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Etude de systèmes ternaires à base de Cr et N pour applications mécaniques sur outils de coupe destinés à la transformation du bois

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Academic year: 2021

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Figure 1. Configuration confocale des 2 cibles Cr et Si a) et disposition des substrats en position  horizontale (lettres) et verticale (chiffres) sur le porte-substrats
Figure 3. Composition de revêtements CrAlN en fonction du taux d’azote dans le plasma
Figure 4. Profil SIMS d’une couche de CrAlN élaborée à 25%N 2 , 4µbar, -700V, 60min
Figure 6. Diffractogrammes de couches de CrAlN en fonction du taux d’azote (A) et de la pression de  travail (B)
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