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FONCTIONNALISATION DE SURFACE ET GREFFAGE DU PNIPAM 61

D´ eveloppement et int´ egration de la technologie PNIPAM

2.4. FONCTIONNALISATION DE SURFACE ET GREFFAGE DU PNIPAM 61

source IR détecteur

échantillon Si pointe SiO2

prisme Si mécanisme de blocage

Fig. 2.26 – Sch´ema du montage de spectroscopie infrarouge MIR `a deux prismes d´evelopp´e au cea-L´eti (d’apr`es [243]).

(´etirement) de –C=CH2`a 1639 cm1. Les contributions des groupes aliphatiques sont visibles autour de 1900 cm1. La contribution au-del`a de 3100 cm1 est attribu´ee `a l’eau r´esiduelle.

R´esultats et discussion – PNIPAM. Le spectre obtenu sur l’´echantillon de pnipam (greff´e via une couche de silane) est donn´e `a la Fig. 2.28. Le pic acrylate provenant du silane est toujours visible `a 1722 cm1. Le pic `a 1646 cm1 correspond au mode stretching de C=O (amide I) ; le pic `a 1531 cm1 est affect´e au mode bending (pliage) de NH (amide II), avec les modes stretching correspondants autour de 3300 cm1. La succession de pics autour de 2900 cm1 correspond au mode stretching de C–H aliphatique.

1500 1700 1900 2100 2300 2500 2700 2900 3100 3300 3500 -0,01

0 0,01 0,02 0,03 0,04 0,05 0,06

Nombre d'onde (cm-1)

Absorbance (u.a.)

1722Acrylate

1702

1639CH2=C

2894 2954

Fig.2.27 – Spectreir-atrd’un ´echantillon de silicium doublement poli fonctionnalis´e avec le silane tmspm.

62 CHAPITRE 2. TECHNOLOGIE PNIPAM

1400 1900 2400 2900 3400 3900

-0,05

Fig. 2.28 – Spectre ir-atr d’un ´echantillon de silicium doublement poli fonctionnalis´e avec le pnipamvia une couche d’accroche de silane.

Conclusion. Les bandes d’absorption caract´eristiques acrylate, amide I et amide II confirment la pr´esence de ces groupements, pr´esents dans le tmspm et le pnipam. Les spectres obtenus sont donc coh´erents avec la pr´esence de silane et de pnipamsur les ´echantillons analys´es. Ces r´esultats sont encourageants, mais incomplets : d’une part, la pr´esence d’eau r´esiduelle gˆene une partie des mesures autour de 3300 cm1. Par ailleurs, la limite inf´erieure de la gamme de mesure (1400 cm1) ne donne pas acc`es `a une partie du proche infrarouge. Nous avons eu l’opportunit´e de collaborer avec une autre ´equipe sp´ecialis´ee en spectroscopie infrarouge afin de consolider ces r´esultats ; ces travaux font l’objet de la section suivante.

2.4.2.3 Spectroscopie infrarouge `a transform´ee de Fourier en transmission

Principe. Le principe g´en´eral est le mˆeme que dans la section pr´ec´edente : l’´echantillon `a analyser est soumis `a un rayonnement infrarouge dont l’absorption est caract´eristique des liaisons chimiques pr´esentes dans l’´echantillon. En spectroscopie infrarouge classique (dispersive), on utilise un mo-nochromateur pour faire varier la fr´equence du faisceau infrarouge ; on mesure alors pour chaque fr´equence l’´energie absorb´ee par les liaisons chimiques. En spectroscopie infrarouge `a transform´ee de Fourier (Fourier transform infrared, ftir), on remplace le monochromateur par un interf´erom`etre, afin de mesurer une gamme compl`ete de fr´equences simultan´ement ; la transform´ee de Fourier du signal mesur´e donne acc`es `a un spectre caract´eristique du compos´e analys´e. Pour plus de d´etails sur cette technique, le lecteur peut consulter l’ouvrage complet de Brian C. Smith [245].

Protocole exp´erimental. Les travaux pr´esent´es dans cette section ont ´et´e r´ealis´es en collabora-tion avec MengLiet Yves J.Chabal, duLaboratory for Surface Modification, Rutgers University,

2.4. FONCTIONNALISATION DE SURFACE ET GREFFAGE DU PNIPAM 63 Piscataway, NJ, USA. Les ´echantillons sont identiques `a ceux d´ecrits dans la section pr´ec´edente.

Les mesures sont effectu´ees en transmission, selon deux angles. La mesure selon l’angle d’incidence de Brewster est sensible `a la fois aux composantes normales et tangentielles des modes de vibration des liaisons chimiques. La mesure selon l’incidence quasi-normale, en revanche, n’est sensible qu’`a la composante tangentielle (parall`ele `a la surface). La combinaison des deux mesures permet, une fois l’affectation des pics effectu´ee, de d´eterminer l’orientation des mol´ecules sur la surface.

R´esultats et discussion – Silane. Le spectre obtenu sur l’´echantillon de silane est donn´e `a la Fig. 2.29. L’assignation des pics aux liaisons chimiques est effectu´ee par les sp´ecialistes de la spectroscopie infrarouge. Le lecteur peut se rapporter `a la repr´esentation du silane tmspm p. 54 pour comparer les fonctions chimiques identifi´ees sur le spectreftir. L’assignation des pics permet notamment d’identifier des bandes d’absorption caract´eristiques des fonctions acrylate entre 1600 et 1700 cm1. Les pics `a 1720 et 1702 cm1sont assign´es aux vibrations destretchingde la liaison C=O dans le groupe –C=C–C(=O). Les pics `a 1640 et 877 cm1 sont assign´es aux modes stretching de la liaison C=C et aubendingC–H hors-plan du groupe –C=CH2 ([246] pp.163, 104, 106). La r´egion 1000−1300 cm1 est plus complexe ; elle contient des modes provenant de diff´erentes bandes. Elle inclut les modesstretching asym´etrique (1250−1300 cm1) et sym´etrique (1050−1200 cm1) de C–O–C ([246] p.177). Elle contient ´egalement les modes de phonons9 optiques longitudinaux (LO) et transverses (TO) de complexes Si–O–Si, form´es soit entre mol´ecules de silane r´eticul´ees, soit `a partir de la chimisorption sur la surface de silicum oxyd´ee (mode TO dans la gamme 1040−1060 cm1, mode LO dans la gamme 1150−1200 cm1). Une particularit´e importante du mode de phonon LO est son absence sur le spectre obtenu en incidence quasi-normale (Fig. 2.29 (b)) ; cela signifie qu’il est polaris´e normalement `a la surface. Deux autres contributions possibles dans la r´egion 1000−1300 cm1 sont le modestretchingde Si–O–C `a 1100 cm1 et le moderocking(balancement) de CH3 `a 1190 cm1; ces deux contributions peuvent ˆetre dues `a une hydrolyse incompl`ete du silane (Si–O–CH3).

R´esultats et discussion – PNIPAM. Le spectre obtenu sur l’´echantillon comprenant la couche d’accroche de silane et le pnipam est donn´e `a la Fig. 2.30. L’analyse ftir r´ev`ele la pr´esence de bandes d’absorption caract´eristiques des groupes amide I et amide II entre 1500 et 1700 cm1. On observe ´egalement des bandes d’absorption autour de 3000 cm1, correspondant au groupe isopropyl (se rapporter `a la repr´esentation dupnipam p. 25). Plus pr´ecis´ement, les pics entre 1500 et 1700 cm1 sont attribu´es `a plusieurs modesstretchingde CH (–CH3 et –CH2) ; le pic `a 1656 cm1 correspond au mode stretching de C=O (amide I) ; le pic `a 1535 cm1 est affect´e au modebending de NH (amide II), avec les modes stretching correspondants autour de 3300 cm1. Les bandes

`a 1460 cm1 et 1377 cm1 correspondent respectivement aux modes de bending asym´etrique et sym´etrique de CH3; la bande d’absorption `a 1460 cm1 peut ´egalement contenir une contribution des modesscissoring (cisaillement) de –CH2, qui chevauchent le mode bending de –CH3.

Conclusion. Les spectres et leur analyse confirment la pr´esence de tmspm et de chaˆınes de pnipam sur les substrats de silicium. Les mesures ont ´et´e effectu´ees sur des ´echantillons nettoy´es de fa¸con rigoureuse `a l’eau et en bain ultrasons, pour d´ecrocher les ´eventuelles chaˆınes de pnipam physisorb´ees sur la surface. On peut donc en conclure que ces chaˆınes sont chimisorb´ees sur la surface : notre chimie est efficace.

9Un phonon est un quantum de vibration dans un solide cristallin. Les branches optiques apparaissent `a partir de plusieurs atomes par maille primitive. CharlesKittelpr´esente ces notions de fa¸con approfondie dansPhysique de l’´etat solide [226], chap. 4.

64 CHAPITRE 2. TECHNOLOGIE PNIPAM

Fig. 2.29 – Spectre ftir d’un ´echantillon de silicium doublement poli fonctionnalis´e avec le silane tmspm. (a) Angle de Brewster, (b) angle quasi-normal.