Compensation de la fréquence des résonateurs MEMS pour des applications de référence temps

HAL Id: tel-00838019

https://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00838019v2

Submitted on 8 Oct 2013

HAL is a multi-disciplinary open access archive for the deposit and dissemination of sci- entific research documents, whether they are pub- lished or not. The documents may come from teaching and research institutions in France or abroad, or from public or private research centers.

L’archive ouverte pluridisciplinaire HAL, est destinée au dépôt et à la diffusion de documents scientifiques de niveau recherche, publiés ou non, émanant des établissements d’enseignement et de recherche français ou étrangers, des laboratoires publics ou privés.

pour des applications de référence temps

Yoan Civet

To cite this version:

Yoan Civet. Compensation de la fréquence des résonateurs MEMS pour des applications de référence temps. Autre. Université de Grenoble, 2012. Français. �NNT : 2012GRENT075�. �tel-00838019v2�

1 1

1 1

234561

1234526789A45B85C4DE85E85

78926AB1761CDAEF6B5F21761 B6E8C61

FADBA755E1611E12 !1"E6E2#1

4475A9A74A8B555D2755

5 5 5

1489785D45

$19%1

1 1

85EA4AC85D455&'1!1 1

4D485D358A95E35C(12F)*555

ED95+1716,16,1

*-1.12-1'15 1"66*25#1

5

1

*/!-1'11011 '!11!!1)6)5121 '!122!1'11011 '1-2!1

5 5

5 5

852378938536BA 388975B8131451)1674618!1 E8"D975B85#34$5225E8555

)91'17AC)621

142%88345&5B'()F*5+8D9,29!514AE8975

)91*1855686A:1

-A4878345E85488485&5B'.(/51D4A!50D2478345

)912&18AB8AFE*1

142%88345&5B'(F.((51D4A!50D2478345

)918%1C612B*8E1

0829D6B85E'39A75&5B'1)(051D4A!5*86485

)91;1*B9*)8E61

.9C9A8342-278345D353(24(.5548926B8!5*86485

)91;<:=!19*B>6E2F6B1

.9C9A8342-278345&5F*A428B87429A5342BB8!5*86485

)915&'1*5B8AB1

142%88345&5B'67/5548926B8!5-A4878345E85785

1 1

21 1

1234526

134567861 9AB76336C1 36D1 E2A8F36AB8FE6A592A93DB6D1 EE1 DFB1 667D1 2AFBF78936D1 9D1 36D1 8F72BD1 B6A5F3F276D1 7FB226D1 61 981 36781 B92336C1 3678D1 68 F89A6D1 6B1 36781 2B!89B2FC1 36D1 2A8FDDB"6D1 8!DF9BD1 D61 DFB1 2DA82BD19D1391268D2 2A9B2F161391 967D61#F2161EFF861$669B136D1932A9B2FD161 B619D6161B6D166786B1361D66B161 98A5!1F%136D1EE16198266B19D1&1 D42FD681789366B116 6BC18'A61&1761DB9232B!161 8!76A616176376D198B26D1981 2332FDC1 34FDA2339B6781 &1 9D61 61 8!DF9B6781 61 (798B)1 86DB61 361 8F72B1 7!8F1 *1 471 98A5!16DB2!1&12+D6B1233298D161F3398D1

B9B1 F!1 361 3261 6B861 391 8!76A61 471 8!DF9B6781 D232A271 EE1 6B1 D6D1 26D2FD1 2B82D"76DC136D12 !86B6D1!B96D161 982A9B2F1272D6B171!A9396161A6BB61 8!76A61 98189F8B1&13919367812D!61$46DB1FA1A6B1!A98B1761F7D1B6B68FD14986DD6819D1A61 AFB6+B6C1F7D19FD18FFD!1761F763361!B5F6161AF886AB2F1&134!A56336171D7DB89B1

$6BB61 !B5F61 AFD2DB61 61 761 73B261 !B961 B6A5F3F276C1 98"D1 761 862"861 6D7861

!36AB82761 6D1 2DFD2B2 D1 721 686B1 61 79B2 2681 34688678C1 &1 896681 391 8!76A61 &1 391 936781 DF7592B!61 981 71 9,F7B1 3FA932D!1 61 9B2"861 -F7D1 FB868FD1 74231 6DB1 FDD236C1 61 761D67361!B96C1618!72861391.97DD2661868!D6B9B261613919829B2F161391 8!76A61971 D621 71 D7DB89B1 &1 76376D1 98B26D1 981 2332F1 /F781 A639C1 F7D1 9FD1 !63F!1 67+1 F"36D1 5D276D1 721 686BB6B1 61 79B2 2681 391 AF886AB2F1 F781 9BB62861 36D1 F,6AB2 D1 198933"36C1F7D19FD12D16139A61718FA6DD7D161 982A9B2F1AF9B236196A1391 232"861

$E0196A1D67366B12+D6B1!B96D16B167+19D76D15FBF32B5F895276D1FB1361F2B1 61!98B16DB171D7DB89B161B61011$618FA!!191682D1391 982A9B2F1618!DF9B6781&1 F6D1 61 36+2F1 6B1 F6D1 61 F376C1 FB1 36D1 68 F89A6D1 2B82D"76D1 11 6B1 21 686BB6B161AFA7886A68136D18!DF9B678D1(798B)1 2C1F7D19FD1932!1FB861AFA6B1 6B1FD1F"36D15D276D19816D1A989AB!82D9B2FD1!36AB8276D161FD12DFD2B2 D1

#4993D61 6D1 8!D73B9BD1 F7D1 91 682D1 61 86DD681 761 32DB61 6D1 2DB6D1 49!32F89B2F1 F781

!B93281 761 F261 68D1 3427DB82932D9B2F1 789361 6D1 8!DF9B678D1 EE1 9D1 71 862681 B6DC17619BB6B2F1BF7B6198B2A732"861D61F8B6891D781361A5F2+171D7DB89B16B1391B6A5F3F261 7B232D!61F781989B2816D168 F89A6D1FB2936D1#91!B5F6161AF886AB2F1!A6DD2B61761 6D7861!36AB827612B68!29286C1A6BB61!B961F2B12B8618!A2D!616B1231 97891D49DD786817463361 4976B619D1361AF3B13F93161391 FAB2F142617612DA7B!DC13619A592171EE16B1 342B!89B2F1 D68FB1 6D1 F2BD1 &1 !B7268C1 BF7B1 98B2A732"866B1 F781 AFD68681 36D1 D!A2 2A9B2FD1718!DF9B6781372261

1

78936AB236C66

EEC1 66A5F3F261 01C1 7!DF9B6781 !36AB8F!A9276C1 $989AB!82D9B2F1 78C1 0DA2339B6781 EEC1!B6AB2F1A99A2B261

9

221 1

1

2221 1

DE39FA96

B186D6BC1E2A8F36AB8FE6A592A93DB6D1EE159616AF616DD6B293121 66891 B6A5F3F1 8F7ABD1 6595D1 BF1 B56281 D2)6C1 68 F89A6D1 91 2B689B2FC1 86DF9B1 2A8FDDB6D1 5961 661 68F3361 21 B561 268D2 2A9B2F1 F 1 B561 9F7D1EFF86:D1#9;1<F;668C1B561B2619D61932A9B2FD186921B5619856B1D66B1

;56861EE1986179361BF1D6BB3616896B31166C1B561FDA2339BF89D61(798B)12D1B561 7681 F61 8F7AB1 F1 B561 9856BC1 91 9856B1 6DB29B61 9B1 =1 *>1 2332FDC1 B595D1 BF1 91 8676A1DB9232B1F 191 6;198BD16812332F1F6812BD132 6B261

.261B56132516B;661B561 8676A1F 191EE186DF9BF81912BD12B82D2A126D2FDC1 B561982F7D197 9AB7821DB6D127A6191D52 B1F 1B52D1 8676A1 8F1B561B986B193761?61

;2331B81BF1986DD1B52D12 686A61

11 B52D1 AFB6+BC1 ;61 8FFD61 91 6;1 6B5F1 F 1 AF886AB2F1 9A8FDD1 B561 ;9 681 652D1 6B5F1 AFD2DBD1 F 1 91 2931 B6A5F3F2A931 DB61 9 B681 91 28DB1 636AB82A931 69D7866B1 BF1 79B2 1 B561 D52 B1?61;2331D5F;1B59B12B12D1FDD236121F61DB6C1BF1867A61B561.97DD2918686D6B21B561 8676A19829B2F1;2B521B561;9 681BF191 6;198BD16812332F188F1B52D168D6AB26C1;61 5961663F61B;F15D2A931F63D1B59B179B2 1B561AF886AB2F1BF19A52661B561F,6AB26D1 EF86F68C1 ;61 D6B1 71 91 97 9AB7821 8FA6DD1 $E01 AF9B2361 ;2B51 F31 *>1 DB6D1 911

@1 5FBF32B5F8952A1 9D5D1 DB98B21 ;2B51 91 011 ;9 681 652D1 8FA6DD1 59D1 69361 B561 8F7AB2F1 F 1 36+78931 F61 86DF9BF8D1 91 7351 F61 86DF9BF8DC1 ;5FD61 2B82D2A1 68 F89A6D1 1C121 A91 AF6B61 ;2B51 (798B)1 82933C1 ;61 9329B61 F781 AFA6B1 91 F781 5D2A931F63D1B595D1BF1636AB82A931A5989AB682)9B2F1F 1F78162A6D1

993D2D1F 1B56186D73BD1933F;617D1BF1663F19132DB1F 1FDD236128F66BD1BF16DB932D5191 8F7B61BF1B56127DB82932)9B2F1F 1EE186DF9BF8D1828DBC1D6A29319BB6B2F1;233161 FA7D61 F1 B561 A5F2A61 F 1 D7DB89B61 91 B561 B6A5F3F1 7D61 BF1 6D7861 68 6AB1 68 F89A6D1

$F886AB2F1 6B5F1 867286D1 91 86322981 636AB82A931 69D7866BC1 B52D1 DB61 7DB1 61 6B9236191F615961BF16D7861B59B12B1F6D1FB12A869D61B561F689331AFDB193B5F75198B29331 DB726C1 B561 9A5921 F 1 EE1 91 2B689B2F1 9861 B561 F2BD1 BF1 AFD2681 21 98B2A73981 56621B561D6A2 2A9B2FD1F 1B56186DF9BF812BD63 1

1

68F3C66

EEC1 011 B6A5F3FC1 36AB8F6A592A931 86DF9BF8C1 781 A5989AB682)9B2FDC1 EE1 0DA2339BF8C1$99A2B261B89D7AB2F1

1 1 1

9

21 1

1

1 1

15FA5936

F23&1 92B69B1 A1 9D1 761 A6D1 B8997+1 FB1 AF6A!1 A1 9D1 761 ,61 !AF7861 A59761,F7816D16D19DD2F9BD16B19DD2F!D1A19D1761,61F7DD61&1F7B16D1 8FA56D1 92D1 97DD21 6D1 6A989BD1 EF1 286AB6781 61 B5"D61 491 7932 2!1 61 6-$91 65!D98C1 -F96C1 $F72A9BC1 99B9B2 1 6B1 F1 8!D26B1 61 B781 AF61

!B9B18!9AB2 16B196A1718!F9B1B6192D1FA1A3CB78681A6197DA82B1AF61,49216!1A6D1 B8F2D19!6D196A1F18F861DB361B6192D192D2186861361B6D1618668A2681A59A7616D1 68DF6D17214F19F8B!1618"D1F71613F2169B1A6D1B8F2D19!6D1/F781A61 9286C1,61 A5F2D2D1 61 A39DD681 A6D1 68DF6D1 981 F8861 9359!B2761 6B1 92D21 98681 F1 6D82B1 D1AFD6D7631EFE68A21&1BF7D1GG1

1

DBB6 7F8B1H1 4F1 86BF781 61 D93361 98"D1 A61 6B2B1 !82361 971 9D1 61 391 F7"86139A561

DFA586 4B1H1 E68A21 B73261 F781 FD12 !86B6D16B8676D16B1B918!D6A61&1 91DF7B69A61

DA6 3AB1H1 E68A21 F781 B6D1 AFD623D1 BF7,F78D1 92D!D1 6B1 FD1 2DA7DD2FD1 971 AF261 682A52DD9B6D1 I1 F1 8!B932DD66BF1

DF46 F8B1H1 E68A21 $98F1 F781 B91 9B26A61 6B1 A6D1 92D1 971 682681 F6B1

F6 FF1H1 (761 2861 61 A6D1 DF28!6D1 /F568C1 61 A6D1 2!6D1 61 866B1 67D1 49233678DC161A6D12"86D161B6889DD6D16B161 BF19261F78139198B261!36AB82761E68A21 3F84F6 F1H1 E68A21 61 D6892B1 9D1 9DD6)1 F8B1F781!A82861BF7B619189B2B761 B61 4F73268921 ,992D1 361 F61 D1A9DBF81EF1

BBF61H1919D167+19DF1 F9 46 4B1H1 6F7,F78D1 61 9DD96C1 71671AF61F2F1

8!B6D"#31H1E68A21

833E84$6 DB1H1 E68A21 F781 FB861 89F8B161B5"D61971AF2612B!86DD9B16B1

68D2A9A61 E68A21 !9366B1 F781 FD1 76DB2FD1 6B1 869876D1 3F8D1 61 391 DF7B69A61

84F846%F1H1E68A2149F2819AA6B!1 391 A59861 46+92681 61 !B9231 6D1 B8997+1

F8AF6 72B1H1 F1 AF78961 F781 A6BB61682"86132618F2B61

439836 331H1 E68A21 F781 A6BB61 !B961

!B6829B61 BF7,F78D1 9D1 391

!AFB89AB2F1

&6'8B1H1#2FC1971392D281

F(9F6 )*F+831H1 E68A21 F781 A61 AF71 61 B!3!5F61 61 ,72336B1 @JJKC1 F2B161!98B161A6BB61B5"D61E68A21F781 49F281 22B2!1 97+1 ,F26D1 61 391 781 E68A21 F781B6D1AFD623D16B18636AB786192D!D1 3396 *EFA1H1 8982A6C1 F1 91 BF7B1 98B9!C1 71 F73FBC1 71 FFBC1 6D1 DF28!6D1 E68A21 F781 BF7B1 6B1 F1 866B1 A6391 6AF861 7619!61

5B6 FF1H1 9D1 F7DC1 F1 D6892B1 6AF861 &1 A568A5681 6D1 3976D1 1 6D!89B1761FB861AF339F89B2F1 87AB2 261 2AB1H1(746DB1A61761B71497892D19D1 92B1 F781 61 9D1 6281 4F1 8!B932DD66B1 6B1 68A217198892161B91 23361

L

21 1

"86 DBF81H1 EFD26781 936,98FC1 E68A21 F781 B91 2DF2232B!1 6B1 36D1 F867+1 !996D1 2 F89B276D1 9561A5M1GG1

(B86 '4F9)'4A1H1 4F61 AFB279B2F1&1BF21

8B6 7B1H1 D31 F781 $F6BF8C1 92D1 68A21F78139126)F1

83996 ,B( 1H1 E68A21 F781 36D1 92D161F7B161B936F1

84F6 FA!B1H1 E68A21 F781 FD1 6B2BD1BF78D161D9336139A561

4$$6 799 41H1 E68A21 F781 A6D1 KJ1 D9;2A5D1GG1

,$8334&6 7&51H1 #6D1 FB96D1 B61 976BC1FA1&1B8"D12B61GG1

*B6A6C6E68A21F781B6D1923D16B1BF1 57F781D12N9B1E6

,4B596 FF1H1 E68A21 F781 FB861 6B5F7D29D61 61 B9B1 761 8!D26B1 61 B781

,4F6 2FA1H1 671 992D1 2D1 391 98861 597B61 61 !63F9B1 36D1 EE1 &1

$8F336D16B1F78B9B1B719D1BF7,F78D18!F71

&16D176DB2FD1E68A21

-3A8$$F6 ,!1H1 BF1 D1A46DB1 A5971 36D1 98D1E1 71 3721 9B21 491 92B1 82!1 69B171F1F7B161B6D1

*FA6 DB&31H1 EFD26781 DF8BC1 92D1 9BB6B2F1&1619D1B6136DD681

*84FF9).926D)'4F1H1E68A21F781 A6D1 AFB89BD1 74231 91 93371 92861 6B1 86 9286C1 F281! 92861F781267+186 92861

*F2F81H1716+636F1

/843346 581H1 92D1 9BB6B2F1 61 61 9D1B8F1!AF7B681/26886C1B719D19DA7368171 9792D1AFB!1919D1@19D1

0AAF96 % E4B91H1 E68A21 F781 BF1 DF7B261&1391/691

04"46)'4A1H1&13918239616B1971 86268161391A39DD61GG1

.AF629FA1H1B614FD61292681F%1F1 61D6892B1D9D1F7D1E68A21

83 "6 1B"1H1 01 98B961 361 92B1 42B86173B21D2B61O1F1AF78961

8EB896 B!1H1 91 791 36D1 8FA592D1 B8997+189B276D19D136D1B6886D1 8F26D1P1 E68A21 F781B91 2DF1 6B1 ,61 B61 DF7592B61 761 F61D9B!1

'5F846051H1EFD26781361/.C16B1 F78B9B18261491A59!198"D1391A72D261 6B136D1DB9BDC1F19BB97617F21P1

'596 581H1 E68A21 F781 36D1 D6DD2FD1E417168621&1*Q51

'6 %F86 1B!F1H1 E68A21 F781 FB861 8!D6A61 &1 91 DF7B69A61 6B1 F781 FD1 6+32A9B2F161391 2786161!82B61134321 '!F6 *F+831H1 EFD26781 89786C1 D1F1 67B1 6DD9681EC1 92D1 D78BF7B1 F1 8!7DD2B1E68A21

' 83936 F1H1 E68A21 F781 B6D1 AFD623D1 9D1 36D1 68268D1 2DB9BD1 6B1 B6D1 923D146AF78966B1

'84B841H1BF21D6731D92DF1 751H1B61F7D19261*1

7F946 8( 1H1 E68A21 F781 A6D1 2DD2FD16B1B91,F261612861

7FAF6,31H19D1BF2136D1A989AD161D61 D68926B19D197DD212619DD!1

78954B6 -!B1H1 6F7,F78D1 2DF2361 F781 8!3681 6D1 8F3"6D1 &1

$8F336D1E68A21

A 6 ,31H1 E68A21 F781 BF1 9261 9D1 391F!32D9B2F1!36AB82761

(1H1,61F7D19261@1

BB33F)986 ,31H1 L261 361 D2A932D61 6B1 361 7D1 .86F36

$8F336D1GG1

996 ,!1H1 (791 B71 67+1 F781 71 D79D51

89 F6 *E1H1 B46D"861 761 36D1 9336D1 71 39 F1 61 B61 DFB1 9D1 BF!6D1 6DD7D1

221 1

14$F6 'E8F1H1 6F1 D6731 ! 97BC1 A46DB1 4592B681726D1

%FFF6 7FB#1H1 #61 814C1 391 A5226C1 ,61 B618668A261F781BF19261

% 85336 )'4A1H1 6F7,F78D1 8!D6B1 F7814!A3928681D781391B6A5F1

2BF6 1251H1 68"D1 2DA86B1 92D1 971 AF2612B!86DD9B1

26 51H1 2+2B1 361 D1DB9292861EC1 B716889D1A46DB1261761B5"D61

2A96'83A1H1B61618963368921BF7,F78D1 61 A6BB61 98"D221 96A1 349!82A921 A59DD67814!391E68A21

"6 4E1H1 21 B71 61 67+1 37D1 92861 61 39186A568A56C1 B71 D92D1761 B71 67+1 92861 A72D22681

1

B61B26D1&146+A7D681978"D16D168DF6D1761,4978921936AFB867D66B1F732!6D16B136D1 8668A2612A21 2C16D168268D18668A266BD1FB1&1A67+1721DFB198B2D1B8F12B6F1 131 6DB1 92B69B1 B6D1 61 F7D1 DF7592B681 761 F61 36AB7861 6B1 F1 AF78961 &1 A67+1 721 98AF788FB1A6D1R1A592B86D1,7D74971F7B1

1

426192A9366B1 1

1

2221 1

6

1

2+1 1

%EB63659#F36

7IE1111

94679$6111111

7E7$1E-611L1

694#11E9617111S1

1-670I$610-11*1

F9656C1 8A(969629966B6F9636F23894F367-76777777777777777777777777777777777777777777777777777777777777777681

**1 1-670I$610-11K1

121211 34546789A4BC222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222CD1 1212E1 FFC2222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222CD1

23234321 56789ABCBDEA1F981133333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333311

23234341 113333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333311

2323434321 98133333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333311

2323434341 8DCB9681333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333121

232343431 7D DCBDEA813333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333331221

*@1 70-96I711*@1

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

*A1 671EE1-.161$0E/-9610-11@A1

12211 '5A6A95C22222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222CE1 122E1 (9B6B95CB6C5CB)BA67AC2222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222CE1

2334321 !AB6EFBDEA13333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333141

2334341 98698179B6D"981F91678EACB9681#1EAF981F91$E%91F91B91FD8"91333333333333333333333333333333333333314&1 1221 6995*C222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222CE!1

233321 'EA9BDEA1DA89A8D(91C16E9881333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333314)1

233341 *+EB1E186988DEA1F91%C88933333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333141

23331 6D%%DA,1B-96%D"9133333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333311

2333&1 .D 8DEA1F91%7BC13333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333121 1221 #5B7A95C22222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222C11

233&321 *6E-91%CB76DC133333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333141

233&341 'EAB6CDAB981%7CAD"98133333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333311

233&31 'EAB6CDAB98179B6E8BCBD"9813333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333331/1

233&3&1 8B0%98179B6E%C,A7BD"98133333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333311

233&3/1 9A8DEA1F91EC6D8CBDEA13333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333311

233&311 9B6EAD"9133333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333331&21 122"1 #7679B5CCA6995*CACC87C5B7A95C2222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222CE1

*R1 -$9/I#9610-11RR1

*T1 $0-$#I10-11RT1

+1 1

F9696C1 782B398369654B9836777777777777777777777777777777777777777777777777777777777777777777777777777777777777777777776:81

@*1 1-670I$610-11R>1

@@1 81-1610-161E6<011RK1

E2E211 +578BC78C222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222C%1

43432321 7B-EF981#1EA8BCAB981ECD8798133333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333331&1

43432341 2C1%7B-EF91F1"EBD9AB1F91C9D,-1333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333331/1 E2E2E1 +578BC5469C2222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222C"11

@A1 E0118#S10-11T*1

E2211 A6C57BA64,57BA64CB98C222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222C"11 E22E1 A6C6A75ACBCA6BC222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222C"E1

4334321 EF91 EAFC%9ABC1-E681CA1333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333331/1

433432321 3A1891B6E13333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333331/1

433432341 789C1F91B6E83333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333331/1

43343231 4DCA1%EF91-E681CA133333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333311/1

4334323&1 '-ED51F9818B6B698133333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333111

4334341 EF91 EAFC%9ABC1FCA8191CA1333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333111

433434321 EF7D8CBDEA19B18D%CBDEA8133333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333111

433434341 '-ED51F9818B6B6981333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333331)41 E221 #58B95C22222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222C!1

@R1 70-96I71910-11L0#IE11>A1

E2211 '5A6A95C222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222C!1 E22E1 987A95BCBBC#$5A6-76C22222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222C!1 E221 #58B95C22222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222C!!1

@T1 $077$610-11>K1

E2"211 A6C57BA64,57BA64C22222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222C!D1

43/32321 EF091CACBD"913333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333331)1

43/3232321 9%D88C,91F981B6E81333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333331)1

43/3232341 'E669BDEA1ECD87913333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333331)1

43/32341 EF9161-E681CA17133333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333121

43/3234321 'E669BDEA1C6169%D88C,91333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333121

43/3234341 'E669BDEA1ECD879133333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333311

43/3231 EF9161FCA8191CA171333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333311

43/323321 'E669BDEA1C617DBC5D9133333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333311

43/323341 'E669BDEA1ECD879133333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333311 E2"2E1 .4B57A6BC/C5BCC$82C2222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222C%11

43/34321 !AB6EFBDEA33333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333121

43/34341 78BCB813333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333121

@U1 $0-$#I10-11QA1

F96;6C1 *EFA98636F23894F367-767777777777777777777777777777777777777777777777777777777777777777777777777777777776<81

A*1 1-670I$610-11QK1

A@1 6$<-0#0.110111QK1

2E211 '5A6A95C222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222C%D1 2E2E1 644CC 7)697A95C22222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222C1001

3434321 !%CABCBDEA133333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333121

3434341 DBC5D913333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333121

343431 .78B1F1%C8"91F619A1D41333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333331221

34343&1 2DB-E,6C-D9179B6EAD"91333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333331241

34343/1 96C$691F1%C8"91F619A1D413333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333312/1

3434311 96C$691DDD%13333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333312/1

+21 1

34343)1 7CD8CBDEA1F981EABCB8179B6D"9813333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333121

343431 2D(76CBDEA13333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333331221

343431 .78B1E61C1E669BDEA1333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333312221

AA1 $0-$#I10-11**A1

F96:6C1 FA92F398362BA9F=4367777777777777777777777777777777777777777777777777777777777777777777777777777777777777777777655>1

R*1 1-670I$610-11**U1

R@1 49-$11EI711**U1

2E211 595ACBBC$91C#+,24A9C22222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222C11&1 2E2E1 FB6BC.31CF968A659BC22222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222C11!1

RA1 E0#19610-1#$671(I1I1I467961611/#0611**Q1

RR1 EI711/0I671670I11*@U1

2211 '5A6A95C222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222C1E&1 22E1 A6C57BA64,57BA64C222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222C1E!1

&3&34321 !A 9A91F91C1B9A8DEA1F91EC6D8CBDEA1333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333124)1

&3&34341 .D8B6D(BDEA81F981B6E8133333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333331241 221 #58B95C222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222C111

RT1 EI71167I$6I71910-11L0#IE11*A*1

2"211 FB6C7$75AC66A95C22222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222C111

&3/32321 5C"9814:;133333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333331241

&3/32341 .D8"981):;1333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333312&1

&3/3231 5C"981:;133333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333331211

&3/323&1 'EA8DEA8133333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333312)1 2"2E1 FB6BC48A69BC76BC66A95C222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222C1D1

RU1 $0-$#I10-11*AK1

$0-$#I10-1V1/7/$61L11*R*1

414#10.79/<111*RT1

694#1181.I71*TT1

#1611694#9IS11*U*1

#1611$0EEI-1$9610-16147L611*UA1

.#091711*UT1

9--S11*U>1

1

+221 1

6

1 *

.9F84A986

*5 1 $FB6+B61

61 D19FF61E1 6DB1 97,F7845721 71 D7,6B1 49AB7932B!1 BF7B1 97B9B1 B6A52761 761 F32B2761 6B1 !B52761 #6D1 99A!6D1 B6A5F3F276D1 61 A6D1 682"86D1 9!6D1 FB1 8671FDD2361349982B2F14F,6BD1AF72A9BD1BF7,F78D137D16B2BD1#4<F61 6DB1 &1 391 86A568A561 6B1 696781 6D1 B6A5F3F26D1 BF7,F78D1 37D1 F2B76D1 #6D1 F,6BD1 AF72A9BD1 DFB1 667D1 2AFBF78936D1 971 7FB226C1 71 B!3!5F61 &1 34F829B6781 F8B9361619DD9B198136D1B936BB6D17!8276D16B136D1DDB"6D161929B2F1$6D1F7B23D1D61 F26B1 42B861 BF7,F78D1 37D1 68 F89BDC1 2936D1 6B1 FB1 36781 AFDF9B2F1 DF2B1 391 37D1 92361FDD2361

971 D621 61 A6D1 AFFD9BDC1 34FDA2339B6781 6DB1 34!3!6B1 22D6D9361 &1 36781 F1 FAB2F66B1131686B1391A8!9B2F1471D2931!82F2761FB1391 8!76A61!B68261391 2B6DD61 46+!A7B2F1 61 342 F89B2FC1 A46DB1 345F83F61 71 DDB"61 DB2!1 &1 628F1 *>1 233298D1 4678FDC1 361 98A5!1 6D1 FDA2339B678DC1 82A29366B1 !B671 981 36D1 27DB826D1 71 (798B)1 K@RXC1 36D1 AFFD9BD1 2!)F!36AB8276D1 &1 F61 9AF7DB2761 61 D78 9A61 Q@X1 6B1 36D1A!89276D1TUXC16DB161AFDB9B61!F37B2F161*JX198191$6D1A52 86D1!FB86B1 BF7B1342B!82B1F7817127DB82631613912A8F!36AB8F2761B6317616E2A8F636AB8F2AD1

1 827861*5 7!98B2B2F16D16B6D16D1FDA2339B678D161@JJQ⁵1

#4!686A616D1DDB"6D16987!D16B1F236D16DB12B266B132!6197+199A!6D1!A82B6D1 9813913F2161EFF86C17218!2B1361F7366B171F86161B89D2DBF8D19817A61BF7D136D1*K1 F2DC1 71 92B1 4761 227B2F1 6D1 Y7D1 B6A5F3F276D1 91 34567861 9AB76336C1 36D1 B6A5F3F26D1 RTC1 F281 261 @@1 DFB1 D781 361 F2B1 61 66281 9B786D1 6B1 FA1 AF68A2932D!6D1 $669BC1 B8"D1 89266BC1 6D1 2!2678D1 FB1 671 342!61 47B232D681 36D1 1111111111111111111111111111111111111111111111111

*1EE?9L1@JJQC1998610,9C1L661

#

1

@

B6A5F3F26D1 $E01 9D1 361 7B1 4292681 61 F7697+1 AFFD9BD^*1 $6BB61 268D2 2A9B2F1 91 682D1 349982B2F1 61 F76336D1 FAB2F932B!DC1 971 37D1 8"D1 6D1 B89D2DBF8D1 B63D1 761 36D1 AFFD9BD1 9DD2 DC1 36D1 A9B678DC1 36D1 9AB2F678D1 6B1 36D1 7A6D1 2F3F276DC189DD63!6D1DF7D1346B2B!1D1EF861B591EFF861E1$6BB61268D2 2A9B2F191682D1 4FB22D681 36D1 AF3BD1 6B1 49F8B681 761 936781 9,F7B!61 97+1 AFFD9BD1 61 391 2A8F!36AB8F2761 A39DD2761 1 AFB8698B26C1 36D1 27DB8263D1 FB1 !B!1 96!D1 &1 6D681 97B866B196A1349982B2F161DB87AB786D1A1#462366B1617A6D1F712B!89B2F1AC191

!B!18671FDD236196A1349982B2F16D16L1658F751232AF1L291

1 827861@5 6DA82B2F1613:6B2B!1ZEF861B591EFF86Z^@1

829366BC1 36D1 2A8FDDB"6D1 !36AB8F!A9276DC1 37D1 AF7!6B1 963!D1 EE1 F 86B16D168D6AB26D142B!89B2F16B161229B782D9B2F16D1 FAB2FD1!2!6D197+1F,6BD1 AF72A9BD1A2B!D18!A!66B1

#47B232D9B2F1 6D1 EE1 6DB1 4F86D1 6B1 !,&1 B8"D1 8!976C1 981 6+6361 D781 6D1 98A5!D1 891732A1B63D1761A67+16D1,67+1A9B678D1B63D17616D19AA!3!8F"B86D^A1F718FDAF6D^R11 2B!8!D19816+63619D1391?221-2B6FC16134FB27612A8F128F28^T1F716D1B2B6D1&1,6B1 1111111111111111111111111111111111111111111111111

*1<1-9B59DF16B193C1[656186DF9B19B61B89D2DBF8\C11EFC78963DC35EEE386C7D963963311

@11671@J*JC198 7!6 998"3#!D73$%81

A1E<16D9216B193C1[A9+2D1$E0EE19AA6368F6B681;2B5168B2A93312B689B61 7332 686B2931D6D21 636AB8F6DC\1D63 &9FDA &773 &6983 'C7B7983 6A3 DC89(7)3 *96186C3 +',&-*E+&3 ./3 7!3 567867D96F1

R1412F3716B193C1[-F63C1D236C191(2666B1D63 1FDA2339B2F13FF16D261 F81289BF81EE1 8FDAF6DC\1D63&9FDA &773&6983'C7B79836A3DC89(7)3*96186C3+',&-*E+&3./37!3 567867D96F1

T1 -1(79A51 6B1 93C1 [E22 89861 B79361 86DF9B1 A92B1 659A61 6B6ABF8D1 63F21 68B2A9331 F21 AF1 8261 9AB79B61 EE1 2A8F288F8DC\1D63 0%7DCF3 E&3 6A3 ,69%!9796DC3 .//13 5EEE23E0&3 567867D96F3*96186C3963

1 A 46A861 25,6B1 569^*1 61 /0-1 F71 9EI-.F1 #6D1 EE1 AF6A6B1 261 &1 26DB281 361 98A5!1 6D1 DDB"6D1 D9D1 231 96A1 34!686A61 61 8!DF9B678D1 EE1 D7DA6B236D1 61 AFA7886A681 36D1 (798B)1 "D1 97,F7845721 F781 36D1 932A9B2FD1 61 9D61 61 B6D136D1F2D189DB276D18F72BD12626]12197,F784572C136D18!DF9B678D1EE161 34!B9B1613498B18!D6B6B16D168 F89A6D1712612697176136D1(798B)1827861AC161 F867+1! 2D186DB6B1&12B861D78FB!D1F78176127DB82932D9B2F116 6BC13618F3"6161 3918!A2D2F1 8!76B263361F2B1FB96B12B8618!DF371F7818!F86197+1D!A2 2A9B2FD136D1 37D1 89DB276D1 6D1 FDA2339B678D1 $61 8F3"61 6DB1 2B266B1 32!1 97+1 !63F66BD1 B6A5F3F276D1721272D6B1761F2 2A9B2F16D126D2FD16D18!DF9B678DC16B1FA1981 AFD!76B1 61 391 8!76A61 61 8!DF9A61 /981 391 D72B6C1 391 DB9232B!1 61 B6!89B7861 6D1 FDA2339B678D1&19D6161EE16891!9366B12B8618!DF3761DF2B197126971718!DF9B6781DF2B1

&134!A56336161391 FAB2F13F9361

1 827861A5 B9B1613498B16D168 F89A6D16D1EE1142198189F8B1971(798B)^@1

@5 1 0,6AB2 D1

$61 B899231 61 B5"D61 D42DA82B1 FA1 9D1 A6BB61 FB2761 H1 8FFD681 761 DF37B2F1 971 8F3"61 4986DD961 61 391 8!76A6C1 FB96B1 61 8!F9B1 97+1 9829B2FD1 27B!6D1 &1 391 982A9B2F1

1 1

1111111111111111111111111111111111111111111111111

*1^21$5731916B193C1[6561DB71F1B561FB2931F689B21F3B9619186DD7861 F81B561DB93616,6AB2F17D21B561 636AB8FDB9B2A1 2631 27A61 EE1 25,6B1 569[C1')5F(3 6A3 6B1C7B8D663 .//3 5&'3 .//3 5EEE3 567867D96F3&()%9DB)3

@18982A61$9DD6BC1,69+73.//11

1 R

#6D12 !86B6D198FA56B162D9!6D1DFB132DB!6D1A26DDF7D1H11

15 E!B8F3F261 H1 B9B1 F!1 391 8639B2F1 721 3261 391 8!76A61 61 8!DF9A61 471 FDA2339B678197+126D2FD12B82D"76D16134!3!6B18!DF9BC1391FDD2232B!161 6D78681 36D1 26D2FD1 398678C1 3F7678C1 89FC1 AFB!F1 61 AF78D1 61 8!932D9B2FC1&176376D198B26D19812332F118"DC1686BB892B1981391D72B6161 F2 2681391DB87AB7861981719,F7B1F717186B892B19!79B1619B!829716B14FB6281 61A61 92B1391 8!76A61618!DF9A61&176376D118"D16336197DD21

$669BC1 36D1 998623D1 61 6D786D1 ?_$0C1 98EF1 2DF236D1 61 8!F6B1 9D1 &1 FD1 9BB6B6D1 1 6 6BC1 231 61 F7D1 6DB1 9D1 FDD2361 61 6D78681 D123261EC1 61 92"861 DB998C1 761 F71 37D2678D1 2)926D1 61 2A8F"B86D1 26D2F1B27614718!DF9B6781&176376D118"D1

1

15 98A52B6AB7861H1#9167+2"612!61AFD2DB61&1AF7368171F7137D2678D18!DF9B678D1 9 21 61 AF6D681 36D1 9829B2FD1 B9B1 471 F2B1 61 761 71 8FA!!1 61 982A9B2F1 74628F66B9361 #61 AF73961 67B1 2B861 !A92761 F71 261 &1 349261 471 A28A72B1 !36AB8F2761 6+B!826781 /9821 36D1 B8997+1 732!D^*C1 361 AF73961!A9276161DB87AB786D1A99A2B26D1D63612B861761DF37B2F113191!B!1 FB8!1 7461 AF739B1 A1 8!DF9B678DC1 F1 22792B1 79D26B1 471 9AB6781 @1 34!A98B1B61&1391936781F66161391 8!76A61-!9F2D1A6BB61DF37B2F16DB1

!932D9B6161B686D146AF866B16B161AFDF9B2F16B167B1272861761

!899B2F171 9AB6781617932B!1 1

15 6D216B1 8FA6DD1 H1 2C1 34!39F89B2F1 471 F76971 6D21 FB1 36D1 A989AB!82DB276D1 D68926B1 29829B6D1 971 71 61 391 8!932D9B2F1 B6A5F3F2761 F78892B1 686BB861 61 322B681 3429AB1 6D1 688678D1 61 8FA6DD1 D781 FB861 AFFD9B113167B1D492819816+63614761F76336198FA561971269716D1 9A896D1 721 AF6D6892B1 97BF9B2766B1 36D1 !A98BD^@1 1 6 6BC1 761 !B761 98F F26161342 376A616D12 !86B6D126D2FD161391DB87AB786191682D1 61! 22816D1,67+16193678D18!72D9B189DB2766B1391!29B2F1&1`TJJ11 E93567867D66B1 A6BB61 98FA561 6DB1 322B!61 6B1 8!D6B61 671 42B!82B1 FB96B1F78136D18!DF9B678D1&1F6D161F37611

#91 F2 2A9B2F1 4!B9B1 61 AFB892B61 71 8!DF9B6781 686BB892B1 3721 97DD21 61 AF6D681 36D1 !A98BD1 8!76B263D1 32!D1 971 8FA!!1 01 6D6C1 981 6+6361 &1 3423!6B9B2F1 4761 DB87AB7861 2AF7A56D1 F781 36D1 D7F8BD1 F71 93F8D1 4761 AF7A5612!)F!36AB82761A9936161F2 2681391AFB892B612B6861718!DF9B6781 01 623368919D1 A6D1 67+1 68268D1A9D1 &1 61 9D1 9AA8FaB861 AFD2!89366B1 391 1111111111111111111111111111111111111111111111111

*1_1#21V193C1[59A66B1F 1E2A8F6A592A93176DF9BF81E97 9AB7821/86A2D2F1L291E6A592A933 AF736198892\C1..6A3EB89%63788B6C(36A3D)3198B)1@JJQ1

@1.1<F1V193C1[E2A8F6A592A931198DH1EF632191/8FA6DD1$F6D9B2F\C199B86F3913E&C1@J*J1

1 T AFDF9B2F1 71 AFFD9B1 D21 34F1 67B1 86DB681 AF!B2B2 1 981 89F8B1 97+1 8!DF9B678D1 61 8! !86A61 61 (798B)1 $61 A5F2+1 6DB1 68B26B1 F781 36D1 F6D1 61 36+2F1 92D1 F7D1 D682FD1 AFB892BD1 &1 6D1 8!76A6D1 8639B266B1 9DD6D1 b*JE<)1F781A61B6161DB87AB7861

15 68221H1 #91 682"861 DF37B2F1 62D969361 86FD61 D781 761 !B961 D73!6B9286161 21618FA6DD7D161 982A9B2FC1F7134F126891,F7681D781391 9DD616B139189267816134!3!6B18!DF9B1618!932D9B1761AF886AB2F13FA932D!61 D781 36D1 8!DF9B678D1 I61 6D7861 971 8!939361 61 391 9829B2F1 61 8!76A61 6DB1

!A6DD92861F781AF9aB86139193678161391AF886AB2F1&123!6B681I61 92361

!92DD6781 61 9B!82971 F78892B1 272861 761 9829B2F1 61 8!76A61 61 DF8B61 &1 A9328681FB861AFFD9B1D781391 8!76A61F73761827861R1

1

$46DB1A6BB61682"861!B5F6172191!B!186B676C18!D6B9B13499B96161619D1976B681 391 AFDF9B2F1 6B1 61 686BB861 761 2B!89B2F1 971 37D1 8"D1 61 34!36AB8F2761 96A1 6D1

!92DD678D1619B!8297+1B8"D1 9236DC1AF9B236D196A136D18FA!!D1$E016137DC1A6BB61

!B5F6C1D218!932D!61,72A267D66BC167B16281AF6D681F1D67366B136D1688678D132!6D1&1 391 982A9B2F1 2B82D"761 71 8!DF9B6781 92D1 97DD21 36D1 688678D1 76D1 &1 34!36AB8F2761 9DDFA2!61

1 827861R5 A5!916182A26161391AF886AB2F1Z2326Z1

1 U

A5 1 6DA82B2F17197DA82B1

9D1361862681A592B86C198"D17618"618!D6B9B2F17198A5!12D!198136D18!DF9B678D1

!36AB8F!A9276DC1 F7D1 8!D6B68FD1 36D1 A989AB!82DB276D1 2B82D"76D1 6D1 8!DF9B678D1H1 F6D161B89D7AB2FC168 F89A6DC1AFA6B2F16D12DFD2B2 D16B12 376A6161391!B5F61 61 AF886AB2F1 D72B61 F7D1 6B868FD1 9D1 361 D12 1 71 D7,6B1E1 96A1 761 86761 61 34!B9B1 61 3498B1 6D1 2 !86B6D1 !B5F6D1 !,&1 23!6B!6D1 F781 AF6D681 36D1 !A98BD1 8!76B263D1 6D1 8!DF9B678D1 EEC1 8!A!!61 4761 !B761 DB9B2DB2761 6D1 9829B2FD1 8!76B26336D1 6D78!6D1 9D1 361 A9861 471 8F,6B1 6!1 AF,F2B66B1 6B861 6E2A8F636AB8F2AD1 6B1 361

$9#!B21$6BB61!B7616BB89161!26A613912D68D2F1AFDB9B!6161DF8B26161 982A9B2FC1 6B1F7D1686BB8916179B2 2681391AF6D9B2F1&16BB86161Y7861B9B1471F2B161761 8!DF37B2F17619829B2FD19+2936D1&19,7DB6811

#61 67+2"61 A592B861AF6A6891 96A1 391 6DA82B2F1 6D1F"36D1 993B276D1 761 F7D1 9FD1 !63F!D1 9D1 361 7B1 61 AFA6F281 36D1 DB87AB786D1 6B1 423!6B681 391 AF886AB2F1 3FA932D!61 $67+A21 D68FB1 AF 8FB!D1 97+1 D2739B2FD1 981 !3!6BD1 22D1 6 6AB7!6D1 DF7D1

$F6BF8?986c1

-F7D1 9F868FD1 93F8D1 361 B8F2D2"61 A592B861 721 8!D6B6891 36D1 2 !86B6D1 !B96D1 B6A5F3F276D1!A6DD9286D1&13918!932D9B2F161FD18!DF9B678D191391 2161A61A592B86C1F7D1 688FD1 36D1 9!32F89B2FD1 FDD236D1 &1 6BB861 61 39A61 F781 989B281 6D1 68 F89A6D1 FB2936D1

2C1 36D1 A989AB!82D9B2FD1 !36AB8276D1 61 346D6361 61 FD12DFD2B2 D1 D68FB1 2DA7B!6D1 6B1 993D!6D1 971 B8968D1 71 79B82"61 6B1 682681 A592B861 $6D1 6D786D1 F7D1 686BB8FB1 61 93268136D1F"36D18!D6B!D19718!9393619D1A61FA76B16B1618F7681BF7B1342B!82B161 A6BB61!B5F6161AF886AB2F1

-F7D1 B68268FD1 361 97DA82B1 61 869B1 71 86A731 981 89F8B1 &1 346D6361 6D1 B8997+1 8!932D!D1 6B1 8FFD68FD1 76376D1 2DB6D1 &1 !B72681 F781 34FB6B2F1 471 8F72B1 27DB82631 AF!B2B2 16B1 29361

1 >

F9656C61 8A(96 96 2996 6 B6F96 36 F23894F367-76

1 1

**1 1-670I$610-11K1

121211 34546789A4BC222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222CD1 1212E1 FFC2222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222CD1

23234321 56789ABCBDEA1F981133333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333311

23234341 113333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333311

2323434321 98133333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333311

2323434341 8DCB9681333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333121

232343431 7D DCBDEA813333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333331221

*@1 70-96I711*@1

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

*A1 671EE1-.161$0E/-9610-11@A1

12211 '5A6A95C22222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222CE1 122E1 (9B6B95CB6C5CB)BA67AC2222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222CE1

2334321 !AB6EFBDEA13333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333141

2334341 98698179B6D"981F91678EACB9681#1EAF981F91$E%91F91B91FD8"91333333333333333333333333333333333333314&1 1221 6995*C222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222CE!1

233321 'EA9BDEA1DA89A8D(91C16E9881333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333314)1

233341 *+EB1E186988DEA1F91%C88933333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333141

23331 6D%%DA,1B-96%D"9133333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333311

2333&1 .D 8DEA1F91%7BC13333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333121 1221 #5B7A95C22222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222C11

233&321 *6E-91%CB76DC133333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333141

233&341 'EAB6CDAB981%7CAD"98133333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333311

233&31 'EAB6CDAB98179B6E8BCBD"9813333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333331/1

233&3&1 8B0%98179B6E%C,A7BD"98133333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333311

233&3/1 9A8DEA1F91EC6D8CBDEA13333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333311

233&311 9B6EAD"9133333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333331&21 122"1 #7679B5CCA6995*CACC87C5B7A95C2222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222222CE1

*R1 -$9/I#9610-11RR1

*T1 $0-$#I10-11RT1

1 1

1 K

**5 1B8F7AB2F1

***5 .!!8932B!D1

4!686A61 61 3427DB8261 2A8F!36AB8F2761 9D1 36D1 9!6D1 *Q>J1 91 F!1 92DD9A61 &1761 F763361 2DA23261&1 391 A8F2D!616D1 A562D1 6B861 36D1DA26A6D16B1 36D1 B6A5F3F26DC1 AF761 DF7D1 361 F1 61 2A8FB6A5F3F261 92D21 61 6B2BD1

!3!6BDC16126D2FD12 !826786D1&1391A6B9261612A8F"B86DC1FB171361,F7818'A6197+1 F76336D1B6A5F3F26D17B232D!6D19D13918!932D9B2F161A28A72BD12B!8!D161D232A271

#91 AF92DD9A61 F7DD!61 6D1 8F82!B!D1 71 D232A271 8F82!B!D1 !A9276DC1 !36AB8276DC1 DB87AB786336DF1 AF73!61 &1 761 982A9B2F1 AF336AB261 6B1 F1 98A5!1 FB1 682D1 4!39F8681 61 F76336D1 DB87AB786D1 !36AB8F!A9276DC1 37D1 AF76D1 DF7D1 361 B6861 61 E2A8F36AB8F1 E6A592A93DB61EE1-F7D14978FD19D13918!B6B2F161 9286176132DB616+597DB261 B9B1 6D1 9B!8297+1 7B232D!D1 F781 391 982A9B2F1 6D1 EE1 761 6D1 932A9B2FDC1 92D1 36D1 8FA592D19898956D12DA7B68FB16176376D1286AB2FD186A6D!6D19D139132BB!89B7861

**@5 EE1

**@*5 /8!D6B9B2F16D1EE1

#6D1 EE1 DFB1 6D1 DB87AB786D1 229B782D!6D1 AFFD!6D1 61 98B26D1 !36AB8276D1 6B1

!A9276D1 AF73!6D1 6B866336D1 981 71 DDB"61 61 B89D7AB2F1 $61 682681 67B2B861 8!932D!1 981 6D1 9B!8297+1 D!A2 276D1 B63D1 761 2!)F!36AB8276D1 d*eC1 !36AB8FDB82A2B2 D1 F71 6AF861 9!BFDB82AB2 D1d@e1 #47B232D9B2F1 61 F8A6D1 !36AB8FDB9B276D1 F71 !36AB8F9!B276D1 dAe16DB1!9366B186A6D!619D136D1!B5F6D161B89D7AB2F1/F781FB86198BC1F7D1F7D1 F868FD1&1391!B5F6161B89D7AB2F139137D1D2361&16BB86161Y7861471F2B161761 89B27616B1347616D137D16 2A9A6D197+16B2B6D126D2FD1H1391B89D7AB2F1!36AB8FDB9B2761

#6D1 9B!8297+1 7B232D!D1 F781 391 8!932D9B2F1 61 EE1 DFB1 A67+1 9F96B1 7D2B!D1 9D1 3427DB82612A8F!36AB8F2761H1D232A271FF16B1F3A82DB9332C1933296D161D232A27120@C1 2$F1 6B1 36D1 !B97+1 $7C1 93F1 1 E92D1 36D1 982A9BD1 61 D61 322B6B1 9D1 D67366B1 97+1 9B!8297+1DB998D16D19B!8297+137D19B276D196A16D18F82!B!D12B!86DD9B6D1B631761 361.99D1DFB1!9366B17B232D!D1F7816D1932A9B2FD1B633617613915FBF27616B19D16D1 628F66BD1DF72D1&161 F8B6D1AFB892B6D1597B6D1B6!89B786DC1 F8B6D186DD2FDF1 97+1!A56336D17D76336D16D12A8FDDB"6DC13915D27616DB1BF7,F78D139126192D136D16 6BD1 F29BD1 DFB1 2 !86BD1 61 A67+1 86AFB8!D1 &1 B923361 9A8FDAF2761 #42B!82B1 61 8!72861 36D1 26D2FD1 6DB1 AFD2!89361 9D1 391 8!932D9B2F1 61 A9B678DC1 6D1 932A9B2FD1 597B6D1 8!76A6DC1 61 2DD29B2F1 61 A5936781 1 6 6BC1 227681 36D1 26D2FD1 471 9AB6781=1 272B1 71 6B1 8F8"D1 61 37D2678D1 F886D1 61 896781 F781 2 !86BD1 989"B86D11 6936971111

#

1 Q

/F4F36 *A94F6

D)6D963 f1

'D83 fg1

>9FB)3 f^A1

+DAB83 f1

78;8B6C3A38;966C3)9A3196A)67F3 f^*1

*967673A37)%37!8)D8B3 f1

6936971115 88614$<##1/0I711887-61.79-I71f1b1*1

/982136D1F867D6D1932A9B2FD16D1EE186F8B!6D19D139132BB!89B786C136D182A2936D1 DFB1H1

15 #6D1 A9B678D1H1 349AA!3!8F"B861 dRe1 6DB1 346+6361 261 471 EE1 7B232D!1 61 A9B678C1 F1 361 86B8F761 9D1 6D1 932A9B2FD1 982!6D1 B63D1 761 3497BFF236C1 349!8F97B276C16B137D18!A66B19D136D1,67+12!FF1

15 #6D1 9AB2F678D1H1 61 F867D6D1 2A8FF6D1 dTC1 Ue1 FB1 !B!1 !63F!6D1 A6D1 682"86D1 9!6D1 6B1 FB86B1 92D21 34!B6761 61 347B232D9B2F1 6D1 EE1 F781 6D1932A9B2FD1982!6D1B6336D17613912F3F26C1391!6A26F1

15 #6D1 EE1 781H1 A6D1 68268D1 676B1 2B861 A39DD!D1 D729B1 3678D1 8!76A6D1 47B232D9B2F1 F71 93F8D1 3678D1 932A9B2FD1 2B82D"76D1 01 86B8F761 36D1 27AB9A6DC1 A99A2B!D1 6B1 2B6887B678D1 4761 98BC1 92D21 761 36D1 23B86D1 6B1 8!DF9B678D1 497B861 98B1 d>C1 Ke1 13D1 676B1 2B861 7B232D!DC1 981 6+636C1 9D1 BF7B6D1 36D1 932A9B2FD1 D9D1 231 B63D1 761 391 B!3!5F261 F236C1 F829B6781 F8B936C1B936BB617!8276F1016889137D161!B9231A61B6161EE19D1 39198B261D729B61

**@@5 EE1781

**@@*5 66D1

#61 F9261 6D1 B!3!AF72A9B2FD1 6DB1 61 3621 6DDF8C1 96A1 349982B2F1 61 F7697+1 8F72BD1 BF7,F78D1 37D1 6B2BD1 6B1 FB1 36D1 68 F89A6D1 61 A6DD6B1 4976B681 01 ! 22B1 67+189D1F926D132!D197+1 8!76A6D147B232D9B2F1H1361F9261781792F188!76A61 721 7B232D61 391 961 61 8!76A61 D7!8267861 &1 RJJE<)1 #61 F9261 181 88!76A61 2B68!29286C179B1&1372C17B232D6139196161 8!76A612 !8267861&1RJJE<)1

/982136D1932A9B2FD1AF789B6DC1F186B8F761361 23B896C136D1!59D678D1A99A2B!D1982936D1 F712B6887B678D1dKe1F716AF86136D19D6D161B6D18!DF9B678D1FB!D161FDA2339B6781d>e1 /F781A6BB61682"861932A9B2FC136D182A297+1DDB"6D1!63F!D16B17B232D!D16127DB8261 DFB1 36D1 DB87AB786D1 &1 9D61 61 (798B)1 71 92B1 61 36781 9AB6781 61 7932B!1 !36!C1 6B1 61 36781 6+A6336B61 DB9232B!1 61 8!76A61 76376D1 1 61 FAB2F1 61 391 B6!89B786C1 61 34628F66B16B171262332DD66B1$669BC136D18F3"6D19,678D16D1(798B)1DFB1D91 B92336192D21761342FDD2232B!16136D12B!868197137D18"D16D1B89D2DBF8D1

1

*J

#47B232D9B2F1618!DF9B678D1!36AB8F!A9276D1EE1D6361F7F2818!F86197+167+1 8F3"6D186AFB8!D198136D1(798B)C18'A61FB96B1&16D18!DF9B678D1&1 F8BD1 9AB678D161 7932B!1 61 37DC1 61 98B1 36781 982A9B2F1 AF336AB261 6B1 391 8!76A61 ! 2261 981 36D1 26D2FD1 399286D1 6D1 EEC1 F7D1 F7FD1 292681 6D1 98A52B6AB786D11 73B2 8!76A6DC1 &1 261 61 8!F37B2F681 3498A52B6AB7861 781 6+2DB9B61 $6D1 68268DC1 AF73!D1 &1 71 DDB"61 !36AB8F276C1 686BB6B1 391 982A9B2F1 4FDA2339B678D1 #6D1 ! 2D1 82A297+16D1EE186DB6B13918!A2D2F14986DD961&134!A56336171;9 6816B1391DB9232B!161 8!76A61 6C1/C1F1

**@@@5 0DA2339B678D1

I1 FDA2339B6781 6DB1 71 DDB"61 !36AB8F2761 721 686B1 61 !!8681 71 D2931 61 DF8B261 61 82A261 761 B6D2F1 96A1 761 !82F61 2+61 131 D61 DA5!9B2D61 981 71 DDB"61 AFB86 8!9AB2F!1827861**1AFFD!1476198B2619AB261?1721686B161 F782816134!682616B1 471 !3!6B1 9DD2 1@1 71 AF61 71 23B861 D!36AB2 1 I1 DDB"61 F7A3!1 FDA23361 &1 761 8!76A611/1D216B1D21D67366B1D21391AF2B2F1614985597D616DB186D6AB!611*A1

1

827861**5 A5!91471DDB"61AFB868!9AB2F!1&167+1F8BD1

1 *

ω ω

ω ω

ω ω

A

@ A

? A

? A

>

A A >

'

E

&

= −

= 1 1**1

1

A ω = ? A ω @ A ω = *

1 123

= +

≥ J

*

@

?

A

@ A

?

ϕ ϕ

ω

ω 1 1*A1

131 6+2DB61 A21 89D1 8F76D1 4FDA2339B678D18!D6B9B1 6D1 DB9232B!D1 8!76B26336D1 2 !86B6D1dQe169369711111

%(6683ABB94F6 9EB926?((5@6

*8(7F39CDFF7983B03 *1&1*JJ1

)%87B83C9)%67A3C8(7F39CDFF7983*B03 J*1 DC89C9)%B783C9)%67A3C8(7F39CDFF7983*B03 JJJ*1&1J*1 063C96789FFA3C8(7F39CDFF79830*B03 JJJ*1&1JJ*1

&)FF379)DC3188B6C(376A8A3+53+5B03 JJJ*1

?D6!3%8198)6C379)DC376A8A3*3 JJJJJJ*1&1JJJJJ*1 69369711115 6941#16187(I-61##1:^0$1##96I71

1 **

07B861 361 989"B861 8!76B263C1 361 872B1 61 59D6C1 391 AFDF9B2FC1 36D1 26D2FD1 92D21 761 361 82+1 DFB1 6D1 AFB892B6D1 &1 86861 61 AFB61 9D1 34!9379B2F1 6D1 68 F89A6D1 471FDA2339B6781

1 827861*@5 B9232B!1 8!76B2633618672D61981932A9B2F1F78136D1FDA2339B678D1

1(798B)16B1EE1d*Je1

#91 827861 *@1 FB861 761 36D1 (798B)1 676B1 8!F861 97+1 D!A2 2A9B2FD1 6D1 2 !86B6D1 932A9B2FD1 61 FB9B1 761 976B9B2F1 6D1 AF3BDC1 71 F3761 6B1 61 391 AFDF9B2F1 71 AFFD9B1 61 FAB2F1 61 391 DB9232B!1 8!76B263361 8672D61 #61 !63F66B1 61 8!DF9B678D1 EE1 F78892B1 686BB861 34FB6B2F1 61 8! !86A6D1 61 B6D1 &1 F2861 AF3B1 982A9B2F1AF336AB2616B18!D6B9B1761 92361AFDF9B2F1#918!A2D2F14986DD96161 391 8!76A61 6D1 8!DF9B678D1 EE1 &1 34!A563361 71 ;9 681 F7D1 D6361 2B861 361 A82B"861 8!F!89B1&19!32F8681F781AF F8B681342B8F7AB2F1619D6161B6D1EE1&1F2861 AF3B1D7816D198A5!D161F376C1B63D1761391B!3!5F261F2361

**@@A5 !A2 2A9B2FD1

#61A5914932A9B2FD16D18!DF9B678D1EE19D1361F61613917816DB1AFD2!89361 -F7D132DBFD19D136169369711111176376D1932A9B2FD18!D6B6D1D78136198A5!19DDFA2!6D1 97+18!A2D2FD18672D6D1F781A59A716D1D66BD167+18F76D199892DD6B1&1FD167+1H1

15 #6D1 932A9B2FD1 B8"D1 AFB8929B6D1 471 F2B1 61 761 8!A2D2F1 96A1 6D1 9829B2FD12 !826786D1&1@T12A379B1391DB9232B!161B6!89B7861

15 #6D1932A9B2FD1F2D16+269B6D196A16D1!A98BD19829B16B861761A6B92616B1 76376D1233268D1611

1 1 1 1

1

*@

F898A8B6 D((BA986 *F2=4A6 9EB926$F2=49BB6989B6

?((5@6

E7!8673 $F72A9B2F161F!6D1 TJE<)1 `@T1

C&3 6!3!5F261 @JE<)1 `@T1

-&D3.4/3 0829B6781

*AE<)1 `@T1

/8F72B1!36AB8F2761

&''3 $F72A9B2F161F!6D1 @JE<)1 `@T1

$*5323$*53 0829B6781 AAhUUE<)1 `AJJ1

E$89CB83 0829B6781 *JJE<)1 `*JJ1

*',323DB33D63 97BFF2361 5<)1 `*TJJ1

'&@323$&3 97BFF2361 QKAK5<)1 `@AK1 693697111115 /$181$9610-111L719//#1$9610-1

971717169369711111C139198B16198A5!139137D12F8B9B618!D6B6171!A98B19719+271 61 @T1 131 6DB1 FA1 !A6DD92861 49F281 61 DF8B261 61 3261 61 982A9B2F1 761 9829B2F1 2 !8267861F71!9361&1A6336A21$6A216DB1497B9B137D18921742316DB12F8B9B149F281F78136D1 AFA6B678D16D1A28A72BD1!36AB8F276D19DDFA2!D197+18!DF9B678DC17612D68D2F197BF78161391 936781 2D!61 391 37D1 6B2B61 FDD2361 -F7D1 F7D1 2+FD1 FA1 A6BB61 936781 AF61 F,6AB2 1 293161391B5"D611

*@5 7!DF9B678D1

*@*5 689D7AB2F1

9D1 BF7D1 36D1 DDB"6D1 8!DF9BDC1 34!68261 !36AB82761 6DB1 B89D F8!61 61 !68261

!A92761 61 6+A2B9B1 3471 6D1 F6D1 F96B97+1 71 8!DF9B6781 #61 !39A66B1 8!D73B9B1 61 A6BB61 6+A2B9B2F1 6DB1 &1 F76971 86B89D F8!1 61 !68261 !36AB82761 981 71 DDB"6161B89D7AB2F172167B12B86126B2761&1A6372161346+A2B9B2F11316+2DB612 !86BD1 B6D161B89D7AB2F1H1

15 #91B89D7AB2F1!36AB8FDB9B27617216B161,6717612 !86A6161FB6B26316B861 67+13976DC134761!B9B134!36AB8F61 2+616B13497B8613618!DF9B6781328616128681 827861*A1d**e1

1

827861*A5 /82A261:718!DF9B6781&16+A2B9B2F16B1!B6AB2F1A99A2B261d**e1

1 *A

#91 B89D7AB2F1 &1 6 6B1 61 A591 827861 *R1 6DB1 761 !82!61 61 391 B89D7AB2F1

!36AB8FDB9B276C1 82A29366B1 7B232D!61 9D1 361 A9861 61 391 !B6AB2F1 "D1 *QU>C1 -9B59DF1V1931d*@e1FB1FB8!174231!B92B1FDD23614FB22D681361D293161DF8B261 617B232D9B171B89D2DBF81E019 214932 2681361AF789B161DF8B261

1 827861*R5 689D2DBF81&18233618!DF9B61d*@e11

15 #91 B89D7AB2F1 2!)F!36AB82761 7B232D61 36D1 A989AB!82DB276D1 6D1 9B!8297+1 688F!36AB8276D1 F781 36D76336D1 761 ! F89B2F1 6B89261 6D1 A5986D1 D781 6D1

!36AB8F6D1

15 #6D1 B89D7AB2FD1 B568276D1 F71 9!B276D1 DFB1 !9366B1 86A6D!6D1 9D1 391 32BB!89B786192D1DFB1671!63F!6D1!B9B1F!13678D1 9236D168 F89A6D16B136781 2B!89B2F1AF36+61

#6D1B89D7AB2FD17866B1A99A2B26D16B1&16 6B161A591DFB1B2766B17B232D!6D1F781 6D1 26D2FD1 98B2A732"86D1 6D1 8!DF9B678D1 #91 !B6AB2F1 E01 6DB1 99B967D61 9D1 361 A98616126D2FD12 !826786D1&1AJi1d*Ae1/981391D72B61391!B6AB2F1A99A2B2618!D6B61 6162336786D168 F89A6D1d*Re1$669BC13912D6161Y786161391!B6AB2F1E01861361 8FA!!161 982A9B2F1718!DF9B678137D1AF36+61761A6372161391!B6AB2F1A99A2B261 7!A66BC1391AF292DF14719AB2F66B1A99A2B2 16B14761!B6AB2F12!)F!36AB827611 d*Te1 91 FB8!1 61 B8"D1 FD1 8!D73B9BD1 61 2279B1 6BB66B1 36D1 6 6BD1 6D1 2 !86B6D1 A99A2B!D1 989D2B6D1 $61 8FA!!1 686B1 !9366B1 49!32F8681 361 9AB6781 61 (7932B!1 6B1 61 8!72861AFD2!89366B136D1F6D1989D2B6D1827861*T1

1 827861*T5 $F292DF16D1B89D7AB2FD1A99A2B26D16B12!)F!36AB8276D19C116D786D1

!36AB8276D16D12 !86B6D1AF292DFD1D781712612DFD2B2 11

9

1

*R

*@@5 66D1618!DF9B678D1

#6D167+1182A2936D1 92336D16D18!DF9B678D1EE17B232D!D1F78136D1932A9B2FD1619D61 61B6D1DFB1H1

15 #6D18!DF9B678D1&1F6D161 36+2F1 15 #6D18!DF9B678D1&1F6D161F3761

$59A7616D1 92336D18!D6B6171A68B921F861499B96D16B142AF!26BD1761F7D1 933FD1!63F6819D136D19898956D1D729BD1

#6D1F7B86D161 36+2F1FB139866B1!B!1!B72!6D19D139132BB!89B786171 92B16136781 9A232B!1 612D6161Y7861#618626812A8FDDB"618!DF9B161 36+2F191!B!1!39F8!161*QU>1981 -9B59DF1 96A1 761 !B6AB2F1 &1 6 6B1 61 A591 d*@e1 336D1 8!D6B6B1 3499B961 61 F281 36781 8!76A61 61 8!DF9A61 982681 8966B1 61 FAB2F1 61 391 B6D2F1 61 F3982D9B2F1

$6A21686B149,7DB681391 8!76A61618!DF9A61d*Ae16B1FA161AF6D68136D1!A98BD17D1 971 8FA!!1 6B1 &1 391 B6!89B7861 !B9233!1 981 391 D72B61 E92D1 A6BB61 !B5F61 66861 761 AFDF9B2F1D73!6B92861712DFD2B2 1

92D2C1 F781 761 F7B861 289B1 9D1 361 391 61 D6AB2F1 86AB9739286C1 391 8!DF37B2F1 6D1

!79B2FD161391927616D123267+1AFB27D1686B14FB62813918639B2F1D729B61F781 391 8!76A61618!DF9A6171F61 F96B931H11

1 α ^Eρ

3 1_%9B78 #

= g 1 1*R1

F%1 f1 6DB1 71 9AB6781 FAB2F1 6D1 AF2B2FD1 97+1 322B6D1#1 6B131 DFB1 86D6AB266B1 391 39867816B13913F7678161391F7B8616B1E16B1F1868!D6B6B1361F736161_F716B13919DD61 F372761719B!829717B232D!1F7818!932D6813618!DF9B6781

E93567867D66BC1 36D1 322B6D1 471 B631 2DFD2B2 1 DFB1 B8"D1 2B61 9BB62B6D1 6B1 231 6DB1 2 2A2361 4976B681 361 9AB6781 61 7932B!1 92D21 761 391 8!76A61 $46DB1 92D21 7471 97B861 B61 61 8!DF9B6781 6DB1 99871 9D1 36D1 9!6D1 QJ1H1 361 8!DF9B6781 &1 F6D1 61 F3761 F71 F6D1 61

#9!1d*Ue1#4!B9B1613498B189F8B61FA16D1B8997+1D7816D18!DF9B678D137D1D19DD2 D1EC1 AF61 36D1 2D76DC1 36D1 3976DC1 36D1 9697+1 d*>e1 $6D1 68268DC1 6B861 97B861 8'A61 &1 761 8222B!1 D7!826786C1 686BB6B1 4FB6281 6D1 68 F89A6D1 AF98936D1 971 8!DF9B6781 &11 9D6161(798B)1

#6D1F6D14F886136D137D19DC19D1361A9D16D12D76DC13976D16B19697+1DFB1361F61 6+B6D2F631 6B1 361 F61 6332B2761 9D1 36D1 67+1 A9DC1 391 8!76A61 6DB1 268D66B1 8FF8B2F63361&139126D2F1A82B2761712DFD2B2 C186D6AB266B136189FC13913F76781 71ACB!16B13912DB9A616B86136D189FD12B!8267816B16+B!826781

1 *T 1

827861*U5 A5!91226D2F6316167+12D76D1&1F6D161289B2F1 6+B6D2F6336197A5616B16332B27618F2B61

1 ρ

α E 1 +

F 476D966

AD8B = 1 1*T1

1 = @π ρ*E−υ

+ 1 G

FFD%7D8B

AD8B 1 1*U1

1 ρ

%F8B

H 1 3

F 476D966

@

@

= * 1 1*>1

1 @ *

*

υ ρ +

= E

1 3

%F8B3); 1 1*K1

96A1+1 6B13136D1 26D2FD1 71 2D761 6B1 61 39139761 6B1H_.1 361 F7361 61 _F71 6 6AB2 1 AF886DF9B1&17616+B6D2F1.3_@j$**k$*@@$g*@h$**j*K*./91F781361D232A271#6D1

*DA1 868!D6B6B1 36D1 !3!6BD1 61 391 9B82A61 61 AF F82B!1 !A92761G1 6DB1 71 9AB6781 FAB2F171F616+A2B!1

#47B232D9B2F1 6D1 F6D1 61 F3761 686B1 4FB6281 6D1 DB87AB786D1 289B1 &1 597B6D1 8!76A6D1 l.<)1 d*KC1 *QeC1 8!D6B9B1 61 F8BD1 9AB678D1 61 7932B!1 F79B1 !9DD681

*JJ1JJJ1d@Je16B161 9236D18!D2DB9A6D1FB2F6336D1AF7396161DB87AB786D1

7!A66BC1 71 !82!1 6D1 8!DF9B678D1 3976D1 6DB1 99871 H1 361 24971 #61 F61 61 FAB2F66B1 6DB1 D6D2366B1 26B2761 &1 A63721 6D1 3976D1 6+B6D2F6336D1 $6D1 AFFD9BD1FB136189199B961618!D6B6816D1989"B86D12DDFA2!D1F7813918!D2DB9A61 FB2F633616B1391 8!76A61#61F736161_F71D1A39DD2761E126B18639A681361F7361 61_F716 6AB2 1.16B1391 8!76A61618!DF9A61D4!A82B193F8D1H1

1 ρ

E 1_&DD'+ 3

@

= * 1 1*Q1

96A13139139867816139198161232A271

#61 6936971 11L1 A298"D1 89F8B61 36D1 68 F89A6D1 61 76376D1 2DFD2B2 D1 6B2F!D11 A26DD7D1

1

*U

%(66F23894F6 $6

?70A@6 B6 $7B6 1₅6

?1 53@6 2_,6

?2@6

"(6

?5@6

2B87I3B03

3

*TKJ1 *JJJJJ1 1 1 AA1 1

D'#3J.K3

3

KJJJ1 @TJJ1 @*J^*R1 1 1 1

78 783D)J..K3

3 3

Q@@T1 >RTJ1 UK>1*J^**1 *U>1 >U1 *UJ1

239%7D)DIA378 783D)3J.LK.//3

3

*JR>1 *JJJJ1 *JT1*J^**1 >1 AJ1 *JJ1

3); )9A3 )DC898967983JK3

.//3

3

UJT*1 *@*J1

9281 >A@1*J^Q1 1 UA1 1

EFFD%7DC3)9A3ADG3 8967983J.K3.//3

3

*RQA1 RT>JJ1 UK@1*J^*@1 RAA1 *>1 QJ1

?9FF9M3ADG38D663 8967983J1K3.//3

3

**UQ1 TKRU1 UKA1*J^*@1 @>RR1 UT1 *JJ1

D)96A3ADG3 8967983JK3.//3

3

*T*J1 **TTTT1 *>R1*J^*A1 *JJ1 @T1 QJ1

&8B83476D96F3 8967983J.NK3.//3

3

*A*1 *AJJJJ1 *>J1*J^*@1 RR>1 >T1 >TJ1

>87DCF3C%CD7D3

&DD83J.K3.//N3

3

@*AR1 @K>JJ1 U*@1*J^*@1 UA1 *JJ1 @@T1

39M3%!3,9D3

&DD'+3J.K3.//13

3

*RT1 T*JJJ1 >RJ1*J^*@1 @R1 *R1 >>1

&0538B838967983 J.1K.//13

3

UAT1 *U1*J^U1 *J*1*J^*A1 U*R1 TJ1 @JJJ1

B65F3?D6!323 8967983J./K.//3

3

TTQ1 **@JJJ1 U@U1*J^**1 TK1 A1 *KJ1

&D66F3C8(7F3DFDC963 //?I3E&3 8967983JK3

3

*JJ1 UJJJJ1 U*J^*@1 TJ1 T1 UJ1

?D6!323&DFDC963 DC89)C!6DCF3 +967983J.K.//3

3

*JRQ@1 *J*TTJ1 *JU1*J^*A1 1 *J1 *JJ1

693697111L5 $0E/97910-111L716_/1170-96I71 1111111111111111111111111111111111111111111111111

*15BBHhh;;;5AFh6h8F7ABDhD698A5hA3FA5h**K>K>QW*RAA5B31

1 *>

$F61 6B2F!1 8!A!66BC1 36D1 68 F89A6D1 6D1 8!DF9B678D1 &1 F6D1 61 F3761 DFB16BB66B1D7!826786D1&1A6336D16D1F6D161 36+2F1131D6892B1A669B18!7AB678161 6BB86161AFB!136D1DDB"6D18!DF9BD1&1F6D161 36+2FC1D78136D763D12316DB137D1 9A236161 AF868616B161F!32D681346D63616D15!F"6D1!A9276D12D161,671721F7D1 D682891981391D72B61&162819,7DB681391 8!76A61618!DF9A61

-F7D19FD1F2D1F3FB92866B1391!69A6161B6!89B786161A59A716D12DFD2B2 DC1 721D6891!B72!619D139198B261D729B61

*@A5 /989"B86D12B82D"76D12 379B1D781391 8!76A61618!DF9A61

#4F,6AB2 1 471 8!DF9B6781 6DB1 61 F78281 761 8!76A61 61 8!DF9A6C1 FB!611_/1 /F781 71 261DDB"6C137D2678D1 8!76A6D1618!DF9A616+2DB6BC1 FAB2F16D12 !86BD1F6D1 742316DB1FDD236146+A2B681#91 8!76A61618!DF9A616DB12616B671!69B6171B61 61 289B2F1 36+2FC1 !3F9B2F1 AFB89AB2FC1 BF8D2FC1 F6D1 61 F3761 F71 BF7B6D1 AF292DFD1 61 F6D1 6B1 61 349AB2F66B1 B6D2F1 61 F3982D9B2FC1 92D1 63361 6DB1

!9366B1 2B266B1 32!61 97+1 8F82!B!D1 2B82D"76D1 6D1 9B!8297+1 7B232D!D1 EC1F3 O1 6B1 97+126D2FD1#C133F71+3!1

#91 AFB892B61 6D1 AF7A56D1 9D1 36D76336D1 6DB1 8!932D!1 361 8!DF9B678C1 6DB1 !9366B1 71

!3!6B1!B6829B19D139193678161391 8!76A61$6BB61AFB892B616DB1!69B6161391 B6A5F3F2617B232D!613F8D161391 982A9B2F1/9816+636C19D1361A9D171F61 F96B931 4761 F7B86C1 761 AFB892B61 61 B6D2F1 91 976B681 391 8!76A61 61 8!DF9A61 93F8D1 74761AFB892B61AF86DD2619134992DD681#4!79B2F1F!619D1361A98614761F7B861 26A9DB8!6C1 8!2DD9B1 391 8!76A61 61 8!DF9A611_/1 61 FAB2F1 61 391 AFB892B61 m1 71 8!DF9B6781dAJe16DB1H1

1 _J g ^*@

@QA J

* g J@>

* σ

ρ E#

3 3

#

1 = E + 1 1**J1

#91B6D2F161F3982D9B2F16134!3!6B18!DF9B16DB197DD2171 9AB6781&18686161AFB61

#4!79B2F1 ***C1 9D1 361 A9D1 4761 F7B861 61 36+2FC1 FB861 761 391 B6D2F1 686B1 4992DD681391 8!76A61618!DF9A61&1391936781DF7592B!61981761F2 2A9B2F198B2 2A263361 61391892678C196A1>%1391B6D2F161F3982D9B2FC1'1391D78 9A6161869816D1!36AB8F6DC1A_/1 346B86 6816B1G)1391892678161391F7B861H1

1

)

%

G A

' 1 >

1 _A

J J

J * ε

−

= 1 1***1

#471 6D1 68268D1 989"B86DC1 6B1 F1 6D1 F286DC1 &1 AFD2!8681 6DB1 361 872B1 131 A97D61 2!2B9366B16D1 37AB79B2FD19712697161391 8!76A61618!DF9A610126B2 261B8F2D1 B6D161872B1H1361872B1B568276C1361872B13197+19829B2FD161391B6!89B7861628F9B61 6B1361872B18!D73B9B14!A596161F3!A736D1&1391D78 9A61718!DF9B67811316DB1B2766B1 6+82!1614A<)^*1&1*5<)19716DD7D161391 8!76A61618!DF9A611

1

*K

2C136D168 F89A6D1718!DF9B6781D68FB132!6D1&1D91AFA6B2F1!A927612DFD2B2F1 6B1 26D2F66BD1 6D1 2+9B2FD1 !A9276D1 61 391 DB87AB7861 6B1 !36AB82761 68B6D1 &1 B8968D1361D7DB89B16B1A99A2B!D1989D2B6D16B86136D1!36AB8F6D1

#6D1 2 !86BD1 9AB678D1 !7!8!D1 ,7D74&1 92B69B1 1 4FB1 61 93678D1 761 862D1 9D1 361 AFB6+B6146+A2B9B2F16B1FA171F61618!DF9A61!B932C1&1D9F28171F6161 36+2F1F71 93F8D1 4F6D1 61 F3761 92D21 36D1 68 F89A6D1 2B82D"76D1 71 8!DF9B6781 6B1 36D1

!B5F6D1 49,7DB66B1 61 391 8!76A61 FB1 2B861 2 !86B6D1 471 B61 61 8!DF9B6781 &1 3497B861

-F7D19FD17176134F1F792B1,F7681D7812 !86BD1989"B86D19D13617B1618!9,7DB681391 8!76A61 61 8!DF9A61 971 71 6D1 !A98BD1 71 92B1 9D1 71 862681 B6D1 71 8FA!!1 61 982A9B2F1 6B1 9D1 71 67+2"61 B6D1 61 34628F66B1 9D1 367631 361 8!DF9B6781 6DB1 7B232D!1 #61 6936971 1L1 86861 36D1 989"B86D1 A2B!D1 A26DD7D1 97+763D1 DFB1 8!A2D!D1 D781 7F21A6D1989"B86D12 376B16B1391 9A232B!1&12B6862816DD7D1

F5#9F36 2F986 6*AB926C658$F6D6

26D2FD1 88!76A61 k1k1

$FB892B6D1 88!76A61 5 1

66D2F161F3982D9B2F1 88!76A616B1 9AB6781617932B!1 k11

689D7AB2F1 89AB6781617932B!1 5 1

$FA6B2F1!A92761 89AB6781617932B!1 k1k1

69369711L5 17$9/16I#961811/979E67167E1-9-619-1#91$077$610-1-1 87(I-$161I189$6I711(I9#161

*@R5 /68 F89A6D1

#4761 6D1 89678D1 A989AB!82D9B1 36D1 68 F89A6D1 471 8!DF9B6781 6DB1 361 9AB6781 61 7932B!C1 FB!121 131 6DB1 ! 221 AF61 !B9B1 361 89F8B1 61 34!68261 699D2!61 971 AF78D1 471 AA361 61 289B2F1 D781 34!68261 2DD2!61 981 AA361 131 A989AB!82D61 61 92B1 36D1 68B6D1 4!68261$6D168B6D1676B12B8616137D2678D1B6D1H11

15 36D168B6D19819F8B2DD66B12D767+C1 15 36D168B6D198136D1 2+9B2FDC1

15 36D168B6D1B568F!39DB276D1971D6216D19B!8297+C1 15 36D168B6D161D78 9A61

1

B81C 7D8B

7!8)9;F 6C86

D8 2 2 2

2 2

*

*

*

*

* = + + + 1 1**@1

9 2161AF9868136D12 !86BD18!DF9B678D1EE16B86167+192D1!9366B1BF7B1B6161 8!DF9B678DC1 361 9AB6781 61 !82B61P31423Q36DB1 A39DD2766B1 7B232D!1 981 391 AF797B!1 DA26B2 2761F78136D1932A9B2FD1619D6161B6D1