• Aucun résultat trouvé

Chapitre III : Etude de couches minces organosiliciées déposées par PECVD sur supports polymères souples :

IV. C.4. Influence d’une déformation mécanique

Comme nous l’avons fait précédemment avec les monocouches, nous avons soumis les films M312 recouverts des empilements à une sollicitation de traction uniaxiale (allongement de 2%)

Les résultats des propriétés de transport d’oxygène et de vapeur d’eau sont donnés dans et la Figure III - 37 et la Figure III - 38.

Figure III - 37 : Comparaison des (a) OTR et (b) WVTR avant (initiaux) et après sollicitation mécanique (DM) (incertitude +/- 10%)

Figure III - 38 : Comparaison des propriétés barrière des matériaux initiaux avec les matériaux ayant subi une déformation mécanique

La sollicitation mécanique affecte les dépôts multicouches de manière assez importante. Cependant, sur la Figure III - 38 qui résume les propriétés de transport, on voit que les valeurs de flux à l’oxygène sont toujours significativement inférieures à celles observées avec les monocouches ayant été étirées.

L’association des couches céramiques avec les couches SiCH permet une meilleure résistance des dépôts aux sollicitations mécaniques et par conséquent permet de conserver un gain de propriétés barrière significatif par rapport au substrat polymère référence sollicité dans les mêmes conditions.

Conclusions - Perspectives

Ce chapitre a consisté en l’étude de couches minces organosiliciées déposées sur un film polymère souple par dépôt plasma. Les dépôts ont été effectués par la société IREIS.

Une première étude a été menée afin de déterminer la configuration de traitement la plus adéquate pour nos systèmes. Pour limiter la présence de défauts dans les couches déposées, nous avons choisi de poursuivre notre étude avec un dispositif plasma à source RF dont le porte-substrat est vertical. Nous avons étudié les caractéristiques structurales et morphologiques de deux monocouches : une

couche SiOx céramique et une couche SiCH, chacune déposée pour deux précurseurs différents, le

TMS et le HMDSO. Les deux monocouches déposées sur la face PET du film M312 conduisent à des propriétés de transport très différentes : la couche « oxyde de silicium » est très barrière alors que le dépôt SiCH n’a que peu d’effet sur la perméabilité. Nous avons vu que le précurseur TMS donne des dépôts plus homogènes et par conséquent confère de meilleures propriétés barrière au polymère. C’est ce monomère que nous avons choisi de conserver pour la suite de l’étude. Ce précurseur

conduit à des propriétés barrières à O2 et H2O similaires pour les deux films polymères M312 et

APP218, en dépit de la nature différente de la couche polymère (PET et polyoléfine respectivement) sur laquelle sont effectués les dépôts. Une augmentation de l’épaisseur de la couche SiOx déposée dans la gamme d’épaisseur 197 à 400 nm ne conduit pas à une variation significative des propriétés obtenues.

Nos résultats les plus intéressants ont été positionnés par rapport à ceux relevés dans la littérature : les gains de propriétés barrière sont cohérents avec les tendances relevées à partir des résultats de la littérature. Ils sont importants pour l’oxygène et nettement plus faibles pour la vapeur d’eau. Ces évolutions peuvent être en partie reliées à la perméabilité initiale du substrat polymère que nous avons considéré pour cette étude.

Les matériaux étant soumis à un traitement de stérilisation et à des déformations mécaniques au cours du remplissage des poches, il nous a paru indispensable d’étudier les films revêtus après ce type de traitement. Des films M312 traités en surface par chacune des monocouches ont subi un traitement thermique afin d’évaluer les résistances des dépôts. De même, une déformation mécanique de faible amplitude a été mise en œuvre (traction uniaxiale). Les résultats montrent que les dépôts SiCH supportent mieux ces sollicitations que la couche SiOx.

Nous avons alors étudié deux empilements siliciés afin d’associer les propriétés barrière de la couche

céramique et la résistance du dépôt SiCH. Les combinaisons multicouches SiCH/SiOx/SiCH et

SiCH/SiOx/SiCH/SiOx/SiCH permettent d’obtenir de meilleures propriétés barrière que les films

recouverts uniquement de la couche céramique. On n’observe pas de différences importantes entre les deux types d’empilements. Les gains de propriétés barrière par rapport au support initial sont de l’ordre de 67% pour la vapeur d’eau et de plus de 95% pour l’oxygène. Les films M312 traités par chaque type d’empilement ont subi un traitement thermique et une sollicitation mécanique. Les

propriétés barrière apportées par les empilements sont moins affectées par ces post-traitements que celles des monocouches, prouvant ainsi qu’il est judicieux d’effectuer des dépôts multicouches. Afin de poursuivre ce travail, une optimisation en termes d’épaisseur de chacune des couches pourrait être envisagée. Nous pourrions aussi nous intéresser à l’observation de l’apparition de défauts après les différentes sollicitations. Nous pourrions également, afin de simuler le conditionnement d’une poche de perfusion, combiner la sollicitation mécanique et le traitement thermique : les effets délétères sur les propriétés barrière s’ajoutent-ils ? Enfin, l’objectif serait de faire des analyses sur les poches de perfusion finales, ayant été remplies et stérilisées afin de voir à quel point les différents dépôts supportent les conditions réelles d’utilisation.

Références bibliographiques

1 Erlat, A. G., Spontak, R. J., Clarke, R. P., Robinson, T. C., Haaland, P. D., Tropsha, Y., Harvey, N. G. & Vogler, E. A. SiOx Gas Barrier Coatings on Polymer Substrates: Morphology and Gas Transport Considerations. The Journal of Physical Chemistry B 103, 6047-6055 (1999).

2 Alexander, M. R., Short, R. D., Jones, F. R., Stollenwerk, M., Zabold, J. & Michaeli, W. An X-ray photoelectron spectroscopic investigation into the chemical structure of deposits formed from hexamethyldisiloxane/ oxygen plasmas. Journal of Materials Science 31, 1879-1885 (1996).

3 Chatham, H. Oxygen diffusion barrier properties of transparent oxide coatings on polymeric

substrates. Surface and Coatings Technology 78, 1-9 (1996).

4 Patelli, A., Vezzù, S., Zottarel, L., Menin, E., Sada, C., Martucci, A. & Costacurta, S. SiOx-Based Multilayer Barrier Coatings Produced by a Single PECVD Process. Plasma Processes and

Polymers 6, S665-S670 (2009).

5 Hegemann, D., Vohrer, U., Oehr, C. & Riedel, R. Deposition of SiOx films from O2/HMDSO

plasmas. Surface and Coatings Technology 116-119, 1033-1036 (1999).

6 Körner, L., Sonnenfeld, A., Heuberger, R., Waller, J. H., Leterrier, Y., Manson, J. A. E. & von Rohr, P. R. Oxygen permeation, mechanical and structural properties of multilayer diffusion barrier coatings on polypropylene. Journal of Physics D: Applied Physics 43, 115301-115311 (2010).

7 Deilmann, M., Grabowski, M., Theiß, S., Bibinov, N. & Awakowicz, P. Permeation mechanisms

of pulsed microwave plasma deposited silicon oxide films for food packaging applications.

Journal of Physics D: Applied Physics 41, 135207-135213 (2008).

8 Kim, S.-R., Choudhury, M. H., Kim, W.-H. & Kim, G.-H. Effects of argon and oxygen flow rate

on water vapor barrier properties of silicon oxide coatings deposited on polyethylene terephthalate by plasma enhanced chemical vapor deposition. Thin Solid Films 518, 1929-1934 (2010).

9 Wu, C.-Y., Chen, W.-C. & Liu, D.-S. Surface modification layer deposition on flexible substrates by plasma-enhanced chemical vapour deposition using tetramethylsilane-oxygen gas mixture. Journal of Physics D: Applied Physics 41, 225305-225312 (2008).

10 Walker, M., Meermann, F., Schneider, J., Bazzoun, K., Feichtinger, J., Schulz, A., Krüger, J. & Schumacher, U. Investigations of plasma polymerized barrier films on polymeric materials.

Surface and Coatings Technology 200, 947-952 (2005).

11 Janssen, D., De Palma, R., Verlaak, S., Heremans, P. & Dehaen, W. Static solvent contact angle measurements, surface free energy and wettability determination of various self-assembled monolayers on silicon dioxide. Thin Solid Films 515, 1433-1438 (2006).

12 Theelen, M., Habets, D., Staemmler, L., Winands, H. & Bolt, P. Localised plasma deposition of organosilicon layers on polymer substrates. Surface and Coatings Technology 211, 9-13 (2012).

13 Benmalek, M. & Dunlop, H. M. Inorganic coatings on polymers. Surface and Coatings

Technology 76-77, Part 2, 821-826 (1995).

14 Yang, L., Chen, J., Guo, Y. & Zhang, Z. Surface modification of a biomedical polyethylene

terephthalate (PET) by air plasma. Applied Surface Science 255, 4446-4451 (2009).

15 Balart, J., Fombuena, V., Boronat, T., Reig, M. & Balart, R. Surface modification of

polypropylene substrates by UV photografting of methyl methacrylate (MMA) for improved surface wettability. Journal of Materials Science 47, 2375-2383 (2012).

16 Leterrier, Y. Durability of nanosized oxygen-barrier coatings on polymers. Progress in

Materials Science 48, 1-55 (2003).

17 Felts, J. in Proceedings of the Society of Vacuum Coaters, 34th Annual Technical Conference.

18 Hedenqvist, M. S. & Johansson, K. S. Barrier properties of SiOx-coated polymers: multi-layer modelling and effects of mechanical folding. Surface and Coatings Technology 172, 7-12 (2003).

19 Wuu, D. S., Chen, T. N., Wu, C. C., Chiang, C. C., Chen, Y. P., Horng, R. H. & Juang, F. S.

Transparent Barrier Coatings for Flexible Organic Light-Emitting Diode Applications. Chemical

Vapor Deposition 12, 220-224 (2006).

20 Howells, D. G., Henry, B. M., Leterrier, Y., MÃ¥nson, J. A. E., Madocks, J. & Assender, H. E. Mechanical properties of SiOx gas barrier coatings on polyester films. Surface and Coatings

Technology 202, 3529-3537 (2008).

21 Inagaki, N., Tasaka, S. & Nakajima, T. Preparation of oxygen gas barrier polypropylene films by deposition of SiOx films plasma-polymerized from mixture of tetramethoxysilane and oxygen. Journal of Applied Polymer Science 78, 2389-2397 (2000).

22 Liu, Z., Sun, Z., Ma, X. & Yang, C. L. Characterization of Composite SiOx/Polymer Barrier Films.

Packaging Technology and Science 26, 70-79 (2013).

23 Väsko, K., Noller, K., Mikula, M., Amberg-Schwab, S. & Weber, U. Multilayer coatings for

flexible high-barrier materials. Central European Journal of Physics 7, 371-378 (2009).

24 Fahlteich, J., Fahland, M., Schönberger, W. & Schiller, N. Permeation barrier properties of thin oxide films on flexible polymer substrates. Thin Solid Films 517, 3075-3080 (2009). 25 Amberg-Schwab, S., Weber, U., Burger, A., Nique, S. & Xalter, R. Development of Passive and

Active Barrier Coatings on the Basis of Inorganic–Organic Polymers. Monatsh. Chem. 137, 657-666 (2006).

26 Zhang, G., Chen, Q., He, C. & Zhang, S. The Morphology of SiOx Coated PET Film by Ultrasonic Atomic Force Microscopy and Barrier Properties. Advanced Materials Research 295-297, 1600-1605 (2011).

27 Scopece, P., Viaro, A., Sulcis, R., Kulyk, I., Patelli, A. & Guglielmi, M. SiOx-Based Gas Barrier Coatings for Polymer Substrates by Atmospheric Pressure Plasma Jet Deposition. Plasma

Processes and Polymers 6, S705-S710 (2009).

28 Lin, M. C., Tseng, C. H., Chang, L. S. & Wuu, D. S. Characterization of the silicon oxide thin films deposited on polyethylene terephthalate substrates by radio frequency reactive magnetron sputtering. Thin Solid Films 515, 4596-4602 (2007).

29 Creatore, M., Palumbo, F., d'Agostino, R. & Fayet, P. RF plasma deposition of SiO2-like films: plasma phase diagnostics and gas barrier film properties optimisation. Surface and Coatings

Technology 142–144, 163-168 (2001).

30 Walther, M., Heming, M. & Spallek, M. Multilayer barrier coating system produced by

plasma-impulse chemical vapor deposition (PICVD). Surface and Coatings Technology 80, 200-202 (1996).

Chapitre IV : Elaboration de nanocomposites à