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Application of nano porous silicon for gas detection

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Academic year: 2021

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titre:

Application of nano porous silicon for gas detection

auteur :

Nassera GHELLAI, Nasr eddine CHABANE SARI, Sidi Mohamed CHABANE SARI, Noureddine GABOUZE, Fatima zohra SAIL, Ihsene yasser TALEB

Résumé:

pourous silicon (SiP) is obtained by anodic attack of single-crystal silicon in concentrated hydrofluoric acid solution

Mots clefs :

porous silicon, sensor, detector, gas, electrical characteristics

Source :

2éme rencontre marocaine sur la chimie de l'etat solide (REMCES'XII) du 21-23 novembre 2012, casablanca

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