Excitation multifréquence dans les décharges capacitives utilisées pour la gravure en micro-électronique.
215
0
0
Texte intégral
(2)
(3)
(4) !" #%$'&(*),+.-0/1)3254768&9$:2;)=<>$:2@?A(*),&CB.D1E;F'+.) G9HJI*KMLONCP7LOQRITS U VXW,Y L[Z]\_^a`_^ YbU PON YRc N Y dH Ne fhgi'jdjkimlTi'nog5p q rtsvuwyx=wyu]z|{ } ~wyu]:y ~t{s x{ ] tsx> svxxsvuwyu ~w>u,,u, z~t ,x x ~t> { } u,syz ]sw>>z|{u,~t. V_Y ^ Y \,Q^]\d^aP7^¡ ^\d`¢L£ *¤ ^ c¥ e¦^§C¨©¨]ª «X¬M®;¯°²±´³d¬µ¶µ¶·¸¯®.¹»ºA¬¼M¼½R®@±;¯M®¾ Ì'ͬµ¶·¸ÎÐÏ'¬RÑ;Ñ;½RM°M·d¹»ºA¬¼M¼½R®@±;¯M®¾ Ò]¯®;¯kº´½²ÙÚ¬:·¿Ã¬Ë¬®@®;½²ÙÚ¬RÑ:¹»Ò,®;ÛÔÑ@·¸ÎM¯°²±,ÎÄÜÝM®@Þ¾ Ò,¬RÑ;ÙÚ¬µ*¿¢Í¬Ë¯®@±´¹»ßA·¶®;¯ÔÙ±;¯M®_ÎM¯Ã±@ÍãÔÑ;¯5¾ Èä·¶µ¸¯ÔÑ:ÇM®@°¯® ºÄÛæ ·©ßAÑ;ÑÕ¬®@± ¿¢ÍM®;·¶Ñ;±;½R¼Mͯê«X¬ë. ¿AÀÁº ¿ÃÂĺ'Å"Æ¢«!ÇJÈÉÊ'®;¯°½RËMµ¸¯ Ò,®;½Ó»¯ÔÑÕÑ;¯M®JÆdÖ1ÀMÒ]¬®@·¸Ñ:×'Ø@Ø;Ø ß1ÀÁºT¿kÂĺ'ÅAÆCà_ÙÀÒ9½Rµ¶Þ!±;¯ÔÙÕÍM°M·¸á⯠¿'À º¿ÃÂĺ'ÅÆ©à_ÙÀÒ9½Rµ¶Þ!±;¯ÔÙÕÍM°M·¸á⯠Ò_®;½Ó»¯ÔÑ;ÑÕ¯M®ÃÆ¢ßAMËMµ¶·¶°o¿¢·¶±[ÞåÖ1À Èç¿kèyÆkÊ'ºÄà_ÈäØ ÉéÄ®@µ¸ÛÔ¬°Ñ Ò,®;½Óì¯ÔÑ;Ñ;¯M®íÆ¢à_ÙÀ¿k¯°²±@®Õ¬µ¸¯.
(5) î.
(6) ïiêð i'jkñAg5iêð iêòôódõ !ö ¡ ø÷ ùÐ ú 1û ùÐ .aük ! ú !JýAC ! þ¢ÿOø*ú M ú 1 .
(7) M ø þ¡úå 1 1 ² ² > ÿ7 ! åÿ .
(8) ük ² úR ² . . . þ Ä ! " ! ú", ! ùÐ ' AÿOÐ !ôk ² . . . ùä !k ! ÷ 1ùä :d þ 1ê ää ùä úäo ù "
(9) o!ùå ¡ÿO úú ! o
(10) M ùÐç ² ²] úÔ úÚ¡ "ú! C ² ! ç5 C ² C ² y ú
(11) M !ùÐø÷çö!R ! "!,$ ú # !ùåC ² 1 úåþ% & !d ² !
(12) !øùo ä ùä !
(13) " þ, ù ô !ú ! !
(14) ê » !ç
(15) ! þ' ö!> ä÷û ùÐ ú äö!R !) (" !
(16) b> úÚ úÔý+*#-, þ. ùС*Ð !0 " íÿ7 ! Ð> ² 8 C ! Õ ç> ùÐ Ð ! .ú> ûú ú5 00
(17) !ú ÐúR ² C !ú ÿ.&ú / þ8þ1 0ä2 !5Ð>ùÐÐ úÔ úÚ. *
(18) ùÐ ! 3 y úd÷ÐüJ 5 4.6 /8 !ùÐ Õ â y
(19) ! ÿO ùä â þ A 7 1ÿO êøö!R ² ;ük ²8 , ÿ7 !y ú 9 ùÐ1ùÐ
(20) úR ²ú 5
(21) ú ú 8y ! ² ' y úb÷%ö!R ! " ! ú$# =vù a !úú ¡ !h » !! ² !_üJêü8: y úC÷ ý' ² ;/<1 ;ü¢ ýA ÿ7 5=9 !?>@ ! A¢ þ þd! ÿ7 ! 6 @ AÐúR !ú
(22) 51 M ! . úÔC ! ê ! ú5. !ùÐ Õ â ÿì'
(23) .÷ô8 ² ²9 B . y úC÷5C ED´ !F1 G Ä&åùÐå ú5 ÃùÐ ²k !ô ô2IHJú ü¢J/úÔþÐþJùK ÿ7 ! "
(24) ú!6 úÐ ô !T úÔC !MùÐM ùä ! "» ô !ú!ú59 B
(25) . y ú÷1L© ! úE ' ! ! 4. /M!,ùä !
(26) úÔC !5¢ýA ?LC 5_ùÐùå Ä
(27) úN1ú5 !´A2IHJúÄü¢!9/úÚþAþ*M¢ÿ7 ! ¢
(28) M ! ùТ¡ ² ² ùä ! þC !B . H: O ¡ ùÐ ú ùå ¡øùäùå 1åùÐF ./y¡ ÷ä EC C ! <P. ! !_ ! ED´ ² ü¢ Q# ú øý' !C ! úR ² y kd #ê
(29) ùÐR1 ! Õ ýA Õ S!_ ! 8.ük ² úR ²¢ýA ! Õ . !ö C ! ! ] ùÐ ú '2 ùåøø ' 8» ! ¡
(30) ! " ùä !" úôþ%& ²k C !
(31) ô ø !
(32) "*ú 3_ö! T.
(33) ² ²_ú!ùäùÐú _ C ² d : ÄüG#Q4O(S ²þ3& ² C ! Õ !& y ú÷-( ! 5 (" ! ./ !_ ! !,C HJùÐ 4. U4.B8HJ ä ùÐ úÐb ü HGH0 úùÐ
(34) ø VøJ * ;W ,*
(35) ! C" ² ü¢ ! ö! ýA» !» ¡5 G 4.!' X y úÄK ÷ ,*C HJ
(36) Ný / .ùä þb5¡ük ! ú !b >@=5 + 0C ö! ! !,
(37) 8.üJ ø> Yü ZP-[H1 . .ø
(38) "
(39) M ! ùÐN A þY& !ú3]! /
(40) ø !MùÐÄ !
(41) Äê ´þE ´ ! ©÷" ùä ú ÷" GLC Z 7O!@/ ük ! *. ú !O A ú ýA! ùä !ú 1 ! !C^ O!.úÔú ² ,*
(42) C !Õ_ 1 ' ² ùo å * ú» ²êüJ ` \. y úd
(43) M ! ùÐM. ! > þd`
(44) 5Ô ! M. C ² y» !! ² 5.þ_
(45) Ô ²
(46) ÷ùä o C !úôå åø C ² ú ùä1÷a A C ! HJ J ! # úÚC ² ük ! ö! » D1
(47) !þ ! » ! b5 LC !c b! * ú» ² ý H?4 41 !a + !_!" Õö! >5O 41C' d2 . y úA ! Ä X! ¡ äùä ! J0CþÐ !åþA y9´ùo > * !úä Oùä ú_÷л ôÔ ² S*. ú ! üJ 8. úÔC !ùÐ C ! !
(48) ! Q ²ùÐM y úX Ä2 ! êH: ! A C !5 ý' ² ; / ýA ÿ7 ö! » Dø
(49) þ 5O 41CB d . .b
(50) ùä'ùä úC÷ ùä 1ÿ7 !ùÐ A Jù k ÷ G A C ² ² 41 !,ú 5´ùo 1Ô !MQ4. þ© Ð JÐú !´ !úÔ
(51) ! ùÐ ²êúú ! & \. y úk
(52) M ²ùÐMø÷o ø 1 øþ & !¢ ú
(53) ô÷ük ! 1øþk ÿ7 ! .þå !Meä !
(54) øùä få÷oük ! .
(55) ! 1 B%\.a 1 !aùÐ ú ÷ H: ! @ F. g.
(56) hji)k. lnmpo:qar. qfs. t^lvuwfxzy tKs-y;m|{vr. . f 7ùf} ! ø
(57) ú 4. A. 1 !
(58) . αo. ² !. ! ÕT » C ²ÿO
(59) þú0T» C ! vÿO
(60) þú #. α. @. α = ωhf /ωbf. ýAAÐú. α∗. ] ² ùÐMê
(61) þF 7ù. @ ~. −1 . @ú >ùä !
(62) þf 7O >. B. ! ÕoM y» T
(63) yú !MC ²>ÿO
(64) þúao»
(65) ""ú! !M C ! "ÿO
(66) þú β = J /J #. β. hf. 1
(67) C ! !
(68) þF 7ù . β∗. −1 . ý' ! C ²ú
(69) C ² y
(70) T | 2LN ù$ !ÿ C , C , C , C L?. C0. m. c. Load. T une. Block. 1 " ôùä øC ! [ T D. γ. ýA! ! " ! C ! M â! 7ù. Γ. ýÄ*AÐú "
(71) C*!. 2d. ¢ ! 1y » !ùo Où. δ e. × . 8. J C ! " !y>ú! $ 7ù7 ýAC ! "
(72)
(73) ùÐMÔ ! F Ýý1 Jú D: D5 H. B . ù . −1 . H. eV Ei. bf. C. J "!þF 7DM H. e. δ = c/ωpe.
(74) ýAC ²ùä "
(75) ú þQ D< ù E !ùä E úÔC !ùÐ " ! ! 0 úÔC !ùÐ *» ² E úÚC ²ùä 0 C ! yÿO
(76) þrú Ez hf úÚ !ùÐ >C ! "ÿO
(77) þú E. E. bf. ýA! !
(78) ú5 þj 2L ù ε ùÐ J
(79) y
(80) ú5 þ * 26:e × ε 7 !ùä : ε0 O
(81) ú5 þ. ε. p. b. J
(82) ú ! » 0ú
(83) ² =@ C ²
(84) ú @ ! 7DM H. εT. C
(85) þú @ *ú Ô ² P- L. f. ýAúÔ ²ú C !
(86) " 2, ù$. G0. . ! ô 8 a
(87) > !vú 8 ! ùä a5b» a
(88) !>JR !8 2
(89) ú : h = 0.86 #. hl. l. :þJ² ! Mä h !ÿøþ@ 3 ! Ð>»
(90) y ! " ôC ² l
(91) ú5 þ .â !1÷ôú0C ê ! ùä i. H. hr. hr = . @
(92) ">úÔC !ùÐ >ùä !
(93) þf 4S ù .
(94) ""ú !MU 4S ù$ . . 2P-L?. Jhf. Jbf. k ç þf 4S ù$ } L. Ji. :ú D. k. @. 7 k = 2π/λ . ýAAÐú . Kiz. L0. i. ýA !MU 45. J. 2l. 0.8 4+ λR. >. H I. 3+ λl. @. k0. . . ² Où 3 .. 1ÕÔ !ú"
(95) ú f 7ù7 . >@ú5Ô !ú> C ! ô
(96) çç ! 2P ù !ÿ L , L , L , L 2P m. T une. Load. Comp. . . +L?.
(97) , ê@ ! 7ù7 !. λ. . . , C ! ú ùÐ/> ! 7ù7 !. λi. _! ê" » ² ç 2
(98) F 7ù7 !. λe. ! 7 ; . m. me. 7
(99) ú . ü¢ ùÐ
(100) R !
(101) ø g. µ0. × . mi. O . ²ù. P 7. 1
(102) ø1 C ! Õú[ 7ù n O
(103) ú5 ! n O! i O 7
(104) ú ²>eú > ! ùä : n n . n. g. ν. λ0. 0. C
(105) þú´Jú !? 7 !P- ν O
(106) ú5 ! @ 7
(107) ! þ 5 7 ² *ú Ô âm ν ... L. inel. üJ | 7d . p. üJ !ú P #-LE P 7 ú5
(108) P 7
(109) C
(110) úÔ 7
(111) P RF #-LE P in [ !
(112) : C ! ]ref ,
(113) ú Pdis RF e 7 b C !
(114) ú 7 ú5J Pind Ploss OúR ² C !ú J P. P. cap. ük ! ú[>@ýA. P IC. üJC ² 7 φ = ωt. φ. ü¢! " v M ! ûTúÚ ! T@ C !ú ODM ! M]ùo * ùo ²Xùä /> ô !ø"úÚ ! "` C !ú Φ. Φ. m. k Où L. Q r. r. C. text−2 . text−1 . 1ÕÔ !úO 7ù7 ú ø C ! ! k÷2 *Ã,
(115) ú >
(116) !ùä
(117) 5 ú/ þ . . Où r /"J 'úÃJ» A Y Y 1! />b0C] ô!ú "" ô !S G "1! r # / f. ¡. .
(118) . >
(119) ú5 ú ú ! M 7ù7 # /. R. s.
(120) ÕÔ !ú" C ! ê
(121) " Ω ù #. R0. ¢ ! 1"» å M ! "úÔC ! !"@ C ²ú Où s ! >ùo ùo ² m. Ô ²C ! ýAú ýA ùÐ a >* ! ùÐM
(122) =ú ùÐ ú C ! yùÐû@ = M B !ùÐ
(123) ÷b ô ! ² ùä!
(124) þ ,. sccm. * ÿ7 ²ú""» å S Y 1!S 7ù ,. S. 1
(125) ùÐ/"" !ú7 ¢ ù$ } . T. dùÐ
(126) â 7 7DM . τ. dùä S 7'8 ! C ! ú. Ti. O. 1 Aù£ 7ù D. ü¢! Y DM'!8 üJ ² f O !@ ω ² ! ùä '
(127) ú5 þ ² ø ! ùä Apeþ ω ² ø@ *ú ² ωpi RF â! L ω ² PL ω bf. hf. @ùÐ
(128) C ²ú"úR ! !ú
(129) þ Ω >. Z0. Y. 7
(130) ú5 ! . ø 7ù .. uB. Z. Te. D. u, v. ω. }. . S. V. . @ùÐ
(131) !ú" C !
(132) " ! Ω ù >. . ùÐ Ô !ú C !
(133) "! 7ù¤ Ω 4. . .
(134) x§¦] ¥. §. ©. t. }. x=wyu@¨ >. Qe ¢` \dK!Q¦L >@M ú vSSSSSSSS î >
(135) úR ²ùä" ! " C ! » ² ùä SSSS T #ê
(136) R ²ú ® SSSSSS g HÃ ² "2 ! Õ>
(137) R ²ú êúR ! C ²ú ^ ÿ SSSS g #ê
(138) ùä5 HJ ú ÕÔ ² þ_ SSSSS g î HE~95 "» åÿO
(139) þú SSSSS g T H¯*ú ² 8ùå ÿO
(140) þú SSSS g g #ê
(141) ùä5 HJ ú ùä !
(142) þ SSSS e J ü ! 8 " » ¡ . ° SSSSSSS . ª. © «. î¬ îBT î î. e . î. ¬. T g T g. . ` P7^5²XP ©¥ NCPCN\_Q K V Ie¦^XQ`Y³ \dd^ `_I*K V Ne²^ KNH¢NCKMLìQ¦L ¤ ^ H¢P7N YRc N ` \ ¥ OP ^Z´íe¦IZ]\d^dK^°µ
(143) ¶·+¸f¹º » © î > "@
(144) úÔC ! ! úR ² C !ú J øÿO
(145) þú SS g î î y" C !] !*ú!
(146) M.@
(147) úÚ ! ú ! C !ú 9 øÿO
(148) þú SSSSSS g T î î y"` M ! ú ! C !ú 9 "úÔC ! "@ C ²ú S g e î T y" úÔC ! ~] ! ! SSSSS®e î SSSSSS®e ¡ î î #ê
(149) ç
(150) Ô ² ¼ SSSS®e ¡ î î # ! ,y /ùä ÷ô
(151) ½ SSSSSSS®eB î î î #ê
(152) ! v î î T #ê
(153) Ô â SSSSSSS®e ¬. ¾. ±. ± `_IP[L Y NQL IP7^K!Qe c Nc²_IQL7Z]\_^|`G³ \¢_^ `_I*K V Ne²^KNH¢NKMLOQ¦L ¤ ^ eâN`¢L ´íe¦I*Z9\d^dK^ ªc¿ > "@
(154) úÔC ! ! úR ² C !ú J » ² ùä °SSS ¡¡ T >@ ú > !8 ! ùÐ !SSS ¡ T ¬.
(155) y
(156) ² ûä» 8
(157) úÔC ! !oúR ² C !ú JÐ ! ÿO! ùÐÐ ø" ! ùÐ `¤SSSSSÀ Vø þC ² _QHY !ø ! ùÐ a SSSÀ A ý . ú ê
(158) þ 9 ² ² ` ø !ùä S T î 41* C ² ½ SSSSSS ¬6¬6 T î î #ê
(159) ! ç
(160) ²Á SSSSS ¬ g T î T T . T . î. î. . 8^ Y KeâLOHdQL 0`_^P"³¸^;Â]H:IeâLO^*dK^y^MQÐeâI Y \dPìQNQ Y ^:Â,HJIeâL c ^*QNC\R © ¨ « > LCùл ² SSSSSSS g #ê
(161) R ²ú ê *
(162) ùÐMÔ !§ SSSSSS BB g g î ,"ú! !M. Ý ! SSSSSS g T 4.C !J / @
(163) !" ! SSSSS B î g g L¢ ê SSSSSSSS T ¡ g e , Y @!p SSSSSSSS gg g J ü. ä ù S G @! O ÃSSSS g g *.!6 S G @!Z SSSSS e g î ». ¶. ôL[PONC Y ^MQÐHJ^e Y H:^K!Q¦L ¤ ^ Y © ¿Xª e Ä !ÅSSSSSSSSS e ¡ e î üd ú 9 SSSSSSSS T. ¿. Ä. Æ. © Ç ¿ Ä. © Ç ©. ª ©. ª ¾. ©. ª «. ¸ ¶ È. ª ©. £. ·. © ¿ É. © «R©. Ê. ª. © «. §C¨ ª. . ¾.
(164) ¥. x§¦]. t Ë. |~t>. d ! ÀSSSSSSSS î ¢ ! ä * ä ú ù| !ùÐ
(165)
(166) J â !búù$
(167) o` ùåC ² ùäå` U 4. + 5ô` M' úÔ ùä þ W L }Ì &Í zSSSSSS T #ê
(168) R ²ú êúR ! !ú ÿ 7: A
(169) R !ú5 ú5 ÿ 7 SSS g .
(170) J 'úÚùÐþ î @ N A Îê î N1
(171) % ]! *ú ÿ¢ø J /: Ì Í ùÐ ê5U T 1,*! ! B SSSSSS e .
(172) úÔC ! yú ! C ²ú 9 _ J B 0CÐ
(173) Ð
(174) ú5 !þÐ5ä ' þ M ê
(175) ú ² åÿO ùo â ê M !3 _S ýA ú
(176) ú5 þ"
(177) þJ ² ! M @
(178) úÔC ! ! ùä åúR ! !ú J B ¡ LC!ú TäÕ û@ o
(179) úÚC ² ä@ ² *ú
(180) ÷y ÿO
(181) þú P- 5 T Ie ZPO Ì T Í USSSS I LC!ú ç" !@ 'úMÔ !ùÐ !'
(182) úÔC ! "úR !ú J å ! ùä o@ ! !û *ú
(183) b÷ç oÿO
(184) þúÐ T Ie ZPO 5 M ô >@ ! 8 p ¡ eåùТ! Ì g Í 6SSS LC!ú ôê å@ ê
(185) úÔC ! êúR ! C ²ú 9 'o+ ý L g ; ¬ ú
(186) ÷ô» ¡ÿO
(187) þú T Ie ZP= Ì e Í ¤SSSS HJ çb åÿOú5 jC v` ôJ~9
(188) M ÿO
(189) þú1@ *ú Ô â! Ì Í 7SSS SSS . "ú6 0C ! ² ,` ú ² @ :
(190) úÔC ! :úR ² C !ú J Ã B ÿO
(191) þú' vSSSSSSSS î HE~X¡ä» çÿO
(192) þú Ð B 0C: !» !Ãä»a â ! ! yúÔC ²ùä 8
(193) ú þ úR ! !ú ÿ E SSSS T HE~X'ø
(194) 1
(195) ú þ1 z ' 1 B 0CX ! !©ø ² ² ² >úÚ !ùä 8
(196) ú5 þ"ú ÿ E SSS g .
(197) úÔC ! úR ! !ú 9 øC !ê
(198) ùäø
(199) úr ùä !
(200) 5þ S î üd! ]ùä / Φ 8ÿOú5 8"» å C ² φ α ùä ! Ï î î üd! ]ùä / Φ 8ÿOú5 8"» å C ² φ α ! S. î. . . . îî î. g. î e. î. ¡. î T. . Mî T. Mî T. TT T g T T g. ¬ . g;¡ g .
(201) üd !ôê» ø !'êúÔC ! ê` C !ú bÿOú5!b» ø C ² . ùÐ C ! ÐSSSSSSSS g ¬ φ α î g üd !ôê» ø !'êúÔC ! ê` C !ú bÿOú5!b» ø C ² . C ! 1SSSSSSSS®e φ α î e HÃ s /s >ÿOú 8 α β SSSS®e m 0 >ÿO!ú 8 α 5 β SSSS®e î î HÃ −Φ m /Te 3P. ! Î' ! SSSSSSS®e T î ¡ > . î I HE! o ! ! r çúÔC !6 ~9 ! 1 ç !' 1ú !'@
(202) úÔC ! ´úR ! C ²ú 9 JJÿO
(203) þúA ú´ú M ¡÷ê C ! Õ TùÐùä8 úÚ !6 ~9 ! y ÐyC ! yÿO
(204) þúao ! ÿO
(205) þú ÿO!ú y C ! ²ùä5 β .J~9
(206) â ! êy ! !ùÐ5 ÑSSSSSS®e α î ¬ HE! ç"
(207) þ E [: A5 >ú !M !þ J O øTÿOú ûÐ ç
(208) ÐÐi ú ² C ! ÐÿO
(209) þú J i ! êJ~9
(210) Q â ! êy ! !ùÐ α !ê ú ! B Ò βbf î HE! ø» ùÐ
(211) â
(212) ú þ T [: ´ Ô ! ùä * ùo ² Ð !äúÔC ! ` C !ú se 7 ÿOú5 å» ä
(213) å¡ú !M C ² ¡ÿO
(214) þú J m 1J~9
(215) M â ! êy ! !ùÐ5 5 C !ê ú !ê Ò βbf USSS 6 α î B HE! ç"
(216) þ E [: A5 >ú !M !þ J O ÿOú5!
(217) i ú !åC ! ÿO
(218) þú J i ! 9~X
(219) + ² ! 8 C ! ²ùä5 β î g ü¢ β bf ² .@ ¡ú ¡¡
(220) 5ÿO
(221) úô÷ä» bÿO
(222) þú f T e ZPO & 5A! þ β 6= ©& ² ´@ 1 *ú ² ä÷ äÿO
(223) þú'2ÿ g ZP- ÃSSSSS T Ie î ¬ α B î î HE! ø» ùÐ
(224) â
(225) ú þ T [: ´ Ô ! ùä * ùo ² Ð !äúÔC ! ` C !ú se 7 ÿOú5 ä 8
(226) ääú ² C ² ÐÿO
(227) þú J m X! J~9
(228) M â ! > C ² !ùÐ bf ø3 ! >@ g ü¢! î β β ú y>
(229) ÿO
(230) úa÷û» aÿO
(231) þú f T e ZPOy5ä þ ´3 ! ¡@ *ú Ô â!÷ ÿO
(232) þúô2ÿ T Ie β 6= ZPO ! ÓSSSSSS g T α ¬ î T ýA! :'
(233) A þ E åÿOú5 åôú !Ã þ ú! ´ê
(234) 5ÿO
(235) ú1÷ T Ie i ZP-ê g î ZPOÔ%ú Ji ¬ L¢Õ ý β î β g 6S SSSSSS g î g ýA! :'
(236) A þ E åÿOú5 åôú !Ã þ *ú øø
(237) 5ÿO
(238) ú"÷ [L¢¢ ý β î T Ie i ZP-MÔ=ú 1 J î. T. i. β. g ÖSSSSSSSSS . î. . e.
(239) î. e . ýA! :'
(240) A þ *ú øø
(241) 5ÿO
(242) ú"÷ T J . Ei. I e g ÖSSSSSSSSS. i. β. åÿOú5 åôú !Ã þ ZP-MÔ=ú 1 [L¢¢ ý β î . d y !MÔ !
(243) V V 8ÿOú ç"» å C ! φ 6S î ¡ ýA! ä> a vC ! l8ÿO
(244) þú V ÿOú v8
(245) oú ²åC ! ÿO
(246) þú J ¢bfú!
(247) ÿO
(248) ú ÷ T e ZP-SÔ ú [LdÕ ý βbf î 5 β g SS î %ýA! Ð K vÿOú v8» a
(249) 88ú !MÐC ! ÿO
(250) þú J ²cap 'ú '
(251) 5ÿO
(252) úê÷ T e ZPOOÔú L¢Õ ý β î bf β g 6SSS S SSS î. . T . î. T T T. T g T e T . T ¡ T I T T T . ¬ B. ¬. ¡ . ¡. ê
(253) R ²ú oú ! C !ú ÿ$ 7 M !úÚ$ <!, y> ! ùÐ 0
(254) þ9² M"÷b ôùÐ
(255) 1y
(256) R !ú5 ú ! C !ú ÿ 7 MSSS ¡ oÿOú5 o1» "ÿO
(257) þú X! V D HE! ä λ/λ0 5 l ¡ ú ù ¢SSSSSS0SS ¡¡ HJ
(258) ùÐM @ Ð ôb !ùä C ! TúùÐ b þùÐä & ~XÐ@ !yÕÔ ² C ! ç C ! b ùä
(259) ! çy
(260) !ú R0 vSSSSSSS ¡ cap !, !ùä @ §SSSSSS ¡ ¬ HJ
(261) ùÐM úÕ ÿ¢` ø !ùä ç
(262) ' SS ¡ ¬ ýA !ùÐ
(263) ú þø5êùä ! !
(264) þ1@ O tC !ç
(265) ²ú êúR ² C !ú ÿ"OSSSSSSSÀ T ýA !ùÐ å
(266) ú þôùä !
(267) 5 þo@ ççQHY C !ô
(268) R !ú5 ú ! C !ú "ÿ YSSSSSSSÀ ¡ HJ
(269) ùÐM1úÕ ÿÃ@ å " ² ùÐ !y
(270) þ9 â ! å÷
(271) úÔC ! ! ùä åC !êø
(272) !ùÐ
(273) ú ùä !
(274) 5 þB S ¬ * 6 ©
(275)
(276) ùä:ú! * ÿ@ ê ' !ùä ô
(277) þ9 ² M"÷b
(278) úÚ ! " » ² ùä ô !ê
(279) ùäø
(280) ú5 ùo ²
(281) þ' ¬ î HJ
(282) ùÐMS 0CC !ÄúÕ ÿ'@ Ðo ! ùÐ
(283) þ9 ² M"÷b
(284) úÚ ! " » ² ùä ô !ê
(285) ùäø
(286) ú5 ùo ²
(287) þ' ¬ g üJ !úê !
(288) 5: êôÿOú å'» .
(289)
(290) ú ' þ !yúM b
(291) úÚ ! n
(292) úÔC ! ! úR ! !ú 9 T ùÐd *ú
(293) ¡÷ î ZP- e0 ú .
(294) ú . / #- e.úù5J
(295) !
(296) :@ !ú î g úù Ã' DÃ 7: '5 V 5 B DÃ O FSSSSS ¬ V #. 0. 0. . T. î.
(297) oÿOú5!o.» " o@ *ú ²
(298) 1
(299) ú þ î . ne0 '1ÿO
(300) þú"` ú ² 1ÿ2 ZP-F [ ´Aÿ2 î V0 KP-: O × ' k M
(301) Ãú ! ÷» A
(302) J
(303) ú þ !" þ" úÚC ²6 ~] ² "ú ÿd ! '
(304) ÀSS ¬¬ T # ! ! oÿOú ä1»
(305) 1
(306) ú5 þ n ÷ Pind /Pcap 2
(307) þ ! 9~X
(308) M ÿO
(309) þúø5.C ! "úR ². ÒZ#- e0 e ú£ ù [ '5 # î e¡ú£ ù 7Ø ÖSSSSSS 6 g # ! ! b !ú ú59 " . ô !ú ú ! C !ú 9 ÿOú oø ÿO
(310) þú Aø
(311) ø@
(312) þ Pind /Pcap 1 n = 5 × 1017 m−3 C !øúR ²ê@ "
(313) úÔC ! !"Mê /!>" e0
(314) ú #- eåúù #- î eåú ù SS T e)#ê
(315) çúR ²ø>ùÐ ø ² ùÐ !@ ¯SS e .
(316)
(317) ú þ !» ²8 ùo ²
(318) y÷» T
(319)
(320) ú ' þÐ !Tú Ðb»
(321) úÔC ! Ð "9~X
(322) " T` ; ú ² V Ðe e î B g B DÙ 7 "9~X
(323) M
(324) å
(325) ú 0 þô÷2
(326) þ X!d yÿO
(327) þúç@ *ú Ô ² Õ 2ÿ î KP- @ ! !oC !A2 úM. e ùТ! 5 /8
(328) ú êÕ #- eåú ù S SS ¡ # ! ! ! ! J~9
(329) M 8@ *ú ² P /Pcap 7 9~X
(330) ind " .
(331) Ð
(332) ú þÐ÷82
(333) þ @!_ çÿO
(334) V0 þúÐ@ *ú Ô â 2ÿ î B ZP- » o !û@ ! !C ! 2 úMb e ùäd "5 ô /T
(335) ú5 U #- e ú ù * Ä 6 ! ´ú» ! ùä´ " ! Ð C ² !O H¯ "P ÷ ! ÿO
(336) þú'XSSSSSSS ¡ ýA! ôúÚ
(337) ùä ² þô *. /ùÐ
(338) þ¡
(339) !ú5 úR ² C !ú O ÿ 7ùÐ' LEHY Z!R4[ +®SSSSSSS B î ü¢ ! Ðùä ! C ! bo2 ùÐ
(340) C ²ú7 =0
(341) !ú5 å ÷ Z 7 ² » !ùo aSSSSSSSSS B î T üJ B 0C, !» ²9>úÚ !ùä 8ùo ²
(342) 5þ" ²>ú >
(343) !ú À S B T g ,úÚ
(344) ùä å
(345) !ú AúR ! C ²ú ÿ]ú ' !» ²X! ² '» ²' ú ùÐ '@SSSSSSS B g e üJ²v Ô úÔ
(346) ùä
(347) ú5 þ» B Ú ` !úú! nP-Û ü L? T 4 a Z1!@ÜÝ
(348) Þß î ZêNý ÜÝÞßp e B Ø L? T Z Ný àá"âã G 2e L? g [Ø!@àá"âã eØ!Xäá åRæ [©ý çèéá.êë g × î!î Ø L?.v B c üJ²Ð>
(349) R !ú5 ú ! C !ú ÿ¢ !> ! â 5 !_üJêü8ìSS ¡ ,úÚ
(350) ùä a» ú ² 7 !úÔ äça» B¬ 7 SSSSSSS î . T . T. T. T T. g. g. g. g. g. g. g. T. . . g.
(351) ýA! .`
(352) 5Ô ! C ² "» å "ú! !MíSSS ýA! .`
(353) 5Ô ! C ² "» å @GSSS ¬ , ! ûùä ! ¡ ¡oú ! ¡Ð C ! v
(354) úÔC ² v@ ! !® [Eü îéÞ 2ÿ 5 T ZP-v5T gBg ùÐd ïSSSS S S SSS ýA! ²ÃùÐ
(355) A C ! ¢¢9~X
(356) MÃ !ÃAú! !MÃ
(357) B y9 êy
(358) !ú U [: 'yÿO!ú 8 » ô !ú ú
(359) P ²üJ ' 0C ²» !M¡ú ²Ã÷ê k
(360) úÚC ² Ä X! 9~X
(361) êin !ú.@ *ú Ô â! 7 SSSS î ,úÚ
(362) ùä ä ùÐ » b !ú ²_þ¡ ÐùÐ V I ϕ ìSSPSinSSSS RF RF T HE! :» Ä ! "ÿOú5! : ' ²ú: ú5
(363) VRF :@ : C ² , C ! , A úÔ þ:@
(364) 5Ô ! C ² Ã_@ ! Pin ! k C ! ¢» ùä 'A . !ú úA ! *ùä â P ≈ ê > Ø eåùТ! 3 KSSSRF S Pin g ú XyÿOú5!ùÐ@ % !C !J /* o@
(365) þ ² ! M [ ! !9 / þ 1SSSSSS e)L¢ ø@ ùä ! øê» å ! C ! ú τ = (a − D)2 /a2 ýA! ú ! ²ú
(366) þ >@U ú 1.ÿ D[5 [: '5 ÿOú !> 7 '÷bØ eåùäd F SSSSSS ¡ ýA! ú ! ²ú
(367) þ >@U ú 1.ÿ D[5 [: '5 ÿOú !> 7 '÷bØ gBg ùÐd Õ SSSSSS üd! A » !ùo ÿO!ú ç» y ²úç ú
(368) P Vp ! êJ~9
(369) @ ! @ 1SSSinS .
(370) 1
(371) ú5 þ ! ùä oÿOú5 o1» !ú ¬ ú
(372) P 9~Xn
(373) e ê ê@ ² !@ SSS î ýA!ùä ! ! in M "ø ²M 9 » ² ùä åùÐ / V ú"» V ¡ÿO!ú Ä» !úA ú5
(374) P pÄ@ ! . CRF ! » b úÔ þ¡@
(375) 5Ô ! C ² 1@ ! in C ! Õ1 C ² .» bùä .1 !ú ú12 ² *ùä ² ! P ≈ P Ä > Ø MeôùТ! 3 6SSSRFSinSS î ýA! 'úR ! !ú
(376) þAú !M. í å@ ' !A
(377) R ²B î!î 4. !y" M ² SSSSSSS ' î T üJ B 0C" ! ! 3ú !yþ J ÷ Me ùÐd 8 gBg ùÐd 9~X
(378) Mê !ú. i ú5
(379) P pSS î g üJ B 0C1 ! ! a
(380) a
(381) ú5 !þ n ÷ in Me ùÐd ä gBg ùÐd 9~X
(382) Mê ²ú. e ú5
(383) P XS Ø. îî. g I g g. g. g. g. g. g. g. g. g. g. g. g. g. g. g. . in. e. îBT î g. î e. î . î ¡. î M¬î T. T g T e T T ¡. T T ¬. g . î g g T.
(384) .
(385) J
(386) ú þ n *:*
(387) ùÐMÔ ! ùÐMY [ ! !9/
(388) 15' ø-Ce o!þ:oÿOú5!o1» !ú ú
(389) P C ². ú !.@ ¡ !a` ! y<eÐùÐd ê in ùÐd & v SSSSSSSS î .ùÐJ íX!ú SSSSSSSS î ¡ , Y @! ZSSSSSSS î d ! ² êùä ! SSSSSSS î üJ B 0CC ! !äúÔC !ùÐ äùä !
(390) þêä » ² ùä :J~9
(391) M ¬ !úå ú
(392) o @ ! ! o gBg ùÐd & SSSPSin SSSSSS á á T , ! . Ð ù . . 5 *J ²åú » b
(393) úÚ ! 7 V (α ú7 ù =01 !)yV (α y= 90 » b
(394) )úÔC ! !a O î e²ú ù *ú
Documents relatifs
Dans ce papier, nous allons démontrer la faisabilité d’une référence haute fréquence puis nous discuterons des possibilités de l’utilisation de ce type de circuit dans
Plus la fréquence de coupure haute est faible, plus les impulsions successives devront être espacées dans le temps pour éviter ce phénomène. Le nombre maximal d’impulsions que
Cependant, un signal d’entrée dans la bande avec une fréquence de 3.48 GHz peut limiter la capacité en puissance du filtre mais, pour cette fréquence, la
tique [2]. La bande à haute énergie ne présente pas de polarisation. tandis que la bande à basse énergie pré- sente une forte polarisatioi-i circulaire croissant
Spectres d’absorption et de fluorescence des radicaux produits par la décharge haute fréquence dans quelques vapeurs aromatiques et fixés à basse
En effet, nous avons trouvé dans la littérature [101+ l’utilisation du correcteur à résonance pour asservir le courant de la lampe sodium haute pression fonctionnant en
Les Dit obtenues par la méthode de la pente sous le seuil ont été appliquées à des FatFETs alors que les méthodes de Haute Fréquence – Basse Fréquence et de conductance GV ont
-conséquence : les modes de courte longueur d’onde ont une fréquence plus haute, apparition de dispersion par rapport à la corde idéale. - les modes ne sont plus harmoniques (ce
