Le procédé de soudage de verre par impulsions laser ultracourtes repose sur l’absorption non-linéaire du faisceau laser par le matériau. Cette ab- sorption de l’énergie laser par le verre nécessite de hautes densités de puis- sance obtenues par la focalisation des impulsions laser ultracourtes dans le matériau. Cette nécessité d’obtenir des intensités élevées est certainement la raison pour laquelle ce procédé de soudage a principalement été mis en œuvre en utilisant des objectifs de microscope à grande ouverture numé- rique, afin de focaliser le faisceau laser sur des diamètres de quelques micro- mètres [3, 110, 111].
Notre système laser se démarque de la littérature par son système de focalisation, composé d’une lentille de longue distance focale (100 mm) et de très faible ouverture numérique (ouverture numérique de 0.03).
3.2.1 Source laser industrielle
Le système expérimental utilisé pour réaliser le soudage de verres à haute cadence est composé d’une source laser Tangerine développée par la société Amplitude Systèmes (France). Le laser Tangerine est un laser à fibre dopée à l’Ytterbium, pompé par diodes, générant des impulsions centrées à 1030 nm et d’une durée d’impulsion ajustable de 300 fs à 10 ps. Ce laser permet de travailler à une puissance moyenne maximale atteignant 30 W. La fréquence de répétition détermine alors l’énergie d’impulsion maximale pouvant être générée, selon la formule Pm = Ep.F : par exemple, pour une cadence de
2 MHz, une énergie par impulsion maximale de 15 µJ peut être obtenue, tandis que pour une cadence de 200 kHz, une énergie par impulsion maximale de 150 µJ peut être atteinte.
Le fonctionnement du laser Tangerine repose sur une technique à fibre d’amplification à dérive de fréquence [112]. Cette technique est très similaire à la technique d’amplification à dérive de fréquence implémentée dans les lasers Titane :Saphir, excepté que le milieu d’amplification se trouve sous la forme d’une fibre, permettant un refroidissement plus efficace du maté- riau actif. Les impulsions générées par l’oscillateur sont d’abord étirées, afin d’éviter d’atteindre des puissances crêtes trop élevées, puis amplifiées avant d’être compressées pour minimiser la durée d’impulsion [113], comme illustré sur la figure 3.1.
Figure 3.1: Architecture du système laser basé sur le principe de l’amplifi- cation à dérive de fréquence [112, 109].
À l’extérieur du laser, un module de doublage et triplage en fréquence permet de convertir la longueur d’onde des impulsions laser de 1030 nm à respectivement 515 nm et 343 nm. Une première lame demi-onde rota-
tive, couplée à un polariseur, permet d’orienter le faisceau en fonction de la longueur d’onde souhaitée. Pour une utilisation du faisceau à 1030 nm, le faisceau traverse la lame d’onde et ressort du module sans avoir subi de modifications. Sinon, une rotation manuelle de la lame d’onde permet de dévier le faisceau et de le réfléchir vers les cristaux de conversion. Un pre- mier passage à travers un cristal doubleur non linéaire permet de convertir la longueur d’onde de 1030 nm à 515 nm. Un deuxième système de polariseurs permet ensuite d’utiliser le faisceau à 515 nm de longueur d’onde, ou de le dévier vers un nouvel étage de conversion de fréquence. La longueur d’onde de 343 nm est obtenue dans un second cristal non-linéaire par un phénomène de génération de fréquence somme, entre le faisceau à 515 nm et le résiduel à 1030 nm. Trois chemins optiques sont ensuite disponibles selon la longueur d’onde sélectionnée.
Figure 3.2: Système de conversion de fréquence intégré en sortie du laser et les trois chemins optiques disponibles [109].
3.2.2 Machine industrielle de micro-usinage par voie laser
Le laser Tangerine est intégré dans une machine de micro-usinage dé- veloppée sur mesure, il y a quelques années, par la société Optec (Bel- gique). Cette machine comporte différents éléments optiques qui permettent de transporter et de mettre en forme le faisceau depuis la sortie de la source laser jusqu’à son arrivée sur le matériau à usiner.
Un atténuateur de faisceau (Optec, AT1030 pour l’infrarouge et AT515 pour le visible), composé d’une lame demi-onde et d’un prisme polariseur, permet de diminuer la puissance de sortie du faisceau laser.
Le faisceau est ensuite transporté vers un expanseur de faisceau (Sill Optics, S6EZM5076/328 pour l’infrarouge, et S6EZM5076/292 pour le vi- sible), qui a pour rôle de régler le diamètre du faisceau d’un facteur un à quatre. La focalisation du faisceau laser est assurée par une lentille F-theta (Sill Optics, S4LFT4010/328 pour l’infrarouge et S4LFT4010/292 pour le visible) ayant une distance focale de 100 mm, intégrée dans une tête scanner (Newson, 2D-MSA-A15-W01030 pour l’infrarouge et 2D-MSA-A15-W00515 pour le visible), qui peut être remplacée par un objectif de microscope. Des
miroirs galvanométriques précèdent la lentille de focalisation, et permettent de dessiner diverses trajectoires de faisceau sur une zone de 30 mm x 30 mm, à une vitesse de translation pouvant atteindre 3000 mm/s.
3.3
Choix des verres utilisés
Nous avons vu dans le chapitre II (section 2.3.4, page 62) que l’état de surface du verre a une influence sur les performances du procédé de soudage de verre par impulsions laser ultracourtes. Les verres ayant une excellente qualité de surface, avec une rugosité inférieure au nanomètre et une planéité de quelques micromètres, sont compatibles avec la génération d’un contact optique, qui était une des conditions nécessaires au soudage lors des pre- mières démonstrations du procédé [97]. La technique de mesure permettant de déterminer la distance inter-verre est présentée dans le chapitre V.
Le choix des matériaux utilisés lors de cette étude s’est effectué en tenant compte de différents facteurs, principalement les domaines d’applications et la qualité de surface, et s’est ainsi porté sur la gamme « Mempax » déve- loppée par la société Schott. C’est une gamme de verre de composition très proche de celle du Borofloat 33 (BF33, Schott), mais dont le procédé de fa- brication permet d’obtenir une excellente qualité de surface sans étape de polissage. Cependant, ce procédé de fabrication ne permet d’obtenir que des lames fines, d’une épaisseur maximale de 700 µm. Ces lames de verres pos- sèdent une rugosité inférieure à 0,5 nm, ce qui permet d’obtenir un contact optique sans système de mise sous pression. Ces lames fines de borosilicate ont été sélectionnées pour la mise en œuvre du plan d’expériences, en sup- primant comme paramètre d’entrée l’influence de la qualité de surface des verres et ainsi de bénéficier de la répétabilité nécessaire à l’objectivité du plan d’expérience. Les travaux réalisés ainsi permettent d’étudier l’influence des différents paramètres de mise en œuvre, et d’optimiser ces paramètres en s’assurant la présence un contact de bonne qualité entre les lames à souder.