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Couches supportées et membranes ultraminces à base de silicium : fabrication et spectrométrie raman-brillouin

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Academic year: 2021

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Figure  2-4 :  Spectres  simulés  d’une  membrane  de  silicium  de  30nm  (température  ambiante et  λ i  =413.1 nm)
Figure  2-6 :  Spectres  expérimentaux  et  simulés  en  rétrodiffusion  (BS)  et  en  diffusion  en  avant  (FS)  d’une  membrane  de  silicium  de  31,5  nm  ( λ i =413,1  nm  et  la  résolution
Figure  3-1 :  Les  différentes  étapes  technologiques  de  la  fabrication  des  membranes
Figure 3-6 : Le générateur de dessin (Pattern Generator) utilisé pour insoler les motifs  du masque
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