Les simulations par éléments finis permettent l’analyse de structures complexes soumises à différentes contraintes et force extérieures. Les structures étudiées par simulation sont divisées en sous-ensemble dit « éléments », ces éléments sont reliés les uns aux autres par des « nœuds » afin de former la structure complète.
Les simulations pas éléments finis sont utilisées ici pour mettre en œuvre une méthode inverse consistant à déterminer les valeurs des propriétés mécaniques du polymère (module de Young et état de contrainte) à partir des résultats expérimentaux. Le but est de modéliser en 3D une membrane et les éléments définis sont le film polymère et le substrat de silicium micro-usiné. La couche d’accroche, très fine (60 nm) donc ayant un rôle négligeable sur le comportement mécanique de la membrane, n’a pas été modélisée. Différentes valeurs de pression sont successivement appliquées sur la face arrière de la membrane, comme pour l’expérience réelle, et les flèches maximales au centre de la membrane sont simulées.
La modélisation d’un élément commence par le choix de l’élément-type qui le définira. Dans la bibliothèque d’ANSYS®, il existe plus de 150 éléments-types différents. Chacun de ces éléments-types se définit par son nombre de degrés de liberté à chaque nœud de la structure de test, son domaine d’utilisation (structurel, magnétique, thermique, électrique,…) ainsi que sa dimension (2D, 3D). Selon l’élément-type, les degrés de liberté autorisés sur chaque nœud sont les déplacements suivant les axes (ux, uy, uz) mais peuvent être également des rotations (rotx, roty, rotz).
Figure 3-8. Elément-type quadratique utilisé pour définir le polymère et le silicium (SOLID 95).
Nous avons choisi d’utiliser l’élément-type structurel 3D quadratique SOLID 95 (Figure 3-8).qui possède 20 nœuds avec 3 degrés de liberté en translation.
Une fois l’élément choisi pour la simulation, il reste la création des formes géométriques qui composent la structure. Les dimensions définies correspondent aux mesures faites sur les différents échantillons (épaisseur de la membrane, taille, épaisseur du substrat, forme de la gravure chimique du silicium selon les plans cristallins). Pour simplifier la modélisation de la membrane, et compte tenu de la présence de deux plans de symétrie, nous avons modélisé seulement un quart de celle-ci. Le repère utilisé sous ANSYS® est représenté en Figure 3-8. Les axes x et y sont parallèles aux bords de la membrane. La structure a été définie par 4 volumes qui forment la membrane et 3 volumes qui forment le substrat de silicium.
Dans le cas de membranes carrées, on définit un repère (O, x, y, z) ayant pour origine le centre de la membrane, le plan (O, x, y) correspondant au plan de la membrane, l’axe z étant la normale au plan de la membrane. La largeur des membranes est notée 2a et l’épaisseur du film de polymère est notée t (Figure 3-9).
Schéma de profil : Axes Schéma face arrière : Axes
Figure 3-9. Repère utilisé pour le modèle de simulation par éléments finis.
(a)
(b)
Figure 3-10. Images du maillage de la membrane (a) et d’une modélisation de déformation sous pression d’un film de PU pur (b).
En divisant la structure en différents volumes, il est plus simple d’appliquer les conditions aux limites, les zones d’ancrage et les surfaces sur lesquelles on applique une pression. Le maillage a été resserré au niveau de l’encastrement de la membrane (Figure 3-10) qui est une zone à fort gradient de contrainte.
Le silicium élastiquement anisotrope a été défini par les valeurs des modules de Young et des coefficients de Poisson selon les trois axes du repère. Pour le polymère supposé homogène et isotrope, trois paramètres physiques ont été entrés : le module de Young, le coefficient de Poisson, l’état de contrainte. Le coefficient de Poisson pour le polymère est de 0,5 dans la littérature [62] (0,49 dans le programme pour des raisons de convergence des calculs). Différentes valeurs du module de Young et de la contrainte résiduelle, ont été testées afin d’ajuster les flèches mesurées et simulées. Le programme développé sous ANSYS® est donné en annexe 2.
Les simulations ont été réalisées en mode statique en activant le mode des grandes déformations. Notre critère d’ajustement a été d’obtenir des écarts relatifs entre les flèches simulées et mesurées de l’ordre de 0,5%, voir l’exemple de la Figure 3-11 pour la membrane PUpur_M1. Les valeurs du module de Young et de la contrainte correspondantes sont données dans le Tableau 3-4 :
Membrane Module de Young (MPa) Contrainte (MPa)
PUpur_M1 27 0,45
PUpur_M2 28 0,30
PUcomp 27 0,35
Tableau 3-4. Tableau 3-récapitulatif des valeurs de module et de contraintes obtenues par FEM.
Figure 3-11. Comparaison valeurs expérimentales et simulées pour la membrane PUpur_M1.
La valeur de contrainte trouvée par simulation est quasiment égale à celle calculée à l’aide du modèle analytique. La valeur du module est, quant à elle, un
peu plus élevée mais la différence n’est pas significative. Toutefois, l’ordre de grandeur est proche de celui donné dans la littérature [70]. Ces simulations confirment donc les résultats trouvés précédemment et montrent la validité du modèle analytique de Vlassak dans le cas de nos membranes. L'inconvénient majeur de cette méthode du gonflement de membrane est l'impact des incertitudes de la géométrie des membranes comme nous l'avons calculé. Avec le recul, nous pensons aussi qu'il aurait été nécessaire d'étudier un plus grand nombre de membranes pour établir des statistiques.