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Investigating SEM-contour to CD-SEM matching

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Academic year: 2021

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Fig.  1: Conventional SEM-CD vs SEM-contour flow.
Fig.  2 Standard SEM-CD vs SEM-Contour matching.
Fig.  3 From SEM image to CD. a) Grayscale SEM image showing a cutline of the signal (amplitude in blue, derivative in  red)
Fig.  5 Aselta’s contour matching flow. During the calibration step, the contours are optimized for the edge detection of the  pattern
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