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Caractérisation diélectrique de couches minces de PZT

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Academic year: 2021

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Figure

Figure 1 : Schéma de la structure de testMicropointes GSG
Figure 2 : Circuit équivalent à la couche mince ferroélectrique.
Figure 3 : Évolution de la permittivité relative et des pertes du PZT(57/43) en fonction de la fréquence f Les variations de la permittivité relative et des pertes sont liées à la relaxation des parois de  domaines [16]
Figure 4 : Courbes ε r ′(ω) (à gauche) et ε r ″(ω) (à droite) et ajustements correspondants   en fonction de la pulsation ω

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