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Conception et Modélisation de MEMS monolithique CMOS en technologie FSBM : Application aux accéléromètres

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Academic year: 2021

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Figure

Tableau 1.1. Spécifications typiques des accéléromètres  dédiés aux applications automobiles et à la navigation [Yazdi98]
Figure 1.6. Exemple de structures micro-usinées par gravure en volume par FSBM
Figure 1.11. Exemple d’accéléromètre à effet tunnel [Hartwell98]
Figure 2.1. Structure de test utilisée pour valider la faisabilité de l’accéléromètre
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