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Gravure en plasma dense fluorocarboné de matériaux
organosiliciés à faible constante diélectrique (SiOCH,
SiOCH poreux). Etude d’un procédé de polarisation
pulsée.
Vanessa Raballand
To cite this version:
Vanessa Raballand. Gravure en plasma dense fluorocarboné de matériaux organosiliciés à faible con-stante diélectrique (SiOCH, SiOCH poreux). Etude d’un procédé de polarisation pulsée.. Matière Condensée [cond-mat]. Université de Nantes, 2006. Français. �tel-00115585v2�
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