Tests sous tension électrique

Nous nous intéressons par la suite au couplage piezo-mécanique au sein de nos structures. Une façon de caractériser la fonction de transfert mécanique entre les capacités PZT d’actionnement qui se déforment verticalement et la zone active qui se déforme dans le plan) est de mesurer directement le déplacement de la poutre sous l’effet de la tension électrique. Sachant que l’amplitude de déplacements ne dépasse pas quelques dizaines de nanomètres, il faut utiliser des techniques de mesure extrêmement sensibles. Dans notre cas, nous avons choisi la vibromètrie basée sur l’interférométrie double faisceaux.

Le vibromètre dont nous disposons est le modèle MSA 400 commercialisé par Polytec. Cet outil est utilisé pour mesurer de très faibles déplacements, vitesses ou accélérations avec une grande précision. Il est constitué d’un laser double faisceau : un premier faisceau sert de référence en pointant sur une partie fixe du montage et le second pointe sur la partie mobile que l’on cherche à mesurer. Le mode de fonctionnement est le suivant. Un signal haute-fréquence est généré par un photodétecteur couplé à une cellule de Bragg (aussi appelé modulateur opto- accoustique). Pour effectuer la mesure de déplacement, le rayon laser est pointé sur la partie vibrante de l’objet et balaye celle-ci avec un pas déterminé. La vitesse et l’amplitude de l’objet vibrant génèrent respectivement des variations de fréquences et de phases du laser, dues à l’effet Doppler. Cette modulation est convertie en un signal temporel grâce à un décodeur. En sortie, on obtient un signal sous forme d’une tension (V). Le déplacement (z) peut se calculer en utilisant l’équation :

f

V

C

z

π

2⋅

=

_,

_(7.5)

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où C est une constant de calibration, V la tension à la sortie de la mesure et f la fréquence de la mesure. Cette technique permet de mesure des déplacements verticaux de l’ordre de quelques picomètres et des déplacements horizontaux de l’ordre d’une dizaine de nanomètres.

Les détails de la méthode expérimentale complète sont donnés dans [Holtz 2012]. Nous en résumons ici le principal.

Nous avons décidé de travailler en mode de mesure verticale en tenant compte sa plus grande sensibilité. Pour obtenir les cycles d’hystérésis de la fonction de transfert mécanique (appelée par abus de langage hystérésis pièzo-mécanique), on applique une rampe de tension DC croissante puis décroissante superposée à la tension AC de mesure. Pour une plus grande résolution et un meilleur rapport signal sur bruit, on travaille en mode de détection de vitesse de vibration de la poutre. Par intégration (fft rapide), on calcule le déplacement en un point au centre de la poutre. La vitesse de rampe de tension est de 0.05 V/s. Afin d’augmenter la précision de la mesure, la fréquence de la modulation AC correspond à la résonance mécanique de la poutre qui est déterminée préalablement.

Les Figures 84 et 85 montrent des exemples de cycles pièzo-mécaniques pour les structures PYR 50-200 et REC 50-200, respectivement. La courbe de déplacement ainsi que la courbe de phase présentent une hystérésis dans les deux cas. Cette hystérésis confirme le caractère piézoélectrique de l’actionnement, ce qui est un résultat important pour valider le concept de l’actionnement proposé (un actionnement parasite électrostatique est exclu). Les tensions (eq. champs électriques) de basculement de la phase correspondent aux champs coercitifs ferroélectriques mesurés précédemment dans la partie concernant la caractérisation piézoélectrique des capacités PZT (paragraphe 7.3.2).

La différence de la forme des cycles de déplacement est probablement liée à des modes de déformation distincts pour les structure PYR est REC. Vu qu’on fait la mesure au milieu de la poutre et non directement sur les électrodes d’actionnement (déplacement vertical trop faible), le résultat brut de la mesure dépend de plusieurs facteurs difficilement decorrélables:

• paramètres piézoélectriques intrinsèques d’actuation

• fonction de transfert de déformation « hors plan / dans le plan » • données géométriques et mécaniques de la poutre et de l’encrage • déformations résiduelles au repos (flambage)

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F C PYR -200

(fres H

Figure . Cycles d’hystérésis du déplacemen REC -200

(fres H esurés au milieu de la poutre.

Une autre possibilité de voir le couplage mécanique entre les actionneurs piézoélectriques est la partie active est de regarder directement le changement de la fréquence de résonance mécanique de la poutre en fonction de la tension électrique appliquée. La Figure 86 présente les résultats d’une telle mesure sur un motif PYR 50- 200. Nous observons un changement de comportement à proximité de ±1 V qui

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correspond au basculement de polarisation du PZT, ce qui est une autre façon de déterminer le champ coercitif. Au-delà de ces points, l’augmentation de la fréquence de résonance indique la croissance de la rigidité mécanique (ou raideur) de la structure. Ces observations confirment la fonctionnalité du principe d’actionnement par effet Poisson. En effet, au-delà du coercitif, les capacités PZT se dilatent (déplacement vertical) comme attendu quel que soit le signe de la tension en réponse au mode d33

du PZT et par conservation de volume contractent (déplacement dans le plan) la poutre qui subit alors une contrainte de traction.

Ce mode de fonctionnement peut s’avérer avantageux car il évite les comportements mécaniques complexes à proximité du champ coercitif. Il s’applique particulièrement bien au cas de PZT modérément « dur » (pas de procédure de poling) comme ici. En revanche, le moteur de contrainte devient indépendant du signe de la tension et fonctionne en mode traction.

Le fonctionnement idéal en mode linéaire entre tensions positives et négatives requiert quant à lui de travailler à « l’intérieur » des champs coercitifs pour ne pas dépolariser le PZT. A l’heure actuelle cette plage de fonctionnement est trop réduite (+/- 1 V). Les prévisions initiales (+/- 10 V) exigent une amélioration notable quant à la croissance du PZT dans notre technologie pour repousser le champ coercitif (et les tensions de claquage) plus nettement haut.

Figure 86 F PYR -200 en

fonction de la tension d’actuation appliquée (

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La réalisation de ces mesures préliminaires sur des structures aussi complexes et conçues pour peu se déformer (moteur de contraintes) est une prouesse. Elles nous permettent de valider le concept de moteur de contraintes de type « push-pull » imaginé au départ et d’en identifier les points faibles. A ce stade, les analyses restent purement qualitatives.

Des mesures systématiques en fonction de la géométrie des structures et de l’empilement technologique associées à de la retro-simulation sur COMSOL vont être entreprises pour pouvoir quantifier les performances mécaniques de nos dispositifs.