Mod´ elisation de la flotte de v´ ehicules

Fig. 7.8: Illustration d’un AGV sous AutoMod

Les v´ehicules 7.8 se d´eplacent sur le rail d´efini ci-dessus. Ils subissent donc tous les attributs du rail tels que le sens de parcours, la vitesse limite du rail, le rayon de courbure ainsi que le facteur de navigation. En plus des attributs li´es au rail, un v´ehicule a des attributs sp´ecifiques comme le montre la table 7.5. Les v´ehicules ont une capacit´e unique de transport. Nous int´egrons dans le mod`ele, le fait que le masque et sa boite sont associ´es. Ainsi pour d´echarger un masque, le v´ehicule dot´e d’un bras prend la boite vide de l’´etag`ere et la pose sur le port de l’´equipement.

Nous d´ecrirons plus amplement dans les prochaines sections, la logique de gestion des v´ehicules et des missions. Ces r`egles de gestion des entit´es constituent pour nous des ´el´ements fondamentaux pour optimiser les performances du syst`eme.

L’horizon de simulation est fix´e `a 24 heures, la p´eriode de warm-up est de 30 minutes, le nombre ind´ependant de r´eplications est de 110 et un nombre donn´e de transport de masques

CHAPITRE 7. TRANSPORT AUTOMATIS´E DE MASQUES EN PHOTOLITHOGRAPHIE

Noms Mod´elis´e

Nombre de masques transport´es oui Dimensions du v´ehicules oui Vitesse en ligne droite oui Vitesse sur une courbure oui

Acc´el´eration oui

D´ec´el´eration oui

Dur´ee de chargement oui

Dur´ee de d´echargement oui Temps de d´eplacement de la boite vide du port vers l’´etag`ere oui

Temps de chargement oui

Temps de d´eplacement de la boite vide de l’´etag`ere vers le port oui Temps d’attente du masque depuis l’´equipement oui Temps de manipulation de la boite pleine oui Distance d’arrˆet entre les v´ehicules oui

Table 7.5: Mod´elisation de la flotte de v´ehicules

est inject´e dans le mod`ele `a chaque d´ebut de simulation. Toutes les simulations sont bas´ees sur des donn´ees industrielles, c’est-`a-dire les transferts de masques faits durant une journ´ee par les op´erateurs. Vingt journ´ees diff´erentes sont utilis´ees, ce qui engendre vingt simulations diff´erentes et chaque simulation dure environ trois minutes. Diff´erentes configurations du r´eseau de rails et plusieurs politiques de dispatching sont compar´ees entre elles avec les indicateurs de performance tels que les temps d’affectation et de livraison des masques.

7.6

Validation du mod`ele

La validation du mod`ele est une ´etape critique afin d’´etablir si le mod`ele conceptuel est une repr´esentation juste du syst`eme r´eel. Peut-on utiliser le mod`ele virtuel et lancer des exp´erimentations dont les r´esultats renseigneront sur le syst`eme r´eel. Les simulations sont r´ealis´ees avec 17 ´Equipements de production, 2 stockeurs de masques et, 2 ´etag`eres de stockage de masques `a cˆot´e de chaque ´equipement. L’horizon de simulation est de 24 heures, avec une p´eriode de warm-up de 30 minutes, et 100 r´eplications sont utilis´ees.

Le processus de validation d’un mod`ele est illustr´e dans la figure 7.9. Des v´erifications multiples sont faites entre le mod`ele conceptuel, le mod`ele de simulation et le syst`eme r´eel (les indicateurs sont d´efinis et valid´es avec les ing´enieurs). Pour valider le mod`ele, nous utilisons trois techniques :

1. Validation par animation graphique

Le logiciel de simulation permet de visualiser le syst`eme mod´elis´e et de valider le comportement de chaque entit´e du mod`ele. Les temps de prise et de d´epose sur les ´equipements sont v´erifi´es. Le nombre de masques transport´es `a la fois par un v´ehicule est v´erifi´e. Les attributs des v´ehicules sont valid´es tels que les vitesses, les acc´el´erations, la distance de lib´eration du code-barre, les distances d’arrˆets, etc. Nous avons v´erifi´e que le rail est partout unidirectionnel. Nous avons aussi v´erifi´e que les

7.6. VALIDATION DU MOD`ELE

Fig. 7.9: Validation d’un mod`ele (source Chwif and Medina (2010)).

v´ehicules respectent les vitesses limit´ees par le rail, notamment les vitesses limites en- tre les ´equipements pour ´eviter les vibrations. L’aspect visualisation est illustr´e sur la figure7.10.

Fig. 7.10: Animation du mod`ele de simulation.

2. Validation avec les industriels

CHAPITRE 7. TRANSPORT AUTOMATIS´E DE MASQUES EN PHOTOLITHOGRAPHIE

Les r´esultats de simulation sont pr´esent´es aux industriels. Plusieurs r´eunions ont ´et´e r´ealis´ees devant tous les acteurs du syst`eme pour valider l’ensemble des r´esultats du mod`ele. Comme par exemple illustr´e dans la figure 7.11, les transports r´ealis´es aug- mentent avec le nombre total de v´ehicules. Et `a partir de 5 v´ehicules, le nombre de transports r´ealis´es devient stable. Une fois le nombre n´ecessaire de v´ehicules atteint, augmenter le nombre de v´ehicules n’augmente pas le nombre de transports r´ealis´es.

Fig. 7.11: ´Evolution du nombre de transports r´ealis´es en fonction du nombre total de v´ehicules.

3. Validation par v´erification modulaire

Nous utilisons comme indicateur le nombre de transports r´ealis´ees par rapport au nombre de transports demand´es par demi-heure. C’est une fa¸con de v´erifier que les demandes de transport sont bien re¸cues et ex´ecut´ees par le syst`eme. A une ´echelle microscopique par rapport `a la dur´ee de la simulation, il s’agit de v´erifier que le syst`eme de transport suit les demandes de mouvements de masques en temps r´eel. La figure

7.12 montre l’´evolution des transports r´ealis´es par rapport aux missions de transport de masques. On constate que le syst`eme suit les demandes de transport.

Les r´esultats num´eriques pr´esent´es dans la prochaine section correspondent `a des moyennes et `a des ´ecarts-type calcul´es sur les vingt simulations r´ealis´ees.Les mouvements de masques sont planifi´es au moins 20 minutes avant leurs utilisations dans l’´equipement. Ainsi notre objectif est de r´epondre aux requˆetes de transport en moins de vingt minutes.

7.7. SIMULATION ET COMPARAISON DE DIFF´ERENTES CONFIGURATIONS DU