CHAPITRE VI : Etude thermodynamique du système quaternaire Pb-Bi-Fe-O
VII. Elaboration de revêtement par la technique de pack cémentation
VII.1. Aspects thermodynamiques du procédé de pack-cémentation
pack-cémentation
Les réactions chimiques se produisant d'une part entre les éléments de l'alliage donneur et
l'agent activant, et d'autre part entre la phase vapeur créée et le substrat, se déroulent en
régime quasi-stationnaire assurant ainsi l'établissement d'équilibres locaux. De ce fait, la mise
en œuvre de calculs thermodynamiques permet de prévoir la composition de la phase vapeur
ainsi que celle de la première couche du revêtement déposée sur le substrat. Cette approche
est rendue possible grâce à l'emploi des logiciels tels que GEMINI (1 et 2), HSC, thermocalc,
etc.... Les calculs réalisés dans ce domaine ont notamment permis de déterminer la nature et la
quantité des produits formés à partir des réactifs spécifiques (alliages donneurs et agent
activant particuliers) et ainsi d'optimiser la composition des packs et des conditions de
traitement mises en œuvre.
VII.1.1. Choix de l’alliage donneur (masteralloy)
Les activités de l'halogénure gazeux dépendent des réactifs impliqués dans la formation des
halogénures (Eq. I−10 – I−12) et sur le type de source métallique mélangé dans la poudre du
cément.
Tous les exemples cités précédemment, montrent que la structure des dépôts dépend
directement de la composition des masteralloys. Ce point particulier a été discuté par Da
Costa et al.
71,72dans le cas du co-dépôt Al−Cr suivant que le processus s'effectue en haute ou
basse activité. En effet, afin de réduire l'activité des sources métalliques pures constituant des
packs d'activité maximum, des alliages contenant l'élément désiré sont généralement mis en
l'activité du Cr pur, notamment de façon très importante à partir du premier alliage : les
éléments Al et Fe agissant en tant que "neutralisants" pour produire de basses pressions
partielles des halogénures de chrome
73.
VII.1.2. Choix de l’activateur
L’activateur est le réactif déterminant dans la réaction de formation des halogénures
métalliques. D’un point vue général, un activateur instable donne un halogénure avec une
haute pression partielle. Kung et al.
74ont comparé l’efficacité des activateurs de NaCl, AlCl
3,
NaF, AlF
3et Na
3AlF
6et sont arrivés à la conclusion que les sels fluorés entraînent la
formation d’halogénures avec des pression partielles plus élevées que leurs homologues
chlorurés. En outre, la pression partielle en général diminue en utilisant les sels de bromures
ou d’iodures
75. Ainsi, dans certaines applications précises telles que le co-dépôt de Al−Cr,
pour les quelles l’utilisation des fluorures ne permet pas d’obtenir des pressions partielles de
Cr et de Al comparables, condition indispensable au co-dépôt, il est fait appel aux chlorures
qui permettent au contraire de vérifier cette condition
76.
Si le co-dépôt de Cr et de Si est envisagé, les résultats des travaux de Rapp et al.
77indiquent
qu'il n'est possible que si les pressions partielles de leurs halogénures ne diffèrent au plus que
d'un ou deux ordres de grandeur. Afin de définir les conditions optimales de co-dépôt, ces
auteurs ont déterminé par calcul la composition de la phase vapeur en équilibre avec les
alliages binaires Cr
xSi
(1-x)où 0 < x < 1, dans le cas d'une activation par NaCl et NaF. Leurs
résultats montrent que l'aptitude au co-dépôt d'un alliage particulier ne dépend que de la
nature de l'agent activant. En l'occurrence, l'alliage binaire CrSi-CrSi
2produit des flux égaux
de chrome et de silicium s'il est activé par NaCl et en revanche, il devient uniquement
(a) (b)
Figure I−−−−21 :
Pressions partielles à l'équilibre des halogénures métalliques pour des cémentations réalisées à
partir d'un cément Cr-Si activé par NaCl (a) et NaF (b) à 1323 K (Log(aSi)= -1,5 pour CrSi-CrSi2)Il apparaît ainsi que le choix du couple alliage donneur-agent activant rend possible ou non le
co-dépôt de métaux, en gardant en mémoire que les halogénures les plus réactifs sont par
ordre décroissant : F
-> Cl
-> Br
->I
-.
Enfin pour que le co-dépôt soit effectif, il est nécessaire que la phase gazeuse ainsi formée
soit soumise à un gradient d'activité. Ceci est illustré par la figure I−22 où le co-dépôt de Fe et
Cr est envisagé sur une surface de Fe
78.
Figure I−−−−22 : Evolution des activités élémentaires et des mécanismes réactionnels. Pour déposer du fer et du chrome il faut que les activités, et donc les pressions partielles, des espèces gazeuses soient supérieures à celles
VII.1.3. Choix de la température du procédé
Toutes les réactions se produisant durant les dépôts sont thermiquement activées. Par
conséquent, la température du processus influe directement sur la formation des halogénures
gazeux et leurs décompositions. Les logiciels de calcul thermodynamique (HSC ou autres)
mentionnés précedemement permettent aussi d’évaluer l’effet de la température. L'exemple
d'un pack activé par le chlorure d’aluminium est donné sur la figure I−23. Comme on peut le
constater, les pressions partielles des différents chlorures dépendent de la température, en
particulier, le chlorure majoritaire passe du trichlorure au monochlorure à 800°C. Ceci
suggère que le dépôt d’aluminium est plus favorable après ce seuil de température, dans la
mesure où la réactivité de AlCl
(g)est supérieure à celle de AlCl
3(g). Parallèlement, il apparaît
qu'à basse température le dépôt d'aluminium reste possible par le biais d'espèces plus stables
telles AlCl
3(g)ou Al
2Cl
6(g)quide plus, permettent d'expliquer les plus faibles vitesses de dépôt
constatées.
Figure I−−−−23 : Pressions partielles à l’équilibre des halogénures métalliques dans une aluminisation activée par CrCl3