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Electromagnetic Modeling in Near-Field Scanning Microwave Microscopy Highlighting Limitations in Spatial and Electrical Resolutions

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Academic year: 2021

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Fig. 1. (a) RMN® probe configuration. (b) HFSS simulation of the electrical  field magnitude as a function of the frequency of operation
Fig.  4.  (a)  Sketch  of  the  NSMM.  (b)  Photography  of  the  NSMM  inside  a  Tescan Mira XMU SEM.

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