ETUDE DE LA RECRISTALLISATION DE L'ALUMINIUM : CINEMATIQUE DE LA CROISSANCE D'UN GROS CRISTAL DANS UN MILIEU HOMOGENE ET HETEROGENE, MECANISME DE LA FORMATION DES MACLES DE CROISSANCE

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HAL Id: jpa-00219876

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Submitted on 1 Jan 1980

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ETUDE DE LA RECRISTALLISATION DE L’ALUMINIUM : CINEMATIQUE DE LA

CROISSANCE D’UN GROS CRISTAL DANS UN MILIEU HOMOGENE ET HETEROGENE,

MECANISME DE LA FORMATION DES MACLES DE CROISSANCE

J. Gastaldi, C. Jourdan

To cite this version:

J. Gastaldi, C. Jourdan. ETUDE DE LA RECRISTALLISATION DE L’ALUMINIUM : CINEMA-

TIQUE DE LA CROISSANCE D’UN GROS CRISTAL DANS UN MILIEU HOMOGENE ET HET-

EROGENE, MECANISME DE LA FORMATION DES MACLES DE CROISSANCE. Journal de

Physique Colloques, 1980, 41 (C3), pp.C3-288-C3-288. �10.1051/jphyscol:1980357�. �jpa-00219876�

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c3-288

JOURNAL DE PHYSIQUE

techniques u t i l i s é e s e t des p r o p r i é t é s physiques ETUDE DE LA RECRISTALLISATION DE L'ALUMINIUM : d e l a s t r u c t u r e magnétique observée. CINEMATIQUE DE LA CROISSANCE D ' U N GROS CRISTAL DANS

UN MILIEU HOMOGENE ET HETEROGENE, MECANISME DE LA ( 1 ) J . MILTAT e t M. KLEMAN, J . Appl. P h y s i c s , à FORMATION DES MACLES DE CROISSANCE.

p a r a î t r e (1 980). J . GASTALDI e t C . JOURDAN

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^Max Plank I n s t i t u t f ü r F e s t f o r p e r f o r s c h u n g , C e n t r e d e l a Recherche s u r l e s Mécanismes de l a S t u t t g a r t . Croissance C r i s t a l l i n e

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C e n t r e S c i e n t i f i q u e

d e St-Jérôme, 13397 M a r s e i l l e Cedex 4, France.

Par s a grande puissance l e rayonnement synchro- DEFORMATION PLASTIQUE DE BICRISTAUX DE GEKMANIUM-

ETUDE DYNAMIQUE EN RAYONNEMENT SYNCHROTRON POLY..

CHROMATIQUE.

A. MATHIOT

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^M.O. GAY

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P. DEBRENNE Département d e M é t a l l u r g i e - SEM - CENG

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^85X- 38041 Grenoble Cedex.

Un a p p a r e i l d e micro déformation à chaud en t r a c t i o n a é t é mis au p o i n t pour u t i l i s e r l e s p e c t r e blanc du rayonnement synchrotron. L ' i n t é - rêt de t e l l e s expériences dans d e s b i c r i s t a u x , o u t r e l ' i n t e n s i t é q u i permet l e s u i v i en dynamique du g l i s s e m e n t d e s d i s l o c a t i o n s , r é s i d e dans l a p o s s i b i l i t é d ' o b s e r v e r simultanément l e s deux c r i s t a u x en présence à l ' a i d e de deux longueurs d'onde du f a i s c e a u i n c i d e n t . Le développement d e l ' e x p é r i e n c e e s t s u i v i en c o n t i n u par un système de t é l é v i s i o n e t l e s i n f o r m a t i o n s i n t é r e s s a n t e s s o n t e n r e g i s t r é e s s u r plaques n u c l é a i r e s avec une m e i l l e u r e r é s o l u t i o n .

Les premiers r é s u l t a t s obtenus à LURE (Orsay) s e r o n t p r é s e n t é s . I l s concernent d e s lames b i - c r i s t a l l i n e s d e germanium contenant un j o i n t d e f l e x i o n symétrique ( r o t a t i o n de 22.62" a u t o u r de (001), i n d i c e d e macle L = 13). Les é c h a n t i l - l o n s s o n t des p l a q u e t t e s r e c t a n g u l a i r e s (zone u t i l e : 10 x 5 x 0 , 2 mn) dans l e s q u e l l e s l e j o i n t , p a r a l l è l e à l a d i r e c t i o n d e t r a c t i o n , f a i t un a n g l e d e 33" avec l e p l a n d e l a lame.

Ces premiers r é s u l t a t s , obtenus e n t r e 400 e t

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t r o n permet d e s u i v r e par topographie X en rayonnement blanc l a p r o g r e s s i o n d'un c r i s t a l m é t a l l i q u e en cours d e r e c r i s t a l l i s a t i o n . C e t t e p r o g r e s s i o n e s t t o t a l e m e n t d i f f é r e n t e s e l o n que l e c r i s t a l s e développe dans une m a t r i c e hétérogène ( r e c r i s t a l l i - s a t i o n a p r è s é c r o u i s s a g e - c r i t i q u e r e c u i t ) ou homo- gène ( r e c r i s t a l l i s a t i o n aux dépens d ' u n e t e x t u r e ) . Dans l e premier c a s l e j o i n t d e r e c r i s t a l l i s a t i o n t r o u v e d e s o b s t a c l e s à son déplacement, q u ' i l peut ou ne peut pas aborder ; c e r a l e n t i s s e m e n t ou c e blocage d e l a c r o i s s a n c e e n t r a î n e l a c r é a t i o n d e d é f a u t s c a r a c t é r i s t i q u e s d e l a c r o i s s a n c e en phase s o l i d e (1) (2). Dans l e deuxième c a s ( c r o i s s a n c e dans un m i l i e u homogène) l e c r i s t a l n e r e n c o n t r e pas d ' o b s t a c l e e t l e j o i n t d e g r a i n p r o g r e s s e r é g u l i è r e m e n t aux dépens d e l a t e x t u r e . Son o r i e n - t a t i o n n ' e s t pas quelconque mais dépend d e l a r e l a - t i o n d ' o r i e n t a t i o n e x i s t a n t e n t r e l a m a t r i c e e t l e c r i s t a l d e r e c r i s t a l l i s a t i o n .

Au c o u r s d e l a r e c r i s t a l l i s a t i o n nous-avons pu a u s s i observer e t montrer l e mécanisme d e l a forma- t i o n des macles d e c r o i s s a n c e e t s u i v r e l e mouve- ment des d é f a u t s dans l e p l a n d e macle ( 3 ) .

(1) J. GASTALDI e t C . JOURDAN, Phys. S t a t . Sol.

( a ) ,

2,

529 (1978)

( 2 ) C . JOURDAN e t J . GASTALDI, S c r i p t a Met.-, 55 (1979).

( 3 ) J . GASTALDI e t C. JOURDAN, Phys. S t a t . S o l . ( a )

z,

139 (1 979)

.

440°C po;r des c i s s i o n s r é s o l u e s d e 5 à 15 MPa montrent e s s e n t i e l l e m e n t que l e s c o n d i t i o n s expé- r i m e n t a l e s sont a c c e p t a b l e s e t que l ' o n peut

s u i v r e l e glissement d e d i s l o c a t i o n s i n d i v i d u e l l e s LITHOGRAPHIE PAR RAYONS X ou en groupe dans l ' u n e t l ' a u t r e c r i s t a l . A c e Bernard FAY e t Jacques TROTEL

s t a d e d e l ' é t u d e aucun r é s u l t a t q u a n t i t a t i f ne s e r v i v e d e Microlithographie-THOMSON-CSF, Domaine peut e n c o r e ê t r e avancé mais on observe t o u t e f o i s d e C o r b e v i l l e - 91401 Orsay.

que :

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un système d e g l i s s e m e n t dans l ' u n d e s g r a i n s e t deux dans l ' a u t r e s o n t a c t i v é s e t o n t pu ê t r e i d e n t i f i é s .

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l e j o i n t semble j o u e r l e r ô l e d e s o u r c e d e d i s - l o c a t i o n s , au moins dans l ' u n d e s g r a i n s e t l e s d i s l o c a t i o n s d e j o i n t jouent un r ô l e a c t i f dans

l a t r a n s m i s s i o n de l a déformation.

Des e x h é r i e n c e s complémentaires s o n t en c o u r s pour é t u d i e r l ' i n f l u e n c e des paramètres géométri- ques, d e t a n p é r a t u r e e t d e c o n t r a i n t e s u r c e s phénomènes.

La l i t h o g r a p h i e par rayons X f a i t p a r t i e d e l ' a r s e n a l d e s moyens l i t h o g r a p h i q u e s modernes q u i o n t é t é développés c e s d e r n i è r e s années dans l e but d ' a c c r o î t r e l a r é s o l u t i o n du p r o c e s s u s l i t h o - graphique.

Le g a i n en r é s o l u t i o n permet d ' e n v i s a g e r l a f a - b r i c a t i o n d e c i r c u i t s i n t é g r é s ou composants p l u s denses, p l u s complexes e t p l u s r a p i d e s .

La l i t h o g r a p h i e par rayons X u t i l i s e d e s rayonsoX mous d e longueur d'onde comprise e n t r e 4 e t 50 A. c ' e s t l e moyen l i t h o g r a p h i q u e q u i o f f r e p o t e n t i e l l e m e n t l a r é s o l u t i o n l a p l u s é l e v é e avec d e s l a r g e u r s minimum d e t r a i t de l ' o r d r e du dixième d e micron.

L ' u t i l i s a t i o n du rayonnement s y n c h r o t r o n en m i c r o l i t h o g r a p h i e par rayons X permet d e r é s o u d r e

en grande p a r t i e l e s problèmes d e s o u r c e d e rayons X mous a i n s i que d ' o b t e n i r avec l'anneau d e s t o - ckage AC0 ( U n i v e r s i t é d'Orsay), d e s r é s u l t a t s remarquables s u r l e p l a n d e l a r é s o l u t i o n .

Article published online by EDP Sciences and available at http://dx.doi.org/10.1051/jphyscol:1980357