكلاو ةيئايزيفلا صئاصخلا ديدحلل Fe) ) ... ... .... 01 ةصلاخلا ... ... ... ... 01 لولأا لصفلا عجارم ... ... ... ... 05 يناثلا لصفلا : ةنياعملاو بيسرتلا قرط 1.II تاينقت ريضحت ةيشغلأا ةقيقرلا ... ... ... 01 1.1.II قئارطلا ةيئايزيفلا ... ... ... 01 2.1.II قئارطلا ةيئايميكلا ... ... ... 10 2. II ةبسانملا بيسرتلا ةينقت رايتخإ ريياعم ... ... ... 10

سرهــفلا

3. II ةنياعملا قرط ... ... ... ... 11 1.3. II ةينيسلا ةعشلأا فارحنإ ... ... ... 11 2.3. II ةيئوضلا صئاصخلا ... ... ... 12 3.3.II ةيئابرهكلا صئاصخلا ... ... ... 11 ةصلاخلا ... ... ... ... 51 يناثلا لصفلا عجارم ... ... ... ... 55 ثلا لصفلا ثلا : جئاتـــنلاو يبيرجتلا لمعلا 1.III ةيشغأ بيسرت يرارحلا للاحنلإاب شرلا ةينقتب ... ... 59 1.1.III يرارحلا للاحنلإاب شرلل يبيرجتلا بيكرتلا (Spray Pyrolysis) ... 51 2.1.III ةقيقرلا ةيشغلأا ريضحت ... ... ... 60 2.III ةرضحملا ةيشغلأل ةيوينبلا صئاصخلا ... ... ... 60 1.2.III ( ةينيسلا ةعشلأا جارعنإ XRD ) ... ... ... 60 III 2.2. حت ةيرولبلا ةكبشلا تباوث ديد ... ... ... 61 3.2.III يبيبحلا مجحلا ... ... ... .. 65 3.III ةيئوضلا صئاصخلا ... ... ... 67 1.3.III ةيذافنلا Transmittance ) ) ... ... ... 62 2.3.III يقاطلا لصافلا ) g (E ... ... ... 2 6 4.3.III خابروأ ةقاط ) u (E ... ... ... 61 5.3.III كمسلا ديدحت ... ... ... .. 21 4.III ةيئابرهكلا صئاصخلا ... ... ... 21 1.4.III ا ةمواقملا ( ةيحطسل sh R ) ... ... ... 21 2.4.III ةيئابرهكلا ةيلقانلا ... ... ... 72 ةصلاخلا ... ... ... ... 73 ثلاثلا لصفلا عجارم ... ... ... ... 74 خلا صلا ة ةــــــــــــماعلا ... ... ... .... 76

سرهــفلا

I

لأا ةمئاق

روولاو لاكش

لكشلا (1.I) : تاقيبطت (TCO) ... ... ... 11 لكشلا (2.I) : ةفافشلا ةلقانلا ديساكلأل ةيقاطلا تايوتسملا (TCO) . ... ... 20 لكشلا (3.I) : ط قلعت نم لكب ةفافشلا ةلقانلا داوملا في 𝜆𝑔𝑎𝑝 و 𝜆𝑝 ... ... 22 لكشلا (4.I) : ةيشغلأ يجوملا لوطلا ةللادب صاصتملإاو ساكعنلإاو ةيذافنلا تلاماعم (TCO) . ... 21 لكشلا (5.I) : ا ةلاحلا يف ةباصع حضوي يطيطخت مسر (ةيقنل a ( ةمعطملا ةلاحلاو ) b ) ... 21 لكشلا (6.I) : لا ةيلخ ةيساسلأا لأ يدصقلا ديسك ر ... ... ... 00 لكشلا (7.I) : ريدصقلا ديسكأ ةوجف ةينب 2 SnO ليتورلا ةرولب ... ... 00 لكشلا (8.I) : مسر .لقاونلا هابشأ يف ةرشابملا ريغو ةرشابملا تلااقتنلإا حضوي يطيطخت ... 01 لكشلا (9.I) : زاغ سسحت زاهج حضوي يطيطخت مسر 2 CO ةيشغأ ىلع دمتعملا 2 SnO ... 00 لكشلا (1.II) : ةقيقرلا ةيشغلأا بيسرت حضوي مسر ريخبتلا ةقيرطب (Evaporation) . ... 01 لكشلا (2.II) : ذيذرتلا ةقيرطب ةقيقرلا ةيشغلأا بيسرت حضوي مسر (D.C. Sputtering) ... 01 لكشلا (3.II) : راخبلا ةقيرطب ةقيقرلا ةيشغلأا بيسرت حضوي مسر يئايميكلا (CVD) ... 10 لكشلا (4.II) : يرارحلا للاحنلإاب شرلا ةطساوب بيسرتلا ةيلمع حضوي يطيطخت مسر ... 12 لكشلا (5.II) : ةقيقرلا ةيشغلأا بيسرتل ةفلتخملا تاينقتلا حضوي ططخم ... ... 12 شلا لك (6.II) : غارب طورش يف ةيرولبلا تايوتسملا ةلئاع حضوي يطيطخت مسر ... 11 لكشلا (7.II) : ةينيسلا ةعشلأا جارعنإ رهظي يطيطخت مسر (XRD) ... ... 15 لكشلا (8.II) : ةينيسلا ةعشلأا جارعنإ زاهج (XRD) ... ... 15 لكشلا (9.II) : طيسب جارعنإ سايقم لامعتسإب اهيلع لصحتملا ةسكعنملا ةينيسلا ةعشلأا ةفاثك ... 16 لكشلا (10.II) : ةيفايطملا ةيئرملا ةيجسفنب قوفلا VIS) -(UV ... ... 11 لكشلا (11.II) : ةعبرلأا رباسملا ةينقت ةبيكرت Four –point probe

... ... 11 لكشلا (12.II) : ( واب ريد ناف ةينقت ةبيكرت Van der Pauw

.) ... ... 51 لكشلا (13.II) : . "لوه لعف " سايق يف لمعتسملا يبيرجتلا بيكرتلا ... ... 52 لكشلا (14.II) : .ةيموأ تلاصوم ةعبرأب ةقيقر ةلقان هبش ةحيرش لوط ىلع لوه لعف حضوي طيطخت ... 52 لكشلا (1.III) : ." يرارحلا للاحنلإا ةينقت " ةقيقرلا ةيشغلأا بيسرتل يبيرجتلا بيكرتلا ... 60 لكشلا :(2.III) .ةمدختسملا ةيجاجزلا زئاكرلا ... ... ... 61 لكشلا (3.III) : (ريدصقلا ديرولك ةدام O 2 :2H 2 SnCl ) . ... ... 61 لكشلا :(4.III) ( ديدحلا ديرولك ةدام O 2 :6H 3 FeCl .) ... ... 62 لكشلا (5.III) : ( ريدصقلا ديسكأ ةيشغلأ ةينيسلا ةعشلأا جارعنإ فيط 2 (Fe:SnO . ... 60

سرهــفلا

II لكشلا (6.III) : ةكبشلا يتباث ميق تاريغت (a) و (c) .ميعطتلا بسن ةللادب ... ... 65 لكشلا (7.III) : ( ةميق ديدحت β نم اقلاطنإ ) .ةينيسلا ةعشلأا جارعنإ ... ... 65 لكشلا :(8.III) يبيبحلا مجحلل ةطسوتملا ميقلا تاريغت (D) .ميعطتلا بسن ةللادب ... 66 لكشلا (9.III) : يبيبحلا مجحلا تاريغت (D) ل ةيرولبلا تاهاجتلإ (110) ، (101) ، (211) ، (200) . .. 66 لكشلا (10.III) : ريدصقلا ديسكأ ةيشغلأ ةيذافنلا فيط ) 2 (Fe:SnO . ... ... 62 لكشلا :(11.III) ةحازإ حضوي يطيطخت مسر (Burstein Moss) يقاطلا لصافلل ل ) 2 (Fe:SnO . ... 61 لا لكش (12.III) : ريدصقلا ديسكأ ةيشغلأ خابروأ ةقاطو يقاطلا لصافلا ةميق (2%)) 2 (Fe:SnO . ... 61 لكشلا :(13.III) ريدصقلا ديسكأ ةيشغلأ خابروأ ةقاطو يقاطلا لصافلا ميق (4,6)%) 2 .(Fe:SnO ... 20 لكشلا (14.III) : ق ريدصقلا ديسكأ ةيشغلأ خابروأ ةقاطو يقاطلا لصافلا مي (0,1,8,10)%) 2 (Fe:SnO . 20 لكشلا (15.III) : يقنلا ريدصقلا ديسكلأ ةبسنلاب يئابرهكلا رايتلل ةلادك دهجلا قرف تاريغت ) 2 (SnO . .. 22 لكشلا .III) 6 (1 : ( ةيلقانلا نم لك ميق تاريغت σ ةيحطسلا ةمواقملاو ) ) sh (R ةيشغلأ :Fe) 2 (SnO . ... 20

سرهــفلا

III

لوادلجا ةمئاق

لودجلا (1.I) : صئاصخ (TCO) . ... ... ... 11 لودجلا (2.I) : صاوفلا ضرع ةفافشلا ةلقانلا ديساكلأا ضعبل ةيوقاطلا ل (TCO) ... 20 لودجلا (3.I) : لأ ةيئايميكلاو ةيئايزيفلا صئاصخلا ريدصقلا ديسك ) 2 SnO ) ... ... 02 لودجلا (4.I) : ديدحلل ةيئايميكلاو ةيئايزيفلا صئاصخلا Fe) ) ... ... 01 لودجلا (1.II) : ةقيقرلا ةيشغلأا بيسرتل ةفلتخملا تاينقتلا نيب ةنراقم ... ... 10 لودجلا :(1.III) ديدحلل ةينزولا بسنلا Fe) .) ... ... ... 62 لودجلا :(2.III) م اهيلع لصحتملا جئاتنلا صخلم ةينيسلا ةعشلأا جارعنإ فيط ن (XRD) . ... 61 لودجلا :(3.III) .اهيلع لصحتملا يقاطلا لصافلا ميق ... ... 61 لودجلا :(4.III) .اهيلع لصحتملا خابروأ ةقاط ميق ... ... . 61 لودجلا (5.III) : جمانرب نم اهيلع لصحتملا كمسلا ميق Hebal Optics) .) ... . 21 لودجلا (6.III) : تاسايق جئاتن صخلم ةيحطسلا ةمواقملا ) sh (R لا ةينقتب رباسم . ةعبرلأا ... 22

مرتلا

ــــ

زي

IV

زومرلا ةمئاق



ةينيتلالا فورحلا

Eg يقاطلا لصافلا [eV] . q ا ةيئابرهكلا ةنحشلا نورتكللإل ةيرصنعل [C] . v n ةنحشلا تلاماح ةفاثك ] 3 -cm [ . Sh R ةيحطسلا ةمواقملا [Ω] . 𝐕 دهجلا قرف [V] . I يئابرهكلا رايتلا [I] . c n جرحلا زيكرتلا ] 3 -cm [ . 𝐚_𝟎∗ ةداملل لاعفلا روب رطق فصن [nm] . 𝐥 رحلا راسملا طسوتم [m] . 𝐕_𝐟 نورتكللإا ةعرس [m/s] . 𝐓 لا ةيذافن [%] . 𝐑 ةيساكعنلإا [%] . 𝐀 ةيصاصتملإا [%] . 𝐡 كنلاب تباث [J.s] . 𝐧_𝐞 ةرحلا تانورتكللإا زيكرت ] 3 -cm [ . C ءوضلا ةعرس [m/s] . 𝐦∗ ةلاعفلا ةلتكلا [Kg] . 𝐧 . راسكنلإا ةنيرق 𝐄_𝐠𝟎 ةيساسلأا ةداملل يقاطلا لصافلا [eV] . 𝚫𝚬_𝐠 لإا رادقم يقاطلا لصافلا يف ةحاز [eV] . 𝐤 ⃗ . يجوملا هجتملا D يبيبحلا مجحلا [nm] . hkl d ةيرولبلا ةفاسملا [nm] . 𝐥 ةنيعلل رباعلا ءوضلا راسم لوط [cm] . 𝐧 . لاقتنلإا عون ىلع دمتعي تباث E يئابرهكلا لقحلا ] 1 -V.cm [ . J رايتلا ةفاثك ] 2 -A.cm [ . L هربع قفدتي يذلا لوطلا يئابرهكلا رايتلا [cm] . a ةنيعلا ضرع [cm] .

مرتلا

ــــ

زي

V d ةنيعلا كمس [cm] . B يسيطانغملا لقحلا [T] . 𝐅_{𝐋𝐨𝐫𝐞𝐧𝐭𝐳} زتنرول ةوق [N] . 𝐕_𝐇 لوه دهج [V] .



ةينانويلا فورحلا

μ ةنحشلا تلاماح ةيكرح ] 1 -s 1 -cm V [ . ρ ةيمواقملا ] cm Ω [ . σ ةيلقانلا ] 1 -cm 1 -Ω [ . 𝛕 نيمداصت نيب ءاخرتسلإا نمز [s] . ∅_𝟎 . دراولا ءوضلا ةدش ∅_𝐓 .ذفانلا ءوضلا ةدش ∅_𝐑 . سكعنملا ءوضلا ةدش ∅_𝐓 . صتمملا ءوضلا ةدش 𝛆_𝟏 .طسولا ةيحامس 𝛆_𝟎 .غارفلا ةيحامس 𝛂 صاصتمإ لماعم . 𝛎 ةيئوضلا تاجوملا ددرت ] 1 -s [ . 𝛌_𝐩 ا لوطلا امزلابلل يجومل [nm] . 𝛌_𝐠𝐚𝐩 يقاطلا لصافلل يجوملا لوطلا [nm] . 𝛆_∞ . ةعفترملا تاددرتلا دنع ةيحامسلا 𝛌 ةينيسلا ةعشلأل يجوملا لوطلا [A°] . 𝛃 . ةمق ىلعأ ضرع فصتنم ةميق n μ تانورتكللإا ةيكرح ] 1 -s 1 -cm V [ . p μ تاوجفلا ةيكرح ] 1 -s 1 -cm V [ . 𝛎 _{𝐝𝐫𝐢𝐟𝐭} فرجلا ةعرس ] 1 -s . cm [ .



ارشؤملا

ت

c .ةجرحلا sh .ةيحطسلا f .ةرحلا

مرتلا

ــــ

زي

VI hkl .رليم تلاماعم gap .يئوض لصاف 𝐝𝐫𝐢𝐟𝐭 .فرجلا P .امزلاب P .تاوجف N .تانورتكلإ



تاراصتخلإا

TCO . ةفافشلا ةلقانلا ديساكلأا BC . لقنلا ةباصع BV . ؤفاكتلا ةباصع 2 Fe:SnO ديدحلاب معطملا ريدصقلا ديسكأ XRD . ةينيسلا ةعشلأا جارعنإ UV . ةيجسفنب قوفلا VIS . ةيئرملا BM ةحازإ Burstein Moss

قملا

ةمدـــــ

ةماع ةمدقم

11 فرع ملع هتقلاطنإ ةفافشلا ةلقانلا ديساكلأا نم ذ ةنس 1102 ( ملاعلا لبق نم Badeker ىلع لمع يذلا ) مويمداكلا ندعم نم ءاشغ لوأ [ 1 ] ، و يف ةنس 1102 (ريدصقلا ديسكأ بيسرت مت 2 (SnO ةلقن مدقيل قيقر ءاشغك ةقيقر ةيشغأ لكش ىلع اهبيسرتو ةفافشلا ةلقانلا ديساكلأا ملع يف ةيعون يزيفلا اهصئاصخ نيسحتل ةيئوضلاو ةيئا [ 2 ] ، يف امأ ةنس 1110 لإاب شرلا ةينقت تدمتعإ نم لكل ةقيقر ةيشغأ بيسرت يف يرارحلا للاحن ا ديسكأ ريدصقل ) 2 (SnO مويدنلأا ديسكأو ) 3 O 2 (In . ةفافشلا ةلقانلا ديساكلأا تيظح (TCO) لإاب و تازاجنلإاب لفاح خيراتب مامته لا ريبك ىلع قاطن عساو ل ، ام و نيدايملا ىتش يف تامادختسإ نم هب عتمتت نم زربأ تاقيبطت اه لأا باطق لا هك ةيئابر لا ةفافش ، لا خ ايلا لا ةيسمش و لأا ةزهج لإا ةينورتكل لا ةلومحم [ 3 ] ارظنو .اهريغ نع ةفافشلا ةلقانلا ديساكلأا اهب مستت يتلا ةعيبطلل كلذو ، لاجملا اذه يف يملعلا طاشنلا ديازت دقف ديساكلأا هذهل ةغلابلا ةيمهلأل . لاجم يف ةمئاقلا ثاحبلأاو تاساردلا نم لئاهلا مكلا مادختسإ ةفافشلا ةلقانلا ديساكلأا (TCO) ةيشغأك صئاصخ مئلات ريضحت تاينقت روهظ ىلإ ةساملا ةجاحلا دجوأ اهتافصاومو داوملا عاونأ فلاتخإ ىلع ةقيقر اهتاقيبطت تلااجمو ةيشغلأا كلت ، ديدعلا تثدحتسأف ةريبك تاروطت ىرخلأا يه ريضحتلا تاينقت تدهش اذل كت مل يتلا قئارطلا نم . يرارحلا للاحنلإاب شرلاو يتوص قوفلا شرلا ةقيرطك ةدوهعم ن دعت ةسارد داوملا ةبسرملا لكشب ةيشغأ ةقيقر ىدحإ لئاسولا ةبسانملا ةفرعمل ديدعلا نم اهصئاصخ ةيئايزيفلا ةيئايميكلاو يتلا بعصي لوصحلا لع اهي دنع اهلكش ،يعيبطلا مدختسيو حلطصم ةيشغلأا ةقيقرلا فصول ةقبط دحاو ة وأ تاقبط ةديدع ةداملا تارذ نم [ 5,6 ] و ، تانيسحتلاو تاثادحتسلإا نم ديدعلا كانه لازت لا ةفافشلا ةلقانلا ديساكلأا اهرصاعت يتلا ةقيقر ةيشغأك رخآ دعب اموي ، و نم نيب رثكأو ديساكلأا هذه زربأ اه ريدصقلا ديسكأ وه اعويش ) 2 (SnO مويدنلأا ديسكأ ، ) 3 O 2 (In كنزلا ديسكأو ZnO) ( . نإ ةفاضإ مهست بئاوشك ةيندعملا تانويلأا ضعب و ريبك لكشب ةنحشلا تلاماح زيكرت رييغت يف مهم تاساردلا نم ةعومجم تماق ثيح ، ةيئابرهكلا ةيلقانلا ىوتسم ىلع ىرخأو ةيرولبلا ةينبلا يف تاريغت ثادحإو ميعطت ىلع ( 2 SnO ( كلذو بيسرتلا ةلهسو ةحاتملا داوملا نم هنوك دعب اهنيب نم داوم ة [ 4 ] :  ساحنلا Cu .  ديدحلا Fe .  مويزنغملا Mn .  ناومتنلأا Sb .  مويزيسلا Cs .  رولفلا F . ثاحبلأا نم ةعومجم تنيبو يتلا ريدصقلا ديسكأ نم ةقيقر ةيشغأ ىلع تيرجأ ) 2 (SnO بسن ةفاضإ نأ ناومتنلأا نم ةتوافتم (Sb) (رولفلا كلذكو (F يسحت ىلع لمعت ةداملا رولبت ن نيسحتو اهتيفافش نم عفرلاو ةيئابرهكلا اهتيلقان [ 4 ] .

ةماع ةمدقم

15 ةيشغأ بيسرت لوح راكفلأا نم ةعومجم ميدقت ىلإ فدهت ةمهم ةبرجت ميدقت متيس لمعلا اذه للاخ نم ريدصقلا ديسكأ نم ةقيقر ٍ( 2 SnO ) ديدحلا مادختسإو (Fe) اهل ةمعطم ةدامك ةفلتخم بسنب % 10) -(1 ب ةطساو حنلإاب شرلا ةينقت ، يرارحلا للا ديدحلا هثدحي يذلا ريثأتلا ةفرعم يلاتلابو (Fe) ةينبلاو ةيفافشلا، كمسلا ىلع ، ةيرولبلا نأ نكمي : يتلآاك لوصف ثلاث يف ةبترم لحارم يف لمعلا ةركف صخلتت : لولأا لصفلا ةفافشلا ةلقانلا ديساكلأا لوح ميهافملاو تامولعملا مهلأ ةيرظن ةسارد لوانت (TCO) بأو زيمتت ام زر ، هب ريدصقلا ديسكأ ىلع ءوضلا طيلست كلذ يلي ٍ( 2 SnO ) ةيئايزيفلا اهنم ةددعتملا هصاوخو ، مث ، ةيوينبلاو ةيئوضلا ةرظن ءاقلإ ديدحلا ىلع Fe) . صاوخو تازيم نم هنع فرعي امو ) يناثلا لصفلا : اهنم ةمهملا ةيئايميكلا و ةيئايزيفلا بيسرتلا قرطل ةيفيرعت ةساردب متهإ امك، ومجم ميدقت ىلإ دمع نم ةع لأا صاوخلا ةنياعم قرط لوح راكف لأاك ةعش لا و ةينيس لا ةيجسفنب قوف -لا ةيئرم (UV-VIS) ةعبرلأا طاقنلاو . لوه لعف كلذكو : ثلاثلا لصفلا مضيو ، هزاجنإ مت ام مهأو يبيرجتلا لمعلل ةلصحم ةباثمب نوكيل يتأي كلذك قلا ةشقانملاو جئاتنلا هلوح ةمئا ا ريدصقلا ديسكلأ ةقيقرلا ةيشغلأا ميعطت همدقي ام لوح ةمهملا تاجاتنتسلإا نم ةعومجم ىلع لصحتلا يلاتلابو ( 2 SnO ) ديدحلاب Fe) .)

ةماع ةمدقم

16

ةماعلا ةمدقملا عجارم

[

1

] K. Badeker, Ann Phys. (Leipzig)22 (1907) p. 749.

[ 2

] T.G. Bauer, Ann. Phys. (Paris),30 (1937) p. 433.

[ 0

] Dr. David S. Ginley, ''Handbook of Transparent Conductors'' ,Springer Science,

(2010).

[ 1

] Syed Mansoor Ali, Syed Tajammul Hussain, Shahzad Abu Bakar, Jan

Muhammad ,Naeem ur Rehman ,"Effect of doping on the Structural and Optical Properties of SnO2Thin Films fabricated by Aerosol Assisted Chemical Vapor

Deposition", University Islamabad, Pakistan ,(2013).

[5] O. S. Heavens, "The Film physics", Methuen Young Co. Ltd., (1970).

[6] R. Ueda and J. B. Millin, "Crystal Growth and Characterization", Mc Graw-Hill, (1975).

لولأا لوفلا

ةفافشلا ةلقانلا ديساكلأا

لا ةلقانلا ديساكلأا ةفافش لولأا لصفلا 11 ديساكلأا صئاصخ عونتو ددعت نإ ةفافشلا ةلقانلا ساسأو مامتهلإل ةريثم داوم اهنم تلعج ا ل ثحبل . ءاوس دح ىلع ةيجولونكتلا تاقيبطتلاو عيسوت يف تعرس دقف نم تلااجم ةدع اه كلا صئاصخلا لاجم ه ةيئابر . ةيوينبلا كلذكو ةيئوضلا صئاصخلاو ريدصقلا ديسكأ دعيو ) 2 SnO ( يتلا داوملا ىلإ هفينصت دوعيو لاامعتسإ اهرثكأو ديساكلأا هذه زربأ نم .ةيئوضورهكلا تاقيبطتلا يف امهم انوكم لكشي هلعجي اموهو ةيئوض ةيفافشو ةيلاع ةيئابرهك ةيلقانب عتمتت و سي اساسأ مدخت ك فافش لقان يف لا زفحم تا زاغلا راعشتسإ ةزهجأو لصافو ةظفخنم ةيئابرهك ةمواقم كلميو ، ( ريبك يقاط Eg =3,6 eV . ةيسمشلا ايلاخلا يف دورتكلإك مدختسي نأ اضيأ نكميو ) نوكي دصقلا ديسكأ ري عم كلميو يئرملا لاجملا يف فافش ا و ءارمحلا تحت ةعشلأا يف عفترم راسكنإ لم ا ذفاونلل ةيامحك لمعتسي يتل ةرارحلا ةجرد ىلع ظافحلاو ءوضلارورمب حمست د ينابملا جراخو لخا ] 1 [ . ( ةفافشلا ةلقانلا ديساكلأا ةسارد ددصب نحن لصفلا اذه يفو TCO رايتخإ ريياعمو ) اه و ىلع فرعتلا ريدصقلا ديسكلأ ةفلتخملا صئاصخلا ) 2 SnO ( .

1. I

ةفافشلا ةلقانلا ديساكلأا

(TCO)

ديساكلأا ةلئاع لثمت يهو ةلقانلا ةفافشلا يتلا مت ت ورتكللإا يف ضئافلا اذه ، تانورتكللإا نم اضئاف كل تان ةبسانملا داوملاب ميعطتلا وأ ديسكلأل يرتمويكتس للخ ، ةيوينب بويع ةجيتن نوكي ] 2 [ . نإ ( TCO ) كلتمت لصاف م وهو ، ةطحنملا لقاونلا هابشأ نم اهلعجي ام يلاع يقاط لقنلا ةباصع نم بيرق نوكي يمرف يوتسم نأ ينعي ا (BC) ل ميعطتلا ةبسن تناك ام لاح يف اهلخاد ىتح وأ لأ ةفافشلا ةلقانلا ديساك ( TCO ىلإ ريشي اذهو .ةيلاع ) جي امم ، ةفرغلا ةرارح ةجرد يف تانورتكللإاب ةئيلم نوكت لقنلا ةباصع نأ ع ( لا ل TCO ىلإ ةفاضإ ةلقان ) صاف كلمت اهنأ نيب حوارتي يلاع يقاط ل (3 - 4 eV) نم لقأ ةقاط كلمت تانوتوف صاصتمإ نم اهعنمي امم ، يقاطلا لصافلا و ي يئرملا ءوضلل ةفافش اهلعج ] 1 [ . مهاسي يلاتلابو ةرحلا تانورتكللإا دادعأ يف ديزي امم بئاوشو تارغث قلخ يف ةفلتخملا داوملاب ميعطتلا لا هذه حبصتل ةيلقانلا عفترت ةرابع داوم نع ةفيعض تازلف ] 3 [ . اهل زمري نأ نكميو ، ضيرع يقاط لصاف كلتمت و ةلقان فصن نوكت امومع ةيندعملا ديساكلأا نإ ب زمرلا (MO) لثمت ثيح M و ةيندعملا ةرذلا O نيجسكلأا ةرذ ] 3 [ . ( لمعتست TCO اطن ىلع ) اهتاقيبطت نيب نمو تلااجم ةدع يفو عساو ق ] 2 [ :  .ةحطسملا تاشاشلا  .)... نارفلأا، ينابملا( ةرارحلل ةسكاعلا ذفاونلا  . ةيئايميكورهكلا ذفاونلاو ايارملا  .سمللاب مكحتلا تاشاش  . ةيسمشلا ايلاخلا

لا ةلقانلا ديساكلأا ةفافش لولأا لصفلا 11 لكشلا (1.I) : تاقيبطت ] 4 [ (TCO) .

2. I

صئاصخ

لقانلا ديساكلأا

ةفافشلا ة

TCO)

)

لقاونلا هابشأ لاجم يف ةعساو تاقيبطت اهل لعجي ام صئاصخلا نم ديدعلا ةفافشلا ةلقانلا ديساكلأل نإ . ديساكلأاو و ةفافشلا ةلقانلا داوملا يف يئابرهكلا لقنلا صئاصخو ةيرهجملا ةينبلا نيب ةقلاعلا ةسارد ىلإ عفدي لاو ةيفروملآا ىلع دمتعت يتلا كلت ةصاخو ةيرولب اهنم 3 O 2 In و 2 SnO ZnO تو ، ربتع رثكلأا ايلاح داوملا هذه ةقيقرلا ديساكلأا ةيشغأ يف اعساو لااجم لكشت يتلاو ةفافشلا ةيئابرهكلا باطقلأا تاقيبطت يف ةيمهأ ةينورتكللإا تاروتسزنارتلل ] 5 [ . لودجلا (1.I) : صئاصخ ] 6 [ (TCO) .

لا ةلقانلا ديساكلأا ةفافش لولأا لصفلا 20

1.2.I

صئاصخلا

لا

ةيئابرهك

زيف مدقت زيمتت يتلا ةيئابرهكلا صئاصخلل اقيقد افصو ضيرعلا يقاط لصاف تاذ لقاونلا فاصنأ ءاي لثم ةفافشلا ةلقانلا ديساكلأا اهب ] 6 [ :  يقاطلا لصافلا ضرع Eg .  ةيلقانلا ) σ 1 -cm 1 -Ω ةنحشلا تلاماح ةفاثكل ةجيتنربتعتو ) ) v n ( يف ) 3 cm . )  تانحشلا ةيكرح μ ( 1 -s 1 -V 2 cm ) .  برهكلا ةنحشلا نورتكللإل ةيرصنعلا ةيئا (q) .

1.1.2.I

يقاطلا لصافلا ضرع

نيب هتميق حوارتت يقاط لصافب ةفافشلا ةلقانلا ديساكلأا زيمتت eV 3.01 و 4.6 eV [21] . أو امك ضرع ن ةفافشلا ةلقانلا ديساكلأا فلتخمل ةيوقاطلا لصاوفلا (TCO) اهبيسرت يف مدختست يتلا تاينقتلل اقفو ريغتت ك ام بي لودجلا اهني (1.II) . لودجلا (2.I) : ةفافشلا ةلقانلا ديساكلأا ضعبل ةيوقاطلا لصاوفلا ضرع (TCO) [21] .

2.1.2.I

ةيمواقملا

عت ( ةيمواقملا فر ρ ةيلقانلا بولقمب ) ( σ ) ةدحوب اهنع ربعيو cm) Ω ) لكشلا نم اهترابع ىطعتو ] 6 [ : σ = qn_vμ = 1/ρ (1.I) : ثيح 𝑞 : .نورتكللإل ةيرصنعلا ةنحشلا 𝑛_𝑣 . ةنحشلا تلاماح ةفاثك : 𝜇 .تانحشلا ةيكرح :

لا ةلقانلا ديساكلأا ةفافش لولأا لصفلا 21

3.1.2.I

ةيحطسلا ةمواقملا

ربتعت ( ةيحطسلا ةمواقملا sh ( R ةفافشلا ةلقانلا ديساكلأا يف حطسلا ةعيبط مهفل ةمهم ةيئابرهك ةزيم (TCO) اهنع ربعيو ، ةدحوب ) Ω ةيمواقملا نيب ةبسنلاب فرعتو ) (ρ) ءاشغلا كمس و (e) اهترابع ىطعتو يلاتلا لكشلا نم [6] : R_S = ρ/e (2.I) R_S = 4.532 (V I) (3.I) : ىطعي 4.532 : لماعم . حيحصت V .دهجلا قرف : I . رايتلا ةدش :

4.1.2.I

ةينحشلا ةيكرحلا

نع ةنحشلا تلاماح ةيكرح ربعت ةريغتم ةيمك لا ةميق و ةيئابرهكلا ةيلقانلا ىلعريثأت اهل ا نإ ، يف ةدايزل ةفافشلا ةلقانلا ديساكلأل ةيئابرهكلا صئاصخلا نيسحت يف ريبك لكشب مهاست ةيمكلا هذه ميق (TCO) . قلعتت داوملا لخاد ةنحشلا تلاماح راشتنإب امومع ةيكرحلا نم ديزت ةنحشلا تلاماح زيكارت ةدايز نإ عقاولا يف . راشتنلإا بسن ةيكرحلا ةظفخنم ةنحشلا تلاماحل ةيمهأ اهل نوكت يتلاو [6] . يعدتسي داوملا ةيلقان ىدم ىلع فرعتلا نإ ةفرعم جرحلا زيكرتلا ىعدت تلاماح ةفاثك ) c (n ميق دنعف . نم لقأ ) c (n نمربكأ ميق دنعو لزاوعك ربتعت داوملا نإف ) c (n لقاونك داوملا ربتعت . رادقملا فرعي ) c (n رايعمب Mott يتلآاك هترابع ىطعتو ] 10,11 [ : (4.I) n_C1/3. a₀∗ ≈ 0.25 𝑎₀∗ ملل لاعفلا روب رطق فصن : .ةدا ع لأل ةديج ةيلقان حنم يف ةيساسأ ةيكرحلا ربتعت اموم ةفافشلا ةلقانلا ديساك ( (TCO ، لكشلا نم بتكتو ] 9 [ : μ = qτ m∗ = ql m∗_V f (5.I) τ : . نيمداصت نيب ءاخرتسلإا نمز l : . رحلا راسملا طسوتم V_f : للإا ةعرس . نورتك

لا ةلقانلا ديساكلأا ةفافش لولأا لصفلا 22 لكشلا .I) 2 ( : ةفافشلا ةلقانلا ديساكلأل ةيقاطلا تايوتسملا ] 8 [ (TCO) .

2.2.I

ةيئوضلا صئاصخلا

اهنوك يف لثمتت ةزيمم ةمسب ةفافشلا ةلقانلا ديساكلأا زيمتت ةذفان لكشت ت ا لاجملا لك يطغ . يئرمل ءوضلا ةدش نيب ةبسنلاب ةيئوضلا تلااقتنلإا فرعتو ةداملا ربعت يتلا ءوضلا ةدشو دراولا تو يف نوك طسوتملا ) 700 nm -400 λ = ( . نأ و امك صاصتملإا فيط حمسي ب ةيذافنلا فيط نم لك صلاختسإ ساكعنلإاو ] 9 [ . لكشلا (3.I) : ةفافشلا ةلقانلا داوملا فيط قلعت نم لكب λ_𝑔𝑎𝑝 و λ_𝑝 يتلا( يقاطلا لصافلا صاصتمإ لثمت صاصتمإو ةرحلا تانورتكللإا امزلاب ) ] 9 [ .

ةفافشلا ةلقانلا ديساكلأا لولأا لصفلا 20 نإ ةفافشلا ةلقانلا ديساكلأل (TCO) ةيئوض صئاصخ ثلاث ىلإ عضخت ثيح داوملا ةيقبك اهزيمت ةيذافنلا يف ةلثمتملاو ةيساسأ رهاوظ ( ةيذافنلا لماعم وأ (T ساكعنلإا ، ) ساكعنلإا لماعم وأ R ) ، صاصتملإا ( صاصتملإا لماعم وأ (A .

1.2.2.I

لماعم

ةيذافنلا

(T)

ذفانلا ءوضلا ةدش نيب ةبسنلاب فرعي ( ∅_𝑻 حطسلا ىلع ةدراولا ءوضلا ةدشو ةداملا ربع ) (∅_𝟎) [20] . T = ∅T ∅0 (6.I) و T_% = 100. T

2.2.2.I

ساكعنلإا لماعم

(

R

)

عني يذلا ءوضلا ةدش نع ربعي حطسلا ىوتسم ىلع سك (∅_𝑹) دراولاءوضلا ةدشل ةبسنلاب (∅_𝟎) [20] . R =∅R ∅₀ (7.I) و R_% = 100. R

3.2.2.I

صاصتملإا لماعم

(

A

)

صتمملا ءوضلا ةدش نيب ةبسنلاب اضيأ هنع ربعي (∅_𝑨) دراولا ءوضلا ةدشو (∅_𝟎) 0] [2 . A = ∅A ∅0 (8.I) و 𝐴_% = 100. 𝐴 :يلاتلا لكشلاب قفدتلا ظافحنإ نوناق ىطعي ∅₀ = ∅_𝑇 + ∅_𝑅+ ∅_𝐴 (9.I) : يتلآاك هتباتك نكمي امك 1 = 𝑇 + 𝑅 + 𝐴 (10.I)

ةفافشلا ةلقانلا ديساكلأا لولأا لصفلا 21

4.2.2.I

ةيصاصتملإا لماعم

نوناق نإ (Beer-Lambert) ءاشغلا كمسو ذفانلا قفدتلا نيب طبرلاب حمسي (d) لماعم لكش يف ةلداعملا هحضوت يذلا و ةيصاصتملإا [20] : T = (1 − R)e−αd (11.I) T ةيشغأ ةيذافن : (TCO) . R ةيشغأ ساكعنإ : (TCO) . α ةيشغلأا صاصتمإ لماعم : . طبتري صاصتملإا لماعم (𝜶) ك عربعي يذلا دامخلإا لماعمب كلذ ن نكميو ةداملا لبق نم ةصتمملا ةعشلأا ةرابعلاب هتغايص [20] : k = αλ 4π (12.I) نإ اسايقلا دتسلإا ىلإ ءوجللاب حمست كمسلا كلذكو ساكعنلإاو ةيذافنلل ةفلتخملا ت لا ل لكب نم ةبتر ساكعنلإا (n) دامخلإا لماعم ، (𝑘) يقاطلا لصافلاو (Ε_𝑔) . لثمي لكشلا (4.I) أرطت يتلا تاروطتلا لوطلا ةللادب صاصتملإاو ساكعنلإا، ةيذافنلا نم لك ىلع ديسكأ نم قيقر ءاشغل يجوملا ريدصقلا ) 2 (SnO رولفلاب معطم ( F ) هتميق غلبت كمسب ) 1.14μm ( . لكشلا .I) 4 ( : ةفافشلا ةلقانلا ديساكلأا ةيشغلأ يجوملا لوطلا ةللادب صاصتملإاو ساكعنلإاو ةيذافنلا تلاماعم (TCO) ] 3 ,2 2 2 , 21 [ .

ةفافشلا ةلقانلا ديساكلأا لولأا لصفلا 25 تناك اذإ 𝝀 < 𝝀_𝒈 : ا لاوطلأل يجسفنب قوفلا لاجملا يف ةقطنملا هذه لثمتت ، ةيجومل نإ توفلا ةقاط تانو نوكت يتلا يواست وأ ربكأ و صتمت يقاطلا لصافلا امأ ؤفاكتلا ةباصع يف تانورتكللإا اهنإف نت ةباصع ىلإ لقت . لقنلا ىلإ ةباصع نم تلااقتنلإا ربتعت ةلاحلا هذه يف ةنميهملا يه ىرخأ . نأ امب ةفافشلا ةلقانلا ديساكلأا (TCO) طم ريغلا ( ةيساسلأا نم هتميق ريغتت يقاط لصاف كلتمت )ةمع 3eV ىلإ 4eV . نيب ةيجوملا لاوطلأا تاذ تانوتوفلا يقاطلا لصافلا اذه قفاوي (300 nm) و 400 nm) ) يجسفنب قوفلا لاجم( UV . ) نم تانورتكللإا لاقتنإ ثح ىلع مهتقاط لمعت ، تانوتوفلا صاصتمإ متي امدنع ا ةباصع لا ةباصع ىلإ ؤفاكتل ذه يف . لقن لاجملا ا يئوضلا يقاطلا لصافلا داجيإ نكمي ةيجوملا لاوطلأا نم ةيلاتلا ةقلاعلا لامعتسإب [ 20 ] : α ≈ (hν − Ε_g)1/2 (13.I) :ثيح α .صاصتملإا لماعم : h .كنلاب تباث : ν . ةيئوضلا تاجوملا ددرت : Ε_𝑔 لا ضرع : . يقاطلا لصاف تناك اذإ 𝝀_𝒈 < 𝝀 < 𝝀_𝒑 : لاوطلأا ىلع لمتشي يذلا لاجملا لوط ىلع افافش لقانلا ديسكلأا نوكي ساكعنلإل داضم لقانلا ءاشغلا ارود فافشلا لقانلا ديسكلأا بعلي . ةبيرقلا ءارمحلا تحتو ةيئرملا ةيجوملا [ 20 ] . تناك اذإ 𝝀 ≥ 𝝀_𝒑 : ءارمحلا تحت لاجم يف قوف ( ةبيرقلا 1200 nm ةفافشلا ةلقانلا ديساكلأاف ، ) (TCO) ريبك لكشب ءوضلا لقنت لا . و ذه يف لاجملا ا كلتمت ةفافشلا ةلقانلا ديساكلأا (TCO) اريبك اصاصتمإ . امك تانورتكللإل ةيكيسلاكلا ةيرظنلا حضوي يذلا دورد جذومن ىلع ةيذافنلا ناصقن ريسفت يف دامتعلإا نكمي . ةرحلا ددرتلاب امزلابلا بذبذتل ةهباشم ةرحلا تانورتكللإا نوكت ، جذومنلا اذه يف 𝜐_𝑝 لوطلاب كلذك قلعتتو ، يجوملا 𝜆_𝑝 ةيلاتلا ةلداعملاب اهنع ريبعتلا نكميو [ 20 ] : 𝜆_𝑝 = ( 𝜀 𝜀−1) 1/2 𝜆₀ (14.I) 𝜀 كلا ةيحامسلا : . يئرملا لاجملا يف سايقلل ةبسنلاب ةيئابره λ₀ .ةميق لقأ ىلإ ساكعنلإا هدنع لصي يذلا يجوملا لوطلا :

ةفافشلا ةلقانلا ديساكلأا لولأا لصفلا 26 ةيجوملا لاوطلأل صاصتملإا يف ةدايزلا نإ 𝜆_𝑝 يف فافشلا لقانلا ديسكلأا ءاشغ جاتنإب حمسي امزلابلا ددرت . ةرح تانورتكلإ 𝜐_𝑝 تكللإا زيكرت ريثأت نع برعي ةرحلا تانور 𝑛_𝑒 ةيحامسلا ، 𝜀₁ و 𝜀₀ . تانورتكللإل ةلاعفلا ةلتكلا كلذكو ، غارفلاو طسولا ةيحامس لثمت يتلا 𝜐_𝑝 = ( 𝑛𝑒2 𝜀0 𝜀1𝑚∗) (15.I) يجوملا لوطلا نيب ةقلاعلاو 𝜆_𝑝 امزلابلا ددرتو 𝜐_𝑝 : يه 𝜆_𝑝 =2𝜋𝑐 𝜐𝑝 (16.I) 𝑐 .ءوضلا ةعرس : ةيئابرهكلا ةيحامسلا ( 𝜀 راسكنلإا ةبترب قلعتت يتلا ) (n) دامخلإا لماعمو (k) ةلداعملا نم حضتي امك : ةيلاتلا 𝜀 = (𝑛 − 𝑗𝑘)2 (17.I) ريداقملا (n) و (k) . يئوضلا فيطلا لاجم بسح فلتخت تناك اذإ وأ 𝝊 < 𝝊_𝒑 𝝀 ≫ 𝝀_𝒑 : ةيئابرهكلا ةيحامسلل يليختلا ءزجلا ( 𝜺 ءزجلاو عفترم حبصي ) راسكنلإا ةبسن عافترإ نع ةركف يطعي اذهو .بلاس نوكي يقيقحلا . تناك اذإ وأ 𝝊 ≫ 𝝊_𝒑 𝝀 < 𝝀_𝒑 : و رفصلا ىلإ لوؤي يليختلا ءزجلا نإف كلذك ديساكلأا صاصتمإ ةفافشلا ةلقانلا (TCO) يتلآا لكشلا نم راسكنلإا ةنيرق ةباتك نكميو . ضفخنم نوكي [ 20 ] : (18.I) 𝑛 = √𝜀_∞(1 − (√𝜔𝑝 𝜔) 2 ) 𝜺_∞ لا تاددرتلا دنع ةيحامسلا : . ةعفترم

3.I

ةفافشلا ةلقانلا ديساكلأا رايتخإ ريياعم

(TCO)

إ ، ةديجلا ةيئوضلاو ةيئابرهكلا صئاصخلا ىلإ ةفاض نإف لل ريثأتريياعم ىلع و داوملا رايتخإ قرط داوملا ةيمس ىدم وأ جاتنلإا ةفلكت ، تانيعلا ىلع رفحلا . ةفلتخملا بيسرتلا ، لاص ، امزلابلا ددرت ةب لا كسامتو . ةمهم لماوع لثمت اهعيمجو ةيشغلأل ةيئايميكلاو ةيرارحلا ةمواقملا ، تاقبط ةعساو ةيمهأ وذ بيسرتلا قرطل ةفلتخملا لماوعلا يف مكحتلا دعي ديساكلأا ةيشغأ روطتو ومن يف ةفافشلا ةلقانلا (TCO) . ةيلاع ةدوجب

ةفافشلا ةلقانلا ديساكلأا لولأا لصفلا 22 دمب طبترت ةفافشلا ةلقانلا ديساكلأا ةيشغلأ ةيئايزيفلا صئاصخلا م ةينبلا كسامتو طبارت ى ثيح ن .ةفلتخملا بيسرتلا قرطو فورظ لبق نم رثأتت لماوعلا هذه لكو بيكرتلاو لكشتلا ردجي ب ةفافشلا ةلقانلا ديساكلأا (TCO) يف ةظفخنم ةيصاصتمإو ةعفترم ةيئابرهك ةيلقان كلتمت نأ ام اذهو ، يئرملا لاجملا ةيعونل يمك مييقت ميدقت يعدتسي (TCO) إ متو ةلداعم يف لثمتت ةغايص حارتق ( نودروغ Gordon ) [12] : σ α = − 1 Rsln (T+R) (19.I) : ثيح [Ω−1𝑐𝑚−1]𝜎 : . ةيلقانلا [𝑐𝑚−1]𝛼 . صاصتملإا لماعم : [Ω]𝑅_𝑠 . ةيحطسلا ةمواقملا : [%]𝑇 لا ةيذافنلا : . ةيلك [%]𝑅 . يلكلا ساكعنلإا : صاصتملإا ناك اذإ هنإف اذكهو (𝛼) ةفافشلا ةلقانلا ديساكلأل (TCO) ةيلقانلا تناك وأ ، اعفترم (𝜎) ةفافشلا ةلقانلا ديساكلأا نيب ةنراقملاب حمسي اذهو ةظفخنم اميق ذخأتس ةءافكلا نإف ادج ةظفخنم (TCO) . بسانملا رايتخلإا ةيناكمإو ل لوح تاسارد ةدع تتبثأ دق قيبطت نودروغ ةلداعم ةفافشلا ةلقانلا ديساكلأا نم ديدعلا ىلع (TCO) يب ةروصحم اهميق نأ ن 0 و 2 امك . لضفأ نأ ىلإ تاساردلا ضعب تصلخ (TCO) كلتمت يتلا كلت يه ةينورتكلإ ةيكرح ةظفخنم ةلاعف ةلتكو .

4.I

ةفافشلا ةلقانلا ديساكلأا ميعطت

(TCO)

لأا يف ميعطتلا نإ ةفافشلا ةلقانلا ديساك (TCO) دمتعي عون( نم ميعطتلا ىلع امومع n ارظن كلذو ) عون( نم ةطحنم داوملا مظعم نوكل (n ةفافشلا ةلقانلا ديساكلأل ميعطت لوأ مت دقل . (TCO) نم ( عون (n يف 1112 ملاعلا فرط نم J.M.Mochel [ 18 ] ، ا ديسكأ ميعطت ىلإ دمع ثيح ريدصقل ) 2 (SnO ناومتنلأاب (Sb) ةريخلأا تاونسلا يف تماق دقلو . عون(نم ميعطتلا لوح تاسارد ةدع p ) .

ةفافشلا ةلقانلا ديساكلأا لولأا لصفلا 21

1.4.I

( نم ميعطتلا

عون

n

)

. نيجسكلأا وأ ندعملا تارذ لادبتسإ ىلع ميعطتلا نم عونلا اذه دمتعي ميعطتلا مجح ىلع كلذ دمتعيو لأا ةكبش يف هنابوذو هللاحنإ ىدمو ا ديسك .فافشلا لقانل ريدصقلا ديسكأ ميعطت نكمي هنأو امك ) 2 (SnO رولفلا : ةيلاتلا رصانعلاب (F) ناومتنلأا ، (Sb) مويبوينلا، (Nb) مولاتنتلا، (Ta) ، نداعملا ضعب كلذكو ساحنلا :يف ةلثمتملاو (Cu) ديدحلا ، (Fe) تلابوكلا، ( Co ) لكينلاو ( .(Ni معطي يذلا كنزلا ديسكأ ىتح اب امومع موينمللأ ( Al ) مويلاغلاب كلذك معطي نأ نكمي ) Ga ( مويدنلأاو (In) [20] .

2.4.I

( نم ميعطتلا

عون

p

)

عون نم ةيساسلأا اهتلاح يف ةفافشلا ةلقانلا ديساكلأا نوكت (n) عون نم ميعطت نإف يلاتلابو (p) ةفافشلا ةقانلا ديساكلأل (TCO) . ةساردلاو ثحبلا لحم يقب تاونسلا يفف تاسارد ةعومجم تماق ةريخلأا عون نم ةفافشلا ةلقانلا ديساكلأا ميعطت ىلع لمعلاب ( p .) كنزلا ديسكأ ربتعيو (ZnO) عونب معطملا ( p ) . ةسارد رثكلأاو عئاشلاوه و ةطساوب نيجسكلأا لادبتسإب هيلع لوصحلا متي توزلآا موينملأ (Al -N) توزلآا كلذكو (N) [20] . لكشلا (5.I) لا حضوي ةفافشلا ةلقانلا ديساكلأا تاباصعل ةقفاوملا ةينب (TCO) ءزجلاف. ةمعطملاو ةيقنلا . ةلوغشملا ةلاحلا لثمي يدامرلا وكت نيأ ن (E_g0) يقاطلا لصافلا لثمت و ةيساسلأا ةداملل (E_g) ةميق لثمت ميعطتلا دعب يقاطلا لصافلا [19] . E_ν0(k) = −ℏ2k2 2m_ν∗ (20.I) E_c0(k) = Eg0 + ℏ2k2 2m_c∗ (21.I) ميعطتلا نع مجان يقاطلا لصافلا يف ريغتلا نإ ، تلاماح زيكرتل ةجيتن يقاطلا لصافلا ةميق يف ةدايزلاف امك ةنحشلا : ةيلاتلا ةلداعملا للاخ نم حضتي ΔΕ_𝑔 = Ε_𝑔− Ε_𝑔0 (22.I) : ثيح Ε_𝑔0 يلصلأا يقاطلا لصافلا : .)ةمعطملا ريغ ةداملا قفاوي( ΔΕ_𝑔 لعف نع جتان ) بجوم رادقم( يقاطلا لصافلا يف ةحازلإارادقم : Moss -Burstein [19] .

ةفافشلا ةلقانلا ديساكلأا لولأا لصفلا 21 ةميق ىطعتو ΔΕ_𝑔 ةيرظنل اقفو Moss -Burstein يلاتلاك [19] : ΔΕ_g = ΔΕ = ℏ2 (2mvc∗ )(3neπ2)−2/3 (23.I) لكشلا .I) 5 ( : ةيقنلا ةلاحلا يف ةباصعلا ةينبل يطيطخت ليثمت (a) ةمعطملا ةلاحلاو (b) [ 9 ] .

I

.

5

ريدصقلا ديسكأ

)

2

SnO

)

نول وذ ديسكأ ريدصقلا رجح ربتعي .يندعم ريدصقرجح لكش ىلع يعيبطلا ريدصقلا ديسكأ دجاوتي دوسلأا ىلإ رفصلأا نمريغتم ناعمللاب فصتيو دق ، ةميدقلا روصعلا ذنم رجحلا اذه لغتسإ و فرع دقو ، و فافش ريغ وأ فافش نوكي نوكي كلذك ابلص لايقث و شتلا بعص راسكنلإاو قق ىتح راهصنلإل مواقم ، ةجرد 1620 C° [ 1 ] .

.I

5

1.

ةيرولبلا ةينبلا

ريدصقلا ديسكلأ

)

2

SnO

(

طيحملا طغضلا يف ةدحاو ةرقتسم ةلاح ريدصقلا ديسكأ كلتمي [ 14 ] وهو .ريدصقلا رجح اهدنع ىمسي ( ةيلصفم ةينب كلمي Rutile لا ةيعابر ) اياوز تاذ ةيئاضفلا ةرمزلا P4/mnm ةيلخلا يوتحتو ، ةدحاولا ىلع تارذ ةتس ) نيجسكوأ تارذ عبرأوريدصق يترذ( . ريدصق نويأ لك ) +4 Sn ( ينامثلا مسجملا زكرم يف نوكي نيجسكأ تانويأ ةتس هلكشت يذلاو مظتنملا 2 -O لكب طيحت نيح يف ، 2 -O ةثلاث ) +4 Sn ( ثلثم سوؤر ىلع عقت نيقاسلا يواستم [ 1 ] . : لثم ةينبلا هذه سفن كلتمت يتلا ةيندعملا ديساكلأا نم ىرخأ ةعومجم دجوت 2 TiO ، 2 PbO ، 2 TaO ، 2 TeO و 2 RuO ( لكشلا رهظي . .I 6 لا ) ةيلخ ةيساسلأا ريدصقلا ديسكلأ ) 2 (SnO ثيح ، ريدصقلا تارذ لكشت ) Sn ( برقلأا راوجلا نيجسكلأا لثميو يسادس [ 3 1 ] .

ةفافشلا ةلقانلا ديساكلأا لولأا لصفلا 00 لكشلا .I) 6 ( : لا ةيلخ ةيساسلأا ريدصقلا ديسكأ [ 13 ] .

2.5.I

يقاطلا لصافلا

ريدصقلا ديسكلأ

(

2

SnO

)

ريدصقلا ديسكأ ةيشغلأ نإ رشابم يقاط لصاف نيب حوارتي eV 3.6 و 1.2 فلاتخإب فلتخي و قرطلا ، بيسرتلا يف ةلمعتسملا اصعلاب اضيأ فرعي ( رشابملا ريغ وأ رشابملا يقاطلا لصافلا موهفم نإ ب ة ىوصقلا ميقلا ةيعضوب طبتري ) ةعونمملا لقنلا ةباصعل ايندلا ميقلاو ؤفاكتلا ةباصعل ، ف م ىنحنملا للاخ ن يجوملا هجتملا ةللادب تاقاطلا هذه لثمت ينايبلا (k⃗⃗) . اذإ ام لاح يف ؤفاكتلاو لقنلا ةباصع نم لك تناك يجوملا هجتملا سفن ناقفاوت (k⃗⃗) انورتكللإا لاقتنإ نإف ت فرعيو يدومع نوكي يقاطلا لصافلاب اهدنع ؤفاكتلا ةباصعل ىوصقلا ميقلا نع فلتخت ثيحب حازنت لقنلا ةباصعل ايندلا ميقلا تناك اذإ امأ . رشابملا رشابم ريغ لاقتنلإا اهدنع نوكيو [ 17 ] . ا لكشل (7.I) : ريدصقلا ديسكأ ةوجف ةينب 2 SnO ليتورلا ةرولب [ 17 ] .

ةفافشلا ةلقانلا ديساكلأا لولأا لصفلا 01 لكشلا (8.I) : لقاونلا هابشأ يف ةرشابملا ريغو ةرشابملا تلااقتنلإا حضوي يطيطخت مسر [ 1 ] .

.I

5

2.

صئاصخلا

ريدصقلا ديسكلأ ةيئايميكلا

)

2

SnO

)

ي زيمت (ريدصقلا ديسكأ 2 SnO ) كلاتمإب ريبك يقاط لصاف ، ةعفترم ةيلقان ديساكلأا يف لاحلا وه امك . ( ةيندعملا ZnO ، 3 O 2 In ، ) ف ايئايميك امأ تانورتكلا ةيلقان نع ةلوؤسملا يه نيجسكلأل ةرغاشلا عقاوملا نإ (ريدصقلا ديسكأ يف ةئشانلا لقنلا 2 SnO لامعتسإب ةيلاتلا ةلداعملل اقفو ةدلوتملا تانورتكللإا فصو نكميو . ) فينصت ) Vink -Kroger ) [ 5 ] : O₀X = V₀ ●●+ 2é +1 2O2(g) (24.I) ةلداعملا هذهل اقفو غارف ثدحت نيجسكلأا تانويأ نإف ا ةيرولبلا ةينبلا يف (1 2𝑂2) لغاشلا نيجسكلأا نم هعقومل يذلاو ( ةرغاشلا عقاوملل فعاضم نيأت دلوي 𝑉₀ ●● أشنت . ةرحلا ةنحشلا تلاماح نم نينورتكلإو ) دعلا ن ةنحشلا تلاماح نم دي يعل ةجيت ةيرولب بو ، كلذو بئاوشلا يف ةنحشلا تلاماح راشتنا نم ليلقتلا ببسب . ةيرولبلا

.I

5

3.

ريدصقلا ديسكلأ ةيئايزيفلا صئاصخلا

2

SnO

عون نم لقان فصن وهو ، ايكيناكيم بلصو ايئايميك لماخ ريدصقلا ديسكأ دعي (n) حوارتي يقاط لصاف وذ نيب 4 eV) -(3.7 [ 15 ] ، بسحو Jarsebski [ 16 ] ريدصقلا ديسكأ نإف 2 SnO لاجملا يف ةيئوض ةيفافش كلمي ، يئرملا هنوكلو ةبعكم ريغ ةينب كلمي اذهف ارارقتسإ رثكأ هنأ ينعي .

ةفافشلا ةلقانلا ديساكلأا لولأا لصفلا 02 لودجلا .I) 3 ( : ريدصقلا ديسكلأ ةيئايميكلاو ةيئايزيفلا صئاصخلا 2 SnO [ 1 ] . ريدصقلا ديسكأ صئاصخ ) 2 (SnO يندعملا مسلإا رجح ريدصقلا ةيئايميكلا ةغيصلا 2 SnO ةيرولبلا ةينبلا اياوزلا يعابر ةيئاضفلا ةرمزلا mnm 2 P4 ةيرولبلا ةكبشلا تباوث a = 4.738 A° / b = 3.187 A° ةيلوملا ةلتكلا 150.69 g/mol رهظملا يرولب بلص نوللا يدامر وأ ضيبأ راهصنلإا ةطقن 1500-1630 °C نايلغلا ةطقن 1800-1900 °C يقاطلا لصافلا Eg = 3.6 eV ةفاثكلا 3 6.90 g/cm ءاملا يف نابوذلا )زكرملا كتيربكلا ضمح يف نابوذلل لباق( نابوذلل لباق ريغ

.I

5

4.

ريدصقلا ديسكلأ ةيئوضلا صئاصخلا

2

SnO

هابشأ يف تانورتكللإا عم ةيسيطانغمورهكلا تاجوملا لعافت ىلع ةيئوضلا صئاصخلا دمتعت ا لقاونل . ف هذه داوملا عم لعافتت تاجوملا ثيح ةقاطلا تناك اذإ امامت صتمت hc/λ) (E= hν = تانورتكللإا لقن ىلع ةرداق يقاطلا لصافلا ضرعل ةيواسم ةقاطلا نوكت لقلأا ىلع هنأ ينعي اذه ، لقنلا ةباصع ىلإ ؤفاكتلا ةباصع نم يئرملا لاجملا لك يف ةفافش ريغ ةداملا نوكت اذكهو لقلأا ىلع يقاطلا لصافلا نوكي نأ يرورضلا نمو ، يئرملا لاجملا تاددرتب ةطبترملا ةقاطلا نمربكأ (λ = 400 -800 nm) فيطلا لك يف ةديج نوكت ةيفافشلا . لقلأا ىلع نوكت هتميقف يقاطلا لصافلا امأو يئرملا 3.1 eV) ) .

ةفافشلا ةلقانلا ديساكلأا لولأا لصفلا 00 ناك اذإ ريدصقلا ديسكأ ) 2 SnO ( ةيونان تاميسج لكش ىلع نإف نيب ريغتي يقاطلا لصافلا eV ) 3.5 و 4.1 ( ناك لاح يف امأ 2 SnO لكش ىلع ةيشغأ ىلإ يواسي يقاطلا لصافلا نإف ةقيقر )تاقبط( ) 3.8 eV ( نوكيو ذ ةدام تا يئرملا ءوضلا لاجم يف ةديج ةيفافش [ 1 ] .

.I

5

5.

ريدصقلا ديسكأ تاقيبطت

2

SnO

ريدصقلا ديسكأ نأ نم مغرلا ىلع ( 2 SnO تسا رثكأ دعي ) كلذكو ، ةيجولونكت هتيمهأ هلو ارارق ت دجو ( ىرخأ ديساكأ SnO و 4 O 3 Sn . عساو لكشب ةفورعم ريغ ربتعت اهنكل ) ؤفاكتلا ةباصع ىلعأ تتشت ءىشنت ةباصعلا ةينب نإ SnO عم ةنراقملاب 2 SnO نإف ىرخأ ةيحان نم . لأا ةيشغ لا تارتسزنارتل ةقيقر اهيف متي ريدصقلا ديسكأ جمد SnO كلذ عمو . لظت هابشلأ ةسام ةجاح كانه عون نم لقاونلا ( p ) ريوطت ةيغب كلذو ةيلاع ةيكرحو ريبك يقاط لصاف تاذ CMOS تاينورتكللإل ةئفاكملا ةفافشلا . ىلع نوكي نأ امإ تلااجم ةدع يف مدختسي و قيوستلا ثيح نم لقاونلا فاصنأ لوأ دعي ريدصقلا ديسكأ قر حئارش وأ قيحاسم لكش ةيلاتلا تاقيبطتلا يف همادختسإ نكميف ةقي [ 1 ] :  : زاغلا نع فشكلا و ءاوهلا ثولت ةبقارمو دصر لاجم يف اعاستإ تامادختسلإا رثكأ نم ةدحاو يهو . ةماسلا تازاغلا نع فشكلا  : يئوضلا زيفحتلا .ءاملا يف ةيوضعلا تاثولملا ةجلاعمل ةليدب ةقيرط يه  : مويثيللا تايراطب للا مادختسإ . ةيلاع نيزخت ةردقو ليوط تقول مويثي  : باطقلأا تابكرملا ةدسكلأ ةيئايميكورهكلا ةيلمعلا يف )دونأ( دعصمك ريدصقلا ديسكأ مادختسإ نكمي . لونيفلا لثم ةيوضعلا  Photovoltaïques : ةيئابرهكلا هتيلقانل ريدصقلا ديسكأ مدختسيو ، ةيئوضورهكلا ايلاخلا لاجم يف .ةيلاعلا لكشلا .I) 9 ( : نوبركلا ديسكأ يئانث زاغ سسحت زاهج حضوي يطيطخت مسر 2 CO ديسكلأ ةقيقرلا ةيشغلأا ىلع دمتعي ريدصقلا 2 SnO [ 11 ] .

ةفافشلا ةلقانلا ديساكلأا لولأا لصفلا 01

6.I

ا

ةيئايميكلاو ةيئايزيفلا صئاصخل

ديدحلل

(Fe)

رصانعلا دحأ ديدحلا دعي و ةيئايميكلا ةعيبطلا يف ةمهملا ةيلاقتنلإا طلا يف دجاوتي ام ابلاغو ، ب ىلع ةعي ؤفاكتلا يئانث ديدحلا يف ةلثمتم ةيؤفاكت ديساكأ لكش ) +2 (Fe ؤفاكتلا يثلاث ديدحلا كلذك و ) +3 (Fe ، هنأ امك دجاوتي يف ةعيبطلا ىلع لكش أ ديساك يتلآاك [ 5 2 ] :  ديسكأ ديدحلا تيتاميهرمحلأا ( 3 O 2 Fe )  ديسكأ ديدحلا دوسلأا تيتنغام ( 4 O 3 Fe ) عتمتي لا ديدح يقنلا نيلوحتب .نييلصآت وهف رولبتي يف ةينب ةبعكم ةزكرمم مسجلا CC) ،) نوكي ارقتسم يف هذه ةينبلا نم ةجرد ةرارحلا ةيداعلا ىلإ ةياغ C ° 912 و وه ديدحلا )α α .(Fe و نم C ° 1394 ىلإ ةياغ ةطقن راهصنإ و ديدحلا يتلا ردقت ب C ° 1538 و ديدحلاوه δ ) δ .(Fe كلذكرولبتي يف ةينب ةبعكم ةزكرمم هوجولا (CFC) يف لاجملا دتمملا نم ) 912°C ىلإ 1394°C ) و فرعُي ديدحلاب ) γ γ (Fe [ 24 ] . لودجلا .I) 4 ( : ةيئايميكلاو ةيئايزيفلا صئاصخلا ديدحلل Fe) ) [ 25 ] . صئاصخ ديدحلا (Fe) ةيئايميكلا ةغيصلا Fe ددعلا يرذلا 26 ةلتكلا ةيلوملا 55.847g/mol ةجرد راهصنلإا 1536 ° C ةجرد نايلغلا 3000°C كلا ةيمجحلا ةلت 3 g/cm 7.86 يرولبلا دعبلا a=0.2866 nm ( دنع ةجرد ةرارحلا ةيداعلا )

لا

ةصلاخ

ةفافشلا ةلقانلا ديساكلأا لوح ميهافملا نم ةعومجم لوانت مت لصفلا اذه للاخ (TCO) ىلإ فضأ ، اهتيمهأ و ريدصقلا ديسكأ ىلع فرعتلا كلذ ) 2 (SnO ) ةيئوضلا ، ةيوينبلا ،ةيئايزيفلا، ةيئايميكلا( هصئاصخ ثيح نم ديدحلا صئاصخ مهأ ىلع فرعتلا مث ، ةعساولا هتاقيبطتو Fe) ) .

ةفافشلا ةلقانلا ديساكلأا لولأا لصفلا 05

لولأا لصفلا عجارم

ةيبنجأ عجارم

[1] Boufaa Nassima," Elaboration et caractérisation des nano poudres d’oxyde d’étain (SnO2)", Presente pour le diplôme de Magister, Université

Mentouri Constantine ,(2012).

[2] M.K. jayaraj et al, '' Bull. Mater ''.Sci.25, 3, 227. 2002.

[3] TABET Abdelaziz, ''Optimisation des conditions d’élaboration (température de substrat et distance bec-substrat) des films minces de ZnO par spray'', Présentée à la Faculté des Sciences exactes Pour l’obtention du Diplôme de Magistère , (2013).

[4] D-K. Min and S-Y. Kim, “Transparent Conducting Oxides,” Yonsei University, (2002).

[5] Dr. David S. Ginley, ''Handbook of Transparent Conductors'' , Springer Science, (2010).

[6] Mesrouk Mehdi ,''Etude d'une électrode tri-couches à base de TCO/Métal/TCO pour une cellule solaire organique'', Mémoire de Magister en Physique , Université Mouloude Mammeri de Tizi-Ouzou , (2013).

[7] M.Madani, Thèse Magister en physique, Université ABOU-BAKR BELKAID, Tlemcen, (2006).

[8] Harm Tolner, Bernard Feldman, Douglas McLean, and Chris Cording, ''Transparent Conductive Oxides for Display Applications'', Official Monthly Publication of the Society for Information Display,(April 2008). [9] J.M. Dekkers , ''Transparent Conducting Oxides on Polymeric Substrates by Pulsed Laser Deposition'', Ph.D. thesis University of Twente, Enschede, The Netherlands, (2007).

[10] N.F. Mott, Can. J. Phys, 34, 1356 (1956). [11] N.F. Mott, Philos. Mag. 6, 284 (1961).

[12] S. Fay, «L’oxyde de zinc par dépôt chimique en phase vapeur comme contact électrique transparent et diffuseur de lumière pour les cellules solaires», Thèse de doctorat, École Polytechnique Fédérale de Lausanne, (2003).

ةفافشلا ةلقانلا ديساكلأا

لولأا لصفلا

06

[13] Wael Hamd, ''Elaboration par voie sol-gel et étude microstructurale de gels et de couches minces de SnO2'', Thèse de doctorat, université de

Limoges,(2009).

[14] S. R. Shief, High pressure phases in SnO2 to 117 Gpa, Phys. Rev. B 73,

014105 (2006).

[15] F.M .Amanullah, M. S .Al.Mobarak, A.M.Al-Dhafini and K.M.Al-Shibani, Mat.chem. and Phys, 59.247, (1999(.

[16] Z.M.jarzabski and J.P.marton, J.Electrochem.Soc, 123,199C,) 1976).

[17] Robertson, J. Journal of physics C, 12, 4767, 1979.

[18] A.Bally ,"Electronic proprieties of nano-crystalline titanium dioxide thin films",Thèse Doctorat, école polytechnique fédérale de LAUSANNE,(1999).

[19] G.Jérome, "Elaboration de couches minces d'oxyde transparents conducteur par spray CVD assisté par radiation infrarouge pour applications photovoltaiques".Thèse de Doctorat , Ecole Nationale Supérieure d'Arts et Métiers de Paris,(2009).

[20] A. RAHAL, " Elaboration des verres conducteurs par déposition de ZnO sur des verres ordinaires " , UNIVERSITE D’ELOUED, (2013).

[21] O.Boussoum,"Etude de l'effet d'une couche mince de TiO2 sur les

paramètres d'une cellule solaire au Silicium".Thèse de Magister ,Université Mouloud Mammeri de Tizi-Ouzou, (2011).

[22] L. Remmache ,"Silicium poreux passivé par des nitrures et des oxydes de silicium.Application aux revêtements anti réfléchissant" .Thèse de Doctorat, Université Mentouri de Constantine, (2011).

[23] F.Ynineb,"Contribution à l'élaboration de couches mincees d'Oxydes Transparents Conducteurs (TCO) ",Thèse de Magister ,Université Mentouri Constantine, (2010).

[24] Emilian Koller , Dictionnaire encyclopédique des sciences des matériaux Imprierie chirat . France 2008 .

ةيبرع عجارم

فولافوش ، فييلاوكين . ج ، فيشيلام . أ ، نداعملا ايجولونكت ليوطلا رونا ةمجرت م راد "، ،"ري ،وكسوم يتاييفوسلا داحتلإا رشنلاو ةعابطلل ) 1120 .) [25]

يناثلا لوفلا

ةنياعملاو بيسرتلا قرط يناثلالصفلا 01 لأا لاجم هدهشي يذلا ريبكلا روطتلا نإ صاوخلا ةساردب ةصاخلا ثوحبلا عونت ىلإ ىدأ ةقيقرلا ةيشغ ةواقنلا نم ةريبك ةجرد ىلع صئاصخو تافصاوم تاذ ةقيقر ةيشغأ ريضحت لجأ نمو ةيشغلأا هذهل ةيئايزيفلا ةقيقد ةزهجأو تاينقت ىلإ جاتحي سناجتلاف ، ةفلتخملا هصاوخ يف كلذكو هيف مكحتلا و كمسلا ديدحت يف ةقدلاو دقعمو يتلا ةزهجلأاو تاينقتلا نع ثحبلا ساسأ ىلع تاسارد ةدع تماق يلاتلابو . ةيلاع ةفلكت ىلإ ةجاحبو ة . مكحتو ةقد رثكأ قرطب ةقيقرلا ةيشغلأا ريضحت يف دعاست تاينقت ةدع ىلع ةقيقر ةيشغلأا ريضحت دمتعي : اهنم  . يسيطانغملا شرلا  ينورتكللإا عاعشلاب ريخبتلا .  حنلإاب شرلا .يرارحلا للا  لولحملا ةقيرط – ملاه sol gel coating) .) شرلا تاينقتب ةنراقم ةقيقر ةيشغأ ريضحت يف ةفلكت لقأو ةطيسب ةينقت يرارحلا للاحنلإاب شرلا ةينقت دعت . ىرخلأا

1.II

تاينقت

ريضحت

ةيشغلأا

ةقيقرلا

مهاس دقل تاقيبطتلا ةدئارلاو ةمهملا يف لاجم غلأا ةيش ةقيقرلا تعفدو ةساردلاو ثحبلا ةرئاد عيسوتب نيثحابلا ىلإ راكتبإ ةفلتخم قئارط ريضحتل هذه ،ةيشغلأا ةجيتنو روطتلل يملعلا دقف تروطت يف قئارطلا ريضحت ةيشغلأا ىلع تحبصأو ةجرد ةيلاع نم ةقدلا ، نأ امك مادختسا ةقيرط نود اهريغ دمتعي ىلع لماوع ةدع نم اهمهأ :  عون ملا ةدا ةمدختسملا  لاجم مادختسا ةيشغلأا ةرَّضحُملا  ريضحتلا ةفلك ثيح نوكت ضعب قئارطلا ةبسانم داومل ةنيعم ريغو ةبسانم داومل ىرخأ اهضعبو نوكت ةلهس لإا لامعتس اهضعبو رخلأا نوكت ارفوت لقأ وأ ةدقعم . امومع نكمي ميسقت قئارط ريضحتلا ىلإ نيعون نييساسأ :

1.1.II

ئارطلا

ق

ةيئايزيفلا

1.1.1.II

ريخبتلا

يرارحلا

يف

غارفلا

(Thermal Vacuum Evaporation)

ربتعت هذه ةقيرطلا نم ةبسانملا قئارطلا يتلا نكمي اهللاخ نم لوصحلا ىلع خ ةزيمم صئاص ءاشغلل ذإ نوكتملا رضحُت ةيشغلأا عضوب ةداملا دارملا اهريخبت يف ضوح (Boat) تحتو طغض ضفخنم ادج لقأ نم Torr) 2 -10 ( لصيو انايحأ ىلإ Torr) 9 -10 ( ذإ فلتخت هذه طوغضلا فلاتخاب داوملا ةمدختسملا ريضحتل ةيشغلأا ، مث نخست ةداملا ىلإ ةجرد لإا كلذو راهصن ريرمتب رايت يئابرهك يلاع ةدشلا ةجيتنو كلذل رخبتت ةداملا بسرتتو ىلع ةدعاقلا ةنوكم ءاشغلا ،قيقرلا دعتو هذه ا ةمئلام ةقيرطل ريخبتل مظعم نداعملا هابشأو لا لقاون ,9] 8 [ .