HAL Id: tel-00010028
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Submitted on 2 Sep 2005
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Etude et réalisation d’une micropompe et de microvalves
intégrées tout silicium
Zouhair Sbiaa
To cite this version:
Zouhair Sbiaa. Etude et réalisation d’une micropompe et de microvalves intégrées tout silicium. Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université Paul Sabatier - Toulouse III, 1997. Français. �tel-00010028�