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Conception et réalisation d'un microsystème robotisé de dépôt de liquide biologiques par microleviers en silicium pour l'élaboration de biopuces

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Academic year: 2021

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Figure

Fig. 1.1 : Principe des biopuces (a) et R´esultats (b)
Fig. 1.15 : Synth`ese des techniques de fabrication
Fig. 2.2 : Proc´ed´e de fabrication de microleviers int´egrant un r´eservoir
Fig. 2.3 : Description des diff´erentes configurations concernant les microleviers contenant les r´eservoirs
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Références

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