4.4 Perspectives de travail autour de la résistance à l’état passant
4.4.2 Résultats expérimentaux préliminaires
L’émergence de composants de puissance susceptibles de fonctionner à haute
température implique de pouvoir tester ces derniers dans conditions thermiques
sé-vères. Cette nécessité de réaliser des tests de vieillissement pose la question de la mise
sous contrainte thermique du composant testé, sans pour autant vieillir
prématuré-ment les autres éléments nécessaires au banc de test (carte de test, câbles,
connec-teurs, instruments de mesure ...). Dans le cadre de ces travaux, une méthode de mise
sous contrainte thermique localisée des composants de puissance par un faisceau
la-ser continua été développée et a fait l’objet d’un dépôt de brevet (fig.4.15).
F
IGURE4.15 – Banc de test permettant la mise en contrainte thermique par laser
L’échauffement thermique du composant est réalisé grâce à l’interaction d’un
faisceau laser avec un des niveaux de métallisation du composant électronique. Pour
se faire, une étape de préparation par chimie permet d’enlever les matériaux
d’enro-bage. La puce, désormais à nue présente des métallisations accessibles optiquement.
F
IGURE4.16 – Illustration de la préparation subi par un composant dans un boîtier TO-247
avant utilisation du banc laser
En utilisant un laser dans le proche infrarouge sur des métallisations comme le
cuivre ou l’aluminium, une partie du flux de photons est directement absorbée par le
métal et contribue à un échauffement de la structure par effet photo-thermique et par
la thermalisation des porteurs libres du métal. Cet échauffement en surface du
com-posant contribue à générer un gradient de température dans la verticalité du boîtier
qui s’accompagne d’un rayonnement thermique dans l’air ainsi que d’une diffusion
thermique au travers du substrat puis de la semelle du boîtier.
En utilisant une source laser de quelques Watt en régime continu, il est possible
d’obtenir un niveau de température de l’ordre de 150 à 200 °C localisé au boîtier du
composant et en particulier sur la surface irradiée. Le contrôle de la température peut
s’effectuer par l’utilisation d’un paramètre thermo-sensible interne comme une
jonc-tion PN ou la mise en œuvre d’un équipement de mesure de la température
(ther-mocouple, caméra thermique...). Le laser utilisé est un laser continu d’une longueur
d’onde de 1, 5µm, d’une puissance maximale de 10 W ayant un faisceau collimaté
sur un diamètre de 10 mm. Le centrage du faisceau sur le composant est effectué par
un laser de pointage coaxial au laser de chauffage. Cette méthode permet donc de
conduire des tests à haute température sans contraindre l’électronique de contrôle
constituée des cartes, composants et connectiques qui demeurent à la température
d’ambiance du laboratoire.
Pour notre étude la puissance utilisé est de 2, 5W, ce qui nous a permis d’atteindre
une température moyenne d’environ 140 °C sur la surface de la semelle. Dans cette
version du banc de test les informations sur la température sont obtenues au moyen
d’un thermocouple positionné sur la semelle du composant. La figure4.17présente
l’évolution de la température mesurée au cours du test. On peut constater que sa
valeur varie dans une gamme comprise entre 135°C et 145°C. Cette variabilité de la
température résulte de l’imprécision de la mesure obtenue par le thermocouple mais
également de la non maîtrise de la température de la pièce dans laquelle le test a été
mené.
FIGURE4.17 – Evolution de la température mesurée sur la semelle du composant au cours du
test
La contrainte électrique appliquée sur le composant, est demeurée, identique à ce
qui a été présenté dans le chapitre précédent. Une tension continue Vg s=25 V est
ap-pliquée sur la grille alors que le drain et la source du composant sont reliés à la masse.
A intervalle régulier, une mesure de la résistance à l’état passant (RDS,ON) est réalisée
en appliquant une impulsion de 10 A pendant 100µsentre le drain et la source du
composant et en mesurant la chute de tension induite par le passage de ce courant. Le
composant est maintenu à l’état passant, pendant la mesure, par une tension VGS=20
V.
Evolution duRDS,ON
Les résultats obtenus au cours de ce test sont présentés à la figure4.18. Sur les 700
heures, la résistance à l’état passant a augmenté de 20% avec une valeur initiale de
180mΩpour s’établir à environ 220mΩà l’issue du test. Au delà, des variations dues
au bruit de la mesure, on peut constater des chutes brutales du RDS,ONautour de 200
et 600 heures de test. Ces événements peuvent sans doute s’expliquer par une
varia-tion de la température d’ambiance de la pièce dans laquelle le test est réalisé. Pour
se prémunir de ce type de phénomène il conviendra, dans une prochaine version du
banc de test, de confiner le composant testé dans un enceinte dont la température est
régulée.
Cette variabilité dans l’évolution de la résistance à l’état passant implique que le
processus Gamma ne peut plus être utilisé pour modéliser l’évolution de la
dégra-dation du composant. En effet un processus Gamma étant par définition monotone
pourprendre en compte le caractère croissant mais non-monotone de l’évolution du
RDS,ON.
FIGURE4.18 – Evolution de la resistance à l’état passant d’un MOSFET 4H-SiC au cours d’un
test HTGB avec V
GS=25 V et T
C=140°C
Dans le document
Contribution à l'étude de la fiabilité des MOSFETs en carbure de silicium
(Page 157-160)