0
2
4
6
8
10
12
14
!0.15
!0.12
!0.09
!0.06
!0.03
0
0.03
Energie de corrélation
Perdew et Wang (WIEN97)
Perdew et Zunger (VASP)
Carr et Maradudin (limite des hautes densités)
E
Niveau de Fermi
(a)
(b)
Spectre
optique
Absorption de
rayons X
niveaux de
niveaux de
niveaux de
conduction
valence
coeur
!20
!15
!10
!5
0
5
Energie [eV]
0
0.02
0.04
0.06
0.08
0.1
Elements de matrice [unites de p ]
l=2
l=0
Silicium cristallin
0.0867 + 0.002717x
0.0414 + 0.0006032x
ratio d/s = 2,1
niveau de Fermi
2
/(a) DBM
(b) BOM
SiO
2
M
X
R
Z
!
A
X R
Z
M A
Z
!12
!10
!8
!6
!4
!2
0
2
4
Energy [eV]
10 20
30
40
50
DOS [States/eV]
Fermi level
DBM
Fermi level
!
DBM
Fermi level
!
DBM
Fermi level
!
DBM
Fermi level
!
DBM
Fermi level
!
DBM
Fermi level
!
DBM
Fermi level
!
DBM
Fermi level
!
DBM
Fermi level
!
DBM
Fermi level
!
DBM
Fermi level
!
DBM
Fermi level
!
DBM
!
DBM
!
DBM
!
DBM
!
(a)
Fermi level
DBM
Fermi level
!
DBM
Fermi level
!
DBM
Fermi level
!
DBM
Fermi level
!
DBM
Fermi level
!
DBM
Fermi level
!
DBM
Fermi level
!
DBM
Fermi level
!
DBM
Fermi level
!
DBM
Fermi level
!
DBM
Fermi level
!
DBM
Fermi level
!
DBM
Fermi level
!
DBM
Fermi level
!
DBM
Fermi level
!
DBM
Fermi level
!
Fermi level
Fermi level
DBM
Fermi level
!
DBM
Fermi level
!
DBM
Fermi level
!
DBM
Fermi level
!
DBM
Fermi level
!
DBM
Fermi level
!
DBM
Fermi level
!
DBM
Fermi level
!
DBM
Fermi level
!
DBM
Fermi level
!
DBM
Fermi level
!
DBM
Fermi level
!
DBM
!
DBM
!
DBM
!
DBM
!
Fermi level
DBM
Fermi level
!
DBM
Fermi level
!
DBM
Fermi level
!
DBM
Fermi level
!
DBM
Fermi level
!
DBM
Fermi level
!
DBM
Fermi level
!
DBM
Fermi level
!
DBM
Fermi level
!
DBM
Fermi level
!
DBM
Fermi level
!
DBM
Fermi level
!
DBM
Fermi level
!
DBM
Fermi level
!
DBM
Fermi level
!
DBM
Fermi level
!
Fermi level
X
CB1
CB2
R
Z
M A
Z
!12
!10
!8
!6
!4
!2
0
2
4
Energy [eV]
10 20
30
40
50
DOS [States/eV]
Fermi level
(b)
BOM
!
!
X
R
Z
!2
!1
0
1
2
3
Energy [eV]
BOM (109 )
X
R
Z
BOM (144 )
X
R
Z
BOM (158 )
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
CB1
CB1
CB2
CB2
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
CB1
CB1
CB2
CB2
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
CB1
CB1
CB2
CB2
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
CB1
CB1
CB2
CB2
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
CB1
CB1
CB2
CB2
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
°
CB1
CB1
CB2
CB2
°
°
°
°
°
°
°
°
°
CB1
CB2
0
4
8
12
Energy [eV]
0
50
100
150
200
Absorption ( ) [ 10 /cm]
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
SiO
2
BOM (109 )
"
4
"
4
"
4
"
4
DBM
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
SiO
2
BOM (144 )
"
4
"
4
"
4
"
4
DBM
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
SiO
2
°
"
4
"
4
"
4
"
4
DBM
°
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
SiO
2
Si
"
4
"
4
"
4
"
4
DBM
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
SiO
2
"
4
"
4
"
4
"
4
DBM
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
SiO
2
"
4
"
4
"
4
"
4
DBM
°
BOM (158 )
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
SiO
2
BOM (109 )
"
4
"
4
"
4
"
4
DBM
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
SiO
2
BOM (144 )
"
4
"
4
"
4
"
4
DBM
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
SiO
2
°
"
4
"
4
"
4
"
4
DBM
°
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
SiO
2
Si
"
4
"
4
"
4
"
4
DBM
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
SiO
2
"
4
"
4
"
4
"
4
DBM
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
SiO
2
"
4
"
4
"
4
"
4
DBM
°
BOM (158 )
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
SiO
2
BOM (109 )
"
4
"
4
"
4
"
4
DBM
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
SiO
2
BOM (144 )
"
4
"
4
"
4
"
4
DBM
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
SiO
2
°
"
4
"
4
"
4
"
4
DBM
°
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
SiO
2
Si
"
4
"
4
"
4
"
4
DBM
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
SiO
2
"
4
"
4
"
4
"
4
DBM
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
"
4
SiO
2
"
4
"
4
"
4
"
4
DBM
°
BOM (158 )
(a) DBM
(b) BOM
SiO
2Si
(c) FRM
SiO
2
Si
Si
Si(100)-SiO interface Si(100)-SiO interface 2 2Si
0
Si
Si
Si
Si
Si
~2.35A
~2.35A
~2.35A
~2.35A
Si+1 o o o o Si O Si Si Si 2.30A 2.39A 1.65A 2.30A Si+2 o o o o O Si Si O Si 2.30A 2.56A 1.65A 1.66A Si+3 o o o o O O Si O Si 1.63A 2.39A 1.65A 1.61ASi
+4
O
O
Si
O
O
~1.61A
~1.61A
~1.61A
~1.61A
!4
!2
0
2
4
energy [eV]
0
0.1
0.2
0.3
s!
DOS
Si in the Si layer of the SLs
Si at the interface (bonded to 1 oxygen)
Si in the SiO2 layer of the SLs
!4
!2
0
2
4
energy [eV]
0
0.2
0.4
0.6
0.8
1
p!
DOS
Si in the Si layer of the SLs
Si at the interface (bonded to 1 oxygen)
Si in the SiO2 layer of the SLs
!24
!20
!16
!12
!8
!4
0
4
8
energy [eV]
0
1
2
3
4
5
6
7
DOS/ SiO2
!
atom
c!SiO2 [I(!4)2d]
Bulklike SiO2 [1.7 nm SL’s]
!2.8 eV
(a) Valence band offset
!1
0
1
2
Energy [eV]
0
0.2
0.4
0.6
0.8
1
DOS/Si
!
atom
0.8
0.84
0.88
0.92
0
0.005
0.01
Si
4+
Si
Si
Si
4+
Si
3+
Si
0
0Si
2+
Si
0
1+2+
Si
3+
Si
(b) Si atoms
n+
Si
2+Si
3+gap
gap
4+
Si
Si
Si
4+
Si
3+
Si
0
2+
Si
0
2+
Si
3+
Si
4+
Si
Si
Si
4+
Si
3+
Si
0
2+
Si
0
2+
Si
3+
Si
1+
4+
Si
Si
Si
4+
Si
3+
Si
0
Si
1+
2+
Si
0
Si
2+
Si
3+
Si
C’
O
B’
_
O
A’
O
Si
1+,2+,3+
D’
C’
B
A
Si
0
D
C’
B’
O
A’
Si
1+,2+,3+
O
D’
_
O
C’
[O]
#
$
%
$&
#
$
$
%
$
$
$
&
#
$
%
$
&
1.5
1.6
1.7
1.8
1.9
2
2.1
2.2
2.3
2.4
2.5
distribution
(a) PRM
Si ! O
suboxide Si atoms
Si ! Si
1.5
1.6
1.7
1.8
1.9
2
2.1
2.2
2.3
2.4
2.5
bondlength (A)
distribution
(b) FRM1
Si ! O
suboxide Si atoms
Si ! Si
o2.24
2.26
2.28
2.3
2.32
2.34
2.36
2.38
2.4
Si ! Si bondlength (A)
0
1.35
2.7
4.05
5.4
6.75
8.1
9.45
10.8
position along growth axis (A)
Si layers
subO Si
o
o
centre
interface region
'=0.015
'=0.034
'=0.0087
'=0.019
'=0.0048
'=0.0067
'=0.0046
'=0.0029
x=2.29
(a) Si
1+
o o o oSi0
O
Si1+
Si2+
Si0
2.39A
2.30A
1.65A
2.30A
(b) Si
2+
o o o oO
Si0
Si2+
O
Si1+
2.30A
2.26A
1.65A
1.66A
(c) Si
3+
o o o oO
O
Si3+
O
Si0
1.63A
2.29A
1.65A
1.61A
X R Z M X !2 !1 0 1 2 3