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Adaptation of a dry metalorganic chemical vapor deposition (MOCVD) metallization process to a wet chemical pretreatment of polymers

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Academic year: 2021

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OATAO is an open access repository that collects the work of Toulouse researchers and makes it freely available over the web where possible.

This is an author-deposited version published in : http://oatao.univ-toulouse.fr/

Eprints ID : 18410

To link to this article : DOI: 10.1116/1.4986052

URL : http://dx.doi.org/10.1116/1.4986052

To cite this version : Zhang, Anne and Addou, Fouzi and Duguet, Thomas and Caussé, Nicolas and Vahlas, Constantin Adaptation of a dry metalorganic chemical vapor deposition (MOCVD) metallization process to a wet chemical pretreatment of polymers. (2017) Journal of Vacuum Science and Technology A, vol. 35 (n° 6). pp. 061101-061107. ISSN 0734-2101

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