HAL Id: hal-00783526
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Submitted on 18 Nov 2020
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Lanthanum titanium oxynitride thin films
Laurent Le Gendre, Claire Le Paven-Thivet, Jacques Pinel, Didier Fasquelle,
Jean-Claude Carru, François Cheviré, Franck Tessier, R. Marchand
To cite this version:
Laurent Le Gendre, Claire Le Paven-Thivet, Jacques Pinel, Didier Fasquelle, Jean-Claude Carru, et al.. Lanthanum titanium oxynitride thin films. Silicates Industriels, Silicates Industriels, 2004, 69 (5-6), pp.165-171. �hal-00783526�