HAL Id: jpa-00245523
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Submitted on 1 Jan 1987
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Compensation des effets mécaniques dans un cristal de coupe SC
R. Delaite, J.-P. Valentin
To cite this version:
R. Delaite, J.-P. Valentin. Compensation des effets mécaniques dans un cristal de coupe SC.
Revue de Physique Appliquée, Société française de physique / EDP, 1987, 22 (2), pp.119-123.
�10.1051/rphysap:01987002202011900�. �jpa-00245523�
Compensation des effets mécaniques dans un cristal de coupe SC
R. Delaite et J.-P. Valentin
Laboratoire de Chronométrie,
Electronique
et Piézoélectricité, Ecole NationaleSupérieure
deMécanique
etdes
Microtechniques,
La Bouloie, route deGray,
25030 Besançon Cedex, France(Reçu
le 11juillet
1986, révisé le 10 octobre, accepté le 7 novembre1986)
Résumé. 2014 Les effets d’une
compression
et d’une flexion sont étudiés dans le cas d’un cristal de quartz de coupe SC.L’existence de zones d’insensibilité est mise en évidence. Une nouvelle structure de maintien d’un résonateur de coupe SC est
proposée.
Abstract. 2014 In the case of SC cut quartz
crystal
the effects ofcompression
and flexure stress are studied. Some stress-unsensitive areas arepointed
out, and a newholdering
structure isproposed.
Classification
Physics Abstracts
77.60 - 62.90
1. Introduction.
Pour
quelques applications spécifiques,
il estpossible
de réaliser des
suspensions fluides, magnétiques
ouélectrostatiques qui
éliminent tout contact « solide-solide » entre le
support
etl’objet suspendu.
Dans lecas d’un cristal résonnant monté en boîtier sous
vide,
de tellessuspensions
ne sont paspossibles.
Il estnécessaire de passer par l’intermédiaire d’une fixation
mécanique.
Dèslors,
des contraintesmécaniques
évolu-tives, d’origines diverses,
sontappliquées
aucristal, engendrant
une variation de lafréquence
du résona-teur.
Quatre
phénomènes indépendants
sont àl’origine
del’évolution des contraintes
appliquées
au cristal :a)
La relaxation despré-contraintes
du cristal et deson support, induites par la structure de maintien au cours du montage du résonateur.
b)
Les déformations du cristal et de sonsupport,
liées à une variation de latempérature
du résonateur(l’anisotropie
cristallinecomplique
la maîtrise de cephénomène).
c)
Les déformations du boîtier sous l’effet d’une variation de lapression
extérieureappliquée
au résona-teur.
d)
Les variations d’intensité ou d’orientation duchamp accélérométrique auquel
est soumis le résona-teur.
Ce dernier
phénomène
est àl’origine
de la sensibilitéaccélérométrique
des résonateurs à quartz, sensibilitéqui
se manifeste aussi bien lors del’application
d’uneaccélération continue
(résonateurs embarqués),
varia-ble
(vibrations
aléatoires etsinusoïdales)
ouquasi-
instantanée
(chocs),
que lors d’unsimple changement
de
position
du résonateur dans lechamp
accélérométri- queauquel
il est soumis(champ
depesanteur
terrestrepar
exemple) [1].
Deux types de solutions peuvent être
envisagés
pourdiminuer,
voireannuler,
l’influence des contraintesmécaniques
évolutives sur lafréquence
des résonateurs à cristal : lasuspension
par fils oul’utilisation,
pour une coupe cristallinedonnée,
de zones du cristal insensiblesaux contraintes
mécaniques.
Lasuspension
par fils adéjà
étélargement
utilisée : sa mise en oeuvre estdélicate,
lemontage
restefragile
et sensible auxvibrations,
enparticulier jusqu’à
1 kHz. L’utilisation depoints
de fixation insensibles aux contraintes[2, 3]
ainsique
l’autosuspension [4]
ont étéproposées,
mais récem- ment, il a été montréqu’une suspension
par secteursangulaires périphériques permettait,
dans le cas de lacoupe
AT,
de s’affranchir presque totalement des effets d’une variation des contraintesmécaniques appliquées
au cristal résonnant
[5].
Le but de cet article est l’étude des zones insensibles
aux contraintes dans le cas de la coupe à double rotation dite coupe
SC,
coupe dont les nombreuxavantages
tendent à engénéraliser l’emploi [6].
2. Sensibilité à la
compression.
2.1 COEFFICIENT DE SENSIBILITÉ. - Un
montage classique
du cristal résonnant consiste à maintenir le cristal à l’aide de deuxlames-supports
soudées àl’embase du boîtier et collées de
façon
diamétralementopposée,
sur la tranche de la lame cristalline. Toutnatufellement,
l’étude de la sensibilité des coupesArticle published online by EDP Sciences and available at http://dx.doi.org/10.1051/rphysap:01987002202011900
120
cristallines à un
couple
de forceségales
ouopposées
suivant un diamètre a été faite pour les coupes les
plus
utilisées
(Fig. 1).
J. M.Ratajski [7]
a, enparticulier,
Fig. 1.
- Cristal soumis à uncouple
de forces decompression.
[Strengths
to acristai.]
introduit un coefficient de sensibilité à un tel
couple
deforces,
défini par la relation :où 0 et cp sont les
angles
de coupecristallographique
dela lame
considérées l’angle d’application
ducouple
de forces
F, 0 f
lavariation
defréquence
induite parl’application
ducouple
deforces, f
lafréquence
derésonance,
n le rang departiel
de la vibration étudiée et D le diamètre du cristal résonnant.Lorsque l’applica-
tion du
couple
de forces F n’estplus ponctuelle
mais esteffectuée suivant un secteur
angulaire
d’ouverture 2 a,la formulation
précédente
n’estplus
suffisante(Fig. 2).
Fig.
2. - Cristal soumis à un secteurangulaire
de compres sion.[Cristal
strained byedge angular
sectorstresses.]
Il a
déjà
été montré[5],
pour la coupe AT, que la variation relative defréquence
relative à ce type de contrainte s’écrit :où la
symbolisation
avec barre est relative à l’étatfinal, ho
est lademi-épaisseur
de laplaque vibrante,
c66 le coefficientélastique
du second ordre relatif à la vibra-tion,
etles ki
des coefficients sans dimension fonctions des coefficientsélastiques
et desouplesse
du second etdu troisième ordre relatifs à la coupe AT.
Un coefficient de sensibilité à la
compression
a étéintroduit
[5]
sous la formeUne
généralisation
de cetteformule, correspondant
aux contraintes
étudiées,
peut êtreproposée
sous laforme
où
KI (9, cp)
etK2( 9, cp)
sont des coefficients sansdimension,
fonctions des coefficientsélastiques
et desouplesse
du second et du troisième ordre de la coupe considérée.L’angle
wprésente l’avantage
depermettre
le choix d’uneorigine quelconque
pourl’angle
1/’.Dans le cas d’un
couple
de forcesappliquées
ponc-tuellement,
le coefficient de sensibilitéQF
est relié aucoefficient
Kf
introduit par J. M.Ratajski,
par la relation :Le coefficient
K f s’exprime
en mins1,
alors que le coefficientQF présente l’avantage
d’être sans dimen-sion et d’introduire
explicitement
la valeur du secteurangulaire
2 a ainsi que l’azimuth 1/1’d’application
desforces.
2.2 APPLICATION A LA COUPE SC. - Contrairement à la coupe
AT,
la coupe SC à double rotationadmet,
depar ses
caractéristiques mécaniques («
StressCompen-
sated
»),
un coefficientK2( 8, CI’ )
nul. Le coefficient de sensibilité à lacompression QF prend
la formesimpli-
fiée suivante :
où
K, (0, cp ) dépend
des coefficientsélastiques
et desouplesse
du second et du troisième ordre de la coupe SC.Pour que la
fréquence
du résonateur reste stablelorsque
le cristal subit des variations decompression diamétrale,
il suffit d’obtenir les conditions d’annula- tion deQF.
Deux cas sont àenvisager :
Il existe deux solutions :
ou
Avec 03C9 = 03C0 2
et au0,
on retrouve les lieux despoints
de fixationproposés
par A. Ballato[3]
pour la coupe SC dans le casparticulier d’application
des deuxforces de
compression
diamétralementopposées (Fig. 3),
cequi
confirme un résultatdéjà
connu.Fig.
3. - Positionsoptimales
pour uncouple
de forces(coupe SC).
[Optimum positions
for twostrengths (SC-cut).l
Il existe une solution :
Lorsque
lacompression
diamétrale du cristal est uniformémentrépartie
sur toute sapériphérie (Fig. 4),
le coefficient de sensibilité
QF
reste nulquel
que soitl’angle
depositionnement.
Ce
type
de maintienappliqué
à la coupe SC permet de rendre le résonateur insensible à toute variation decompression
du cristal.Des variations de
température,
depression
ou d’accé-lération peuvent être à
l’origine
de ces actions decompression.
3. Sensibilité à la flexion.
3.1 COEFFICIENT DE SENSIBILITE. -
Lorsque
le réso-nateur à quartz est soumis à une accélération axiale et
que les conditions de l’indéformabilité relative du cristal par
rapport
à ses supports ne sontplus applica- bles,
nous proposonsd’interpréter
sa sensibilité rési- duelle par l’influence de sa déformation seule. LesREVUE DE PHYSIQUE APPLIQUÉE.-T. 22, N. 2, FÉVRIER 1987
Fig.
4. - Cristal soumis à unecompression
uniforme.[Cristal
strainedby edge stresses.]
autres
effets,
et notamment ceux dessupports,
ont été traités par ailleurs[8-10].
Le cristal étant relié à son environnement par une liaison non
élastique,
il subit alors une flexion en son centre suivant une surfacesphérique
ou une surfacecylindrique.
L’étude du coefficient de sensibilité à l’accélération adéjà
été réalisée pour la coupe AT àsimple
rotation[11].
L’état de contrainte dans le
quartz
est déterminé pour uneplaque
mince circulaire etisotrope,
avec uneflèche maximale en son centre et une déformée
symétri-
que par
rapport
à l’axe x2. Les contraintes de flexion étant nulles au niveau de la fibre moyenne, on faitl’hypothèse
d’une variation defréquence proportion-
nelle aux valeurs des contraintes
surfaciques
au centredu cristal.
Il est
possible
d’introduire un coefficient de sensibilité à l’accélération axialeQa
sans dimension et dont laformulation
générale
est[11] :
où ti
est un coefficient non nul sansdimension, dépendant
dutype
de liaison etf(Ki’ 1JI’)
une fonctiondes coefficients
élastiques
et desouplesse
du second etdu troisième ordre du
quartz,
et de laposition
desliaisons relativement au
repère cristallographique.
3.2 APPLICATION A LA COUPE SC.
3.2.1 Flexion suivant une
surface sphérique.
- Desexemples
de liaisons enappuis simples
ou encastrés ontdéjà
étéindiqués [11]
pour obtenir cette condition. Les contraintes normalessurfaciques’ Ti
etT3
au centre dela
plaque
sontégales
etindépendantes
de laposition
des liaisons. Le coefficient de sensibilité à l’accélération axiale
Qa prend
la formesimplifiée
suivante :122
avec
k1
etk3
deux constantes non nulles fonctions des coefficientsélastiques
et desouplesse
du second et dutroisième ordre de la coupe SC.
La valeur
de ti dépendant
du type deliaison,
la solution réalisant l’encastrement sur toute lapériphérie
du cristal
(Fig. 5) permettent
d’obtenir laplus
faiblevaleur de ti, donc de
Qa.
Fig.
5. - Cristal encastré soumis à une accélération axiale.[Axial
accelerationapplied
to an embededcrystal.]
3.2.2 Flexion suivant une
surface cylindrique.
- C’estle cas du cristal en
appui simple
ou encastré en deuxpoints
diamétralementopposés.
Laposition
des liai-sons, par
rapport
aurepère cristallographique,
inter-vient dans le calcul de sensibilité et les contraintes
surfaciques Tl
etT3
ne sont paségales.
En tenant compte de la
position
desliaisons,
les contraintes au centre du cristal sont données en fonction de l’accélération axialeT2
par :où p est la masse
volumique
duquartz.
Le coefficient de sensibilité à l’accélération axiale
Qa
devientavec k5
une constante non nulle fonction des coeffi- cientsélastiques
et desouplesse
du second et dutroisième ordre de la coupe SC.
En
remplaçant
les valeurs de cos 2 IF et sin 2 1JI’ enfonction de tan 1JI’ et en
posant t
= tan1JI’, Qa
s’écrit :avec les coefficients
kl, k3
etk5
tels que :où
Cij
etSij
sontrespectivement
les coefficients élasti- ques et desouplesse
du second ordre etCijk
les coefficientsélastiques
du troisième ordre de la coupe SC.Les valeurs
numériques
sont calculées pour unetempérature
de 25 °CPour que la
fréquence
reste stablelorsque
le résonateur subit une accélérationaxiale,
il faut obtenir l’annulation deQa,
soitCette
équation
du seconddegré
en t admet deux racines réellesqui
prennent les valeurs suivantesLes
positions, permettant
l’annulation de la sensibi- litéaccélérométrique
axiale pour maintien en deuxpoints opposés,
sont obtenues à 25 °Cou
Fig.
6. - Schémasimplifié
de la structure du résonateur.[simplifier
scheme of resonatorstructure.]
4. Conclusion.
Comme dans le cas de la coupe
AT,
il n’existe pas pour la coupe SC de solutionpermettant
d’annulersimultanément les effets de la
compression
et de laflexion, lorsqu’une
fixationclassique
par deuxpoints
diamétralement
opposés
est mise en oeuvre.Le meilleur
compromis
est celuiqui
permet d’annuler les effets de lacompression
en réduisant au minimumceux de la flexion sans toutefois annuler
complètement
ces derniers. Ceci peut être obtenu par une structure de maintien réalisant l’encastrement
périphérique intégral
du cristal résonnant de coupe SC. Pour obtenir ce
résultat une solution consiste à maintenir le cristal entre deux couronnes de
quartz
de coupe SC[12],
les deuxcouronnes étant
plaquées
contre le cristal à l’aide d’unjeu
depinces élastiques (Fig. 6).
Les variations de serrages sont sans effet sur lafréquence puisque répercutées
sur toute lapériphérie
du cristal résonnant.Bibliographie
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Thèse de Doctorat, N° 005, Université de Fran-
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DELAITE, R., Résonateurpiézoélectrique
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N° 85/09 058