Dans cette section, une analyse de sensibilité est menée afin de mesurer la robustesse du planning de déploiement fourni par l’approche de résolution. L’idée consiste à modifier
les poids des critères et à évaluer son impact sur le classement proposé dans la Table 5.8. Cette étude est primordiale dans le cas d’une incertitude dans la définition de l’importance des critères. En se basant sur le travail de [101], nous avons réalisé plusieurs expérimenta- tions en inversant à chaque fois le poids d’une paire de critères. Prenons l’exemple de la paire (EMV,TMS)= (C1, C2) (avec C1est le poids de EMV et C2est le poids de TMS), l’expérimen-
tation menée consiste à échanger le poids entre les deux critères, ce qui donne (EMV,TMS) = (C2, C1).
Dans cette étude, on se concentre sur l’analyse de sensibilité pour évaluer l’influence de l’importance des critères sur le choix de l’atelier pilote. Ainsi, dix expérimentations ont été menées. La Table 5.9 présente les résultats de l’analyse de sensibilité.
Table 5.9 – Résultats de l’analyse de sensibilité.
N°
d’expérience
Échange de poids entre : Critère 1, Critère 2
Atelier pilote Critère 1 Critère 2
1 EMV TMS PHOTO
2 EMV HE PHOTO
3 EMV DAMHS IMPLANT
4 EMV COP DIFF
5 TMS HE PHOTO
6 TMS DAMHS PHOTO
7 TMS COP CMP/CU
8 HE DAMHS CMP/CU
9 HE COP PHOTO
10 DAMHS COP PHOTO
On remarque d’après la Table 5.9 que l’atelier (PHOTO) possède la valeur d’importance la plus élevée dans 60% des expérimentations, puis l’atelier (CMP/CU) dans 20% des expé- rimentations. Ainsi, nous pouvons confirmer la robustesse de l’approche proposée en ce qui concerne la décision de sélectionner l’atelier (PHOTO) comme un atelier pilote pour l’inté- gration d’un AMHS. En effet, le processus d’aide à la décision est faiblement sensible au poids des critères.
5.4
Conclusion
L’intégration d’un AMHS dans une unité de fabrication de semi-conducteurs existante et fonctionelle représente projet à un risque pour les décideurs de haut niveau (ou top level management) vu son ampleur financière et opérationnelle. Ce projet possède une grande importance pour une entreprise car il pourrait impacter de façon considérable sa performance à moyen-long terme. Le planning de déploiement est un facteur clé dans un tel projet afin de minimiser le risque opérationnel et financier. Dans ce chapitre, nous proposons une aide à
la décision afin de trouver le meilleur ordre de déploiement de l’AMHS dans les ateliers de production de la wafer fab en fonction des jugements des experts de l’entreprise.
Une approche de résolution des problèmes d’aide à la décision multicritères a été propo- sée. Dans un premier temps, les critères qui peuvent influencer l’ordre de déploiement ont été définis en se basant sur le retour d’expérience du partenaire industriel. Ensuite, les déci- deurs ont fourni des évaluations linguistiques des critères et des alternatives. Il est important de souligner l’impact possible d’une information imprécise ou incomplète sur la qualité des résultats. Ainsi, une attention très particulière doit être accordée à la subjectivité des opi- nions et à l’ambiguïté due aux caractéristiques linguistiques. Les jugements sont traduits en échelle numérique pour déterminer l’importance des critères et des alternatives en utilisant la méthode AHP. Une analyse de sensibilité a été finalement réalisée afin d’évaluer l’influence du poids des critères sur le processus de prise de décision. Dans cette analyse, on s’est fo- calisé sur l’impact du poids des critères que sur le choix du premier atelier dans le planning de déploiement (atelier pilote). Cependant, le travail peut être étendue prochainement pour mesurer la robustesse de tout le planning de déploiement.
La simplicité et la facilité d’application constituent la force majeure de la méthodolo- gie proposée. Une telle méthodologie basée sur la méthode AHP incite, de façon générale, les décideurs à définir des critères de décision et leur importance à partir d’un jugement des experts. Rappelons que l’objectif principal dans le chapitre est de fournir un ordre de déploie- ment d’un AMHS dans les différents ateliers d’une unité de fabrication de semi-conducteurs. L’application de la méthode AHP pour résoudre un tel problème constitue l’originalité de ce travail. En plus, l’utilisation d’une approche itérative dans l’utilisation de l’AHP classique est une autre contribution de cette étude. Il est important aussi de souligner l’aspect générique de l’approche de résolution. En effet, indépendamment du secteur industriel, la méthodolo- gie proposée peut être utilisée comme un outil d’aide à la décision pour planifier l’intégration d’un AMHS dans une unité de fabrication.
Cependant, l’approche proposée dans ce chapitre présente quelques limites. D’une part, certain critères définis sont spécifiques à l’industrie de semi-conducteurs (par exemple (IA)). Mais, son adaptation ne devrait pas être trop compliquée dans le cas d’autres secteurs in- dustriels. D’autre part, le fait de considérer une échelle numérique de valeurs exactes issues des jugements d’experts entre les différents critères et alternatives peut générer des biais et de l’incohérence. Une extension de la méthode est possible pour tenir compte de l’incerti- tude dans les jugements. On parle ainsi d’une AHP floue [109]. Une autre piste possible des futurs travaux est de combiner la méthode AHP avec d’autres méthodes telles que PROME- THEE (Preference Ranking Organization Method for Enrichment Evaluations) ou TOPSIS (Technique for Order Preference by Similarity to Ideal Solution) [43].
Méthodologie pour la conception d’un
AMHS dans un atelier existant et fonc-
tionnel : Cas de la photolithographie
Dans ce chapitre, nous proposons une démarche générique et innovante de conception (design) d’un Automated Material Handling System (AMHS) pour un atelier existant et fonc- tionnel. Cette démarche est basée sur un enchainement de cinq phases que nous détaillons dans la première partie du chapitre.
Ensuite, la démarche est appliquée sur un atelier de photolithographie. Ainsi, nous re- venons en détail sur le fonctionnement de cet l’atelier et la solution d’AMHS sélectionnée. Enfin, le modèle de simulation développé pour le cas d’application et la stratégie d’expéri- mentation seront présentées.
6.1
Méthodologie proposée
Cette section est dédiée à la description de la méthodologie de résolution d’un problème général de conception d’un AMHS adéquat et optimisé pour un atelier existant et fonctionnel. Il s’agit d’un processus d’aide à la décision composé de cinq phases telles que présentées dans la Figure 6.1. Cette démarche possède plusieurs avantages :
— Générique : elle peut être appliquée à n’importe quel atelier existant et fonctionnel, indépendamment de la nature de l’activité ou du processus de production dans l’atelier. — Simple et efficace : bien qu’elle consiste en 5 étapes seulement, l’enchainement de ces étapes permet d’avoir une vision globale d’un projet de conception d’un AMHS et de bien planifier et repartir les tâches entre les différents collaborateurs.
— Innovante : dans la littérature, à notre connaissance, aucune démarche similaire n’a été proposée dans ce contexte.
Figure 6.1 – Méthodologie pour la conception d’un AMHS pour un atelier existant et fonctionnel.
Il est important de souligner que, dans le cadre de cette méthodologie, nous considérons que le besoin d’intégration d’un AMHS a été, en partie, identifier et analyser par le partenaire industriel.
Dans ce qui suit, nous présentons les différentes phases de la démarche.