Microstructure des couches et cinétique d’oxydation

Des analyses similaires à celles menées sur les couches de Ni non oxydées ont été effectuées sur des films de NiO obtenus par oxydation (film de 100 nm d’épaisseur) à 400°C durant 2 minutes sous oxygène pur. Sur la figure de pôle {111}NiO (Figure B-2-9), le maximum d’intensité est centré, le reste de l’intensité étant dispersé sur un large domaine angulaire. Cette distribution d’intensité met clairement en évidence la texture de la couche de NiO selon la direction [111]. Il est important de signaler que la texture [111] de la couche de NiO est plus faible que celle de la couche de Ni. Par conséquent, l’orientation cristallographique des grains de NiO semble être conditionnée par la texture de la couche de Ni sous jacente puisque l’oxyde de nickel croit préférentiellement dans la direction [111] parallèle à la normale au substrat.

Figure B-2-9 : Figure de pôle {111}NiO ; l’oxyde de nickel a été obtenu par oxydation d’une couche de 100 nm de Ni à 400°C durant 2 minutes sous O₂ pur.

2.3.4.2. Observations par MET

Des observations par MET ont été menées sur des empilements obtenus sous différentes conditions d’oxydation. Les Figure B-2-10a et B-2-10b présentent les sections transverses d’un échantillon constitué d’une couche de nickel oxydée sous oxygène pur à 400°C durant 30 secondes et recouverte d’une électrode supérieure en platine. Les observations mettent en évidence un empilement de plusieurs couches avec différents contrastes (Figure B-2-10a). Les analyses de spectroscopie dispersive en énergie de rayons X (EDS) permettent d’évaluer la composition chimique pour chaque film et de mettre en évidence la présence d’une couche riche en Ni au-dessus d’une couche riche en Si. Malheureusement, le détecteur EDS utilisé n’était pas sensible aux éléments légers tels que l’oxygène. Par conséquent, la présence de NiO n’a pas pu être confirmée par ces analyses.

Figure B-2-10 : (a) Coupe transverse de l’empilement Pt/NiO/Ni/SiO₂ observée en microscopie électronique en transmission : le film de NiO a été obtenu par oxydation à 400°C durant 30 seconds sous oxygène pur. (b) Diffraction par sélection d’aire (SAED) et images en champs sombre correspondant aux réflexions (111)_NiO et (200)_Ni.

Afin de confirmer la présence de NiO, des expériences de diffraction électronique en aire sélectionnée (SAED, Selected Area Electron Diffraction) ont été menées avec le plus petit

diaphragme disponible sur le microscope. Bien que ce diaphragme soit trop large pour sélectionner une seule couche, la présence de NiO a été confirmée. En effet, quelques distances inter-réticulaires de NiO, telle que d(111)[NiO], (fiche de diffraction de poudre, PDF no. 47-1049) diffèrent suffisamment des distances caractéristiques des couches voisines de NiO pour permettre de l’identifier sans ambiguïté. Un raisonnement similaire basé sur les distances inter-réticulaires de Ni (PDF no. 04-0850) a permis de confirmer la présence d’une couche de nickel. De plus, des expériences d’imagerie en champs sombre ont été réalisées en utilisant les taches de diffraction correspondant aux distances d(111)[NiO] = 2,412 Ǻ ou d(200)[NiO] = 1,762 Ǻ (Figure B-2-10b). Ces expériences ont définitivement confirmé la formation du NiO et ont permis de localiser les couches de Ni et NiO au sein de l’empilement.

Les épaisseurs moyennes des couches de Ni et de NiO sont de l’ordre de 70 et 60 nm respectivement. Comme l’illustre la coupe transverse observée par MET (Figure B-2-10a), une large dispersion de l’épaisseur de la couche de NiO, allant de 40 à 75 nm, a été observée, indiquant ainsi une rugosité importante au niveau des électrodes. Le film de Ni est dense et constitué de grains colonnaires avec une taille moyenne de 350 nm parallèlement à la surface. Des expériences de microdiffraction ont montré une orientation préférentielle de la couche de Ni selon la direction cristallographique [111] parallèle à la normale au substrat, en accord avec les analyses de texture (cf. §2.2.3.1.). De plus, l’interface Ni/SiO₂ est plane et sans défaut alors que les interfaces Pt/NiO et NiO/Ni sont rugueuses. La couche de NiO est constituée de grains plus petits (taille moyenne de 120 nm) comparés à ceux de la couche de nickel.

2.3.4.3. Analyses de diffraction de rayons X

Une analyse détaillée de l’oxydation du nickel par recuit thermique rapide a été réalisée à partir des diagrammes de diffraction collectés sur des films de 100 nm de Ni après oxydation à 400°C sous oxygène pur pour des temps variant entre 10 secondes et 30 minutes. Sur la Figure B-2-13a, les variations concomitantes des intensités diffractées des phases de Ni et de NiO ont été observées en fonction du temps d’oxydation. Ces analyses indiquent que le film métallique de Ni est progressivement consommé lors de la croissance de NiO. De plus, les profils des raies de diffraction ont été ajustés individuellement, en utilisant le programme Winplotr [Roisnel, 2001], afin d’extraire l’évolution, en fonction du temps, de l’intensité intégrée et de la largeur à mi-hauteur (FWHM, Full Width at Half Maximum) des réflexions (111)NiO et (111)Ni. Comme l’illustre les Figure B-2-13a et b, l’évolution du rapport des intensités maximales des réflexions (111)Ni et (111)NiO, en fonction du temps, révèle qu’après une oxydation initiale rapide, une oxydation plus lente est observée.

Figure B-2-11 : (a) Evolution en fonction du temps d’oxydation des réflexions (111) de NiO (à gauche) et (111) de Ni (à droite). (b) Variation, en fonction du temps d’oxydation, du rapport des intensités diffractées I_NiO/(I_Ni + I_NiO) ajusté par une loi logarithmique (trait continu).

Par ailleurs, on constate que la largeur intégrale β (reliée à la largeur à mi-hauteur) de la réflexion de Bragg (111)_NiO décroît avec le temps d’oxydation (Figure B-2-12). La largeur intégrale peut être reliée à la taille des cristallites en utilisant la formule de Scherrer modifiée β = λ / (D × cos θ), D étant la taille apparente des cristallites (dans le cas présent, les données ont été corrigées des largeurs instrumentales et les effets de microdéformation locale n’ont pas été pris en compte) [Muller, 2003]. Par conséquent, la diminution du paramètre β est associée à l’augmentation de la taille des cristallites avec le temps d’oxydation.

Figure B-2-12 : Variation, en fonction du temps d’oxydation, de la largeur intégrale β de la réflexion (111)_NiO associée à l’évolution de la taille moyenne des cristallites de NiO.