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Conception, fabrication et caractérisation d'un capteur de conductivité thermique à base de nanofils de silicium

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Academic year: 2021

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Figure 1.2 - Pellistor. Exemple de capteur et schéma de principe de l’élément chauffant
Figure 1.15 – A gauche, photographie MEB d’un nanosystème résonant (NEMS, dispositif développé par le LETI)
Figure 1.19 – A gauche, photographie MEB 14  du microTCD réalisé par Schlumberger, A droite, étapes de réalisation  des dispositifs
Figure 2.2 - Résistivité électrique du silicium en fonction de la densité de dopants
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