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Membranes électrostatiques oscillantes

4.5.1 Fonctionnement général

L'idée est de récupérer l'énergie mécanique d'une ne membrane oscillante à un ux d'air grâce à un convertisseur électrostatique. La membrane de longueur L, de largeur H et d'épaisseur h est accrochée à un support de longueur L0, de largeur H et d'épaisseur d (gure 4.17a). Comme men- tionné précédemment, la conversion électrostatique nécessite une partie mobile (la membrane) et une partie xe. Nous allons donc devoir ajouter une (cas semi-conné) ou deux parois latérales (cas totalement conné) an d'obtenir cette partie xe. Chaque paroi est positionnée à une distance e de l'encastrement du lm et peut potentiellement être décalée d'une longueur L1 de l'encastrement (là où les variations de capacité seront très faibles). Chaque paroi aura donc une longueur égale à L-L1 et une largeur H.

G L0 L1 Substrat U Support de la membrane Membrane L-L1 h

Décalage des parois e d G 2e Electrodes R G G (a) (b) R R R R G G E3 E2 E1 E4 G G 2e (c) (d)

Figure 4.17  Schéma de fonctionnement d'une membrane électrostatique oscillante et paramètres du problème (toutes les dimensions selon l'axe perpendiculaire à la feuille sont égales à H). (a) Membrane semi-connée. (b) Membrane totalement connée, électrodes texturées et faible variation de capacité. (c) E1 et E3 : capacité intermédiaire, E2 : Cmin, E4 : Cmax. (d) E1 et E3 : Cmin, E2 et E4 : Cmax.

Si la ou les parois xes sont assez proches du lm, la membrane va venir périodiquement en contact avec celles-ci, permettant ainsi des variations de capacité. Idéalement, il faudrait que la membrane vienne successivement se plaquer contre les parois latérales (Cmax) puis s'écarter su- samment loin (Cmin). Ce type de mouvement peut être obtenu en utilisant des lms assez épais ou rigides pour être sollicités selon leurs mode propre fondamental [BDR+11]. Hélas, ces dispositifs nécessitent des écoulements à haute vitesse. Une autre alternative consiste néanmoins à utiliser des lms ns ou souples tout en parallélisant les convertisseurs électrostatiques, de la même manière que les convertisseurs piézoélectriques présentées précédemment (gure 1.14b). Dans le cadre de cette thèse, nous privilégierons donc la deuxième possibilité an d'obtenir des dispositifs  basse vi- tesse . Les parois latérales seront recouvertes d'électrodes et la membrane constituée d'un matériau diélectrique an d'assurer son autopolarisation par triboélectricité.

4.5.2 Essais expérimentaux

An de maximiser les échanges de charges par triboélectricité, nous allons utiliser des lms en Teon FEP, un des matériaux les plus  électronégatifs  de la série triboélectrique. Ces lms sont généralement disponibles en épaisseur de 25µm, 50µm, 125µm.

4.5.2.1 Impact des dimensions du lm

La première étape a donc été de tester l'eet de cette épaisseur sur le comportement aéroélastique du lm. Il apparaît que pour une structure type de 16cm2, la vitesse de démarrage a tendance à augmenter avec l'épaisseur du lm, ce qui n'est pas favorable à un fonctionnement basse vitesse (gure 4.18). De plus, l'augmentation de l'épaisseur du lm implique également des fréquences d'oscillations plus faibles. Tout nous invite donc à privilégier des lms de 25µm pour la suite de notre étude. Néanmoins ces lms sont amenés à se dégrader/déformer assez vite lorsqu'ils sont soumis à des vitesses supérieures à 7-8m.s-1, ce qui rend les lms de 50µm plus adaptés aux contraintes de durée de vie de la micro-récupération d'énergie.

0 5 10 15 20 25 30 35 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 h=25µm h=50µm h=125µm Vitesse (m.s-1)

Figure 4.18  Impact de l'épaisseur des lms sur la vitesse de démarrage et sur la fréquence d'oscillation. Il s'agit de lms de Teon FEP : L=8cm, H=2cm semi-connés avec L0=1cm, d=1mm, L1=0 et e=6.5mm.

Comme on peut le voir sur la gure 4.19a, la largeur du lm a peu d'eet sur sa fréquence d'oscillation, signe que les eets de bords sont très faibles dans notre cas (dimensions et vitesse). Néanmoins, l'augmentation de la largeur du lm conduit à une surface capacitive plus grande, ce qui nous permet d'extraire une quantité plus importante d'énergie électrique à fréquence constante. Le choix de la largeur du lm peut donc être, dans les limites du raisonnable4, un paramètre de réglage à choisir en fonction de la puissance électrique requise.

Si le paramètre de largeur H n'apparaît dans nos équations que par l'intermédiaire du nombre adimensionnel H*, il n'en est pas de même pour la longueur du lm L qui apparaît à la fois dans U* et M* (section 3.4.3.3). En augmentant la longueur du lm, la fréquence d'oscillation va diminuer (gure 4.19b), ce qui est logique, étant donné l'adimensionnement f*=fL/U. Le choix de la longueur du lm n'est donc pas trivial étant donné qu'un lm long permet d'obtenir une grande surface capacitive mais une fréquence relativement faible, alors qu'au contraire, un lm plus court possèdera une surface capacitive plus faible mais une plus grande fréquence de fonctionnement. Le choix de ces paramètres dépend également des contraintes de taille liées à l'application désirée.

0 5 10 15 20 25 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 H*=1 H*=0.75 H*=0.5 H*=0.25 Vitesse (m.s-1) 0 5 10 15 20 25 30 35 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 H*=0.5 H*=0.33 H*=0.25 Vitesse (m.s-1) (a) (b)

Figure 4.19  (a) Impact de la largeur du lm (L=8cm). (b) Impact de la longueur du lm (H=2cm). Dans les deux cas, il s'agit de lms de Teon FEP : h=50µm semi-connés avec L0=1cm, d=1mm, L1=0 et e=6.5mm.

4.5.2.2 Optimisation du support de la membrane et de la position des électrodes Certains récupérateurs de l'état de l'art utilisent le support de la membrane comme  générateur  de vortex pour ainsi permettre la vibration de la membrane présente en aval. Dans notre cas, ce lâché de vortex n'est pas le moteur du mouvement oscillatoire de la membrane et l'augmentation de la hauteur du support n'est pas bénéque. En eet, la présence d'un support trop encombrant à tendance à dévier l'écoulement, réduire les eets d'aspiration de la membrane et ainsi diminuer la fréquence d'oscillation de la membrane (gure 4.20a). Dans tout ce qui suivra, nous utiliserons donc un support de membrane de d=1mm de hauteur.

0 5 10 15 20 25 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 d=1mm d=3mm d=4mm d=5mm Vitesse (m.s-1) 0 5 10 15 20 25 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 e=6.5mm e=5.5mm e=4.5mm e=3.5mm e=2.5mm e=1.5mm Vitesse (m.s-1) (a) (b)

Figure 4.20  (a) Impact de la hauteur du support de la membrane (e=6.5mm). (b) Eet de la distance entre le lm et les électrode xes (d=1mm). Dans les deux cas, il s'agit de lms de Teon FEP : L=8cm, H=2cm, h=50µm semi-connés avec L0=1cm et L1=0.

La distance entre la membrane et les électrodes à également un impact sur la dynamique de la membrane. Comme on peut le voir sur la gure 4.20b, la diminution de cette distance entraîne une augmentation de la vitesse de démarrage ainsi qu'une diminution de la fréquence d'oscillation. Néanmoins, plus cette distance est faible, plus une portion importante de la membrane est susceptible d'entrer en contact avec les parois latérales et ainsi induire de fortes variations de capacités. Ce paramètre doit donc être judicieusement choisi en fonction de l'application, à savoir la vitesse de fonctionnement désirée ainsi que les contraintes de taille.

4.5.2.3 Connement total et décalage des parois

Comme mentionné précédemment, nous avons également la possibilité de conner totalement la membrane en ajoutant une deuxième paroi latérale symétriquement opposée à la première par rapport au support (gure 4.17b). Ce design nous permet à la fois de protéger la membrane, de limiter son déplacement latéral à une valeur de 2e, ce qui xe le volume eectif du convertisseur à une valeur xe. Ce connement permet également à la membrane d'osciller et d'entrer en contact avec les parois latérales de manière symétrique, ce qui évite la déformation de celle-ci, augmentant fortement sa durée de vie. Enn, l'ajout d'une paroi latérale permet de s'aranchir d'une connexion électrique avec la membrane en reliant simplement la résistance de charge ou l'électronique de gestion entre les électrodes xes en vis à vis (fonctionnement similaire au slot eect). Expérimentalement, nous avons pu noter que le connement total entraînait une augmentation fâcheuse de la vitesse de démarrage (gure 4.21a). Néanmoins, à partir d'une certaine vitesse, le connement total est bénéque et permet une nette augmentation de la fréquence d'oscillation. En eet, la présence de deux parois latérales permet d'amplier les variations de vitesse en connant le ux et en  empêchant  les lignes de

champ de s'écarter du lm (section 3.4.3.4). Les variations de pression et l'eet d'aspiration qui en résulte sont donc également ampliés, ce qui permet une plus forte accélération de la membrane (gure 4.21a). Il est également intéressant de noter que le connement total permet de réduire l'impact de la distance inter-électrodes avec la fréquence d'oscillation, avec un changement physique de comportement (gure 4.21a).

0 5 10 15 20 25 30 35 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 Vitesse (m.s-1) Confiné Semi-confiné e=6.5mm e=5.5mm e=4.5mm e=3.5mm e=2.5mm e=1.5mm 0 5 10 15 20 25 30 35 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 Vitesse (m.s-1) L1/L=0 L1/L=0,125 L1/L=0.25 L1/L=0.375 L1/L=0.5 (a) (b)

Figure 4.21  (a) Impact du connement total sur le comportement de la membrane (L1=0). (b) Eet du décalage des parois sur la fréquence de battement du lm (e=5.5mm). Dans les deux cas, il s'agit de lms de Teon FEP (L=8cm, H=2cm, h=50µm, L0=1cm, d=1mm).

Jusqu'à présent, la fréquence d'oscillation a été notre seul paramètre de dimensionnement et d'optimisation. S'il est vrai qu'en électrostatique la fréquence est un paramètre clé, la variation de capacité l'est tout autant. Dans le cas présent, cette variation de capacité est intimement liée à la surface de contact entre la membrane et la (les) paroi(s) latérale(s). A haute vitesse (10m.s-1 ou plus), nous venons de voir qu'une faible distance inter-électrodes est envisageable (gure 4.21a) et doit même être privilégiée an que la quasi-totalité de la surface de la membrane entre en contact avec les parois latérales. Sur la gure 4.22, on peut par exemple voir que 3/4 de la surface du lm vient entrer en contact avec les électrodes à partir de 20m.s-1. Si on désire fonctionner à plus basse vitesse, il est nécessaire d'augmenter la distance inter-électrodes (gure 4.21a), la membrane ne sera alors plus capable de venir en contact avec les électrodes les plus proches de l'encastrement du lm, ce qui rend leur présence questionnable. On peut par exemple observer sur la gure 4.22 que seul 20% de la surface du lm entre en contact avec les électrodes à 12.5m.s-1. En faisant varier le  décalage des parois  L1 (gure 4.21b), on s'aperçoit que ce paramètre n'impacte pas la vitesse de démarrage qui reste égale à 3m.s-1. Une faible augmentation de L1 peut néanmoins être bénéque et permettre une légère augmentation de fréquence (L1/L=0.125). Puis, si le décalage est trop important, les résultats sont dégradés avec une diminution de la fréquence d'oscillation (à partir de L1/L=0.25). Idéalement, il faut donc que le  décalage des parois  soit très léger an de maximiser la fréquence d'oscillation, quitte à ne décaler que les électrodes pour les placer sur la partie qui sera en contact avec le lm.

Vitesse U (m.s-1) Surface contact/(LH) U<12.5m.s-1 0 Uc=12.5m.s-1 ≈0.19 U=15m.s-1 0.67 U=20m.s-1 0.77 U=25m.s-1 0.78 U=30m.s-1 0.78

Figure 4.22  Evolution de la surface de contact d'un lm de PVDF avec la vitesse (L=7cm, H=1.5cm, h=25µm, L0=1cm, d=1mm, L1=0 et e=1.5mm).

4.5.2.4 Puissance électrique

Plusieurs membranes ont été testées entre 0 et 20m.s-1. Quelle que soit la conguration choisie (épaisseur, longueur et largeur du lm, distance inter-électrodes), la densité de puissance dépasse les 10µW.cm-2à partir d'environ 10m.s-1(gure 4.23a). A plus haute vitesse (de 15 à 20m.s-1), il est pos- sible d'atteindre des densités de puissance comprises entre 20µW.cm-2et 40µW.cm-2sans précharge de la membrane (fonctionnement purement triboélectrique [PBG+16b]), voire entre 60µW.cm-2 et 150µW.cm-2 en préchargeant la membrane (fonctionnement à électret : [PBG+15a], [PBG+15b]). Dans l'objectif d'obtenir des systèmes produisant un minimum de 100µW pour les besoins des capteurs autonomes, il semble donc qu'un fonctionnement à basse vitesse n'est réalisable qu'avec de grandes surfaces de lm. Comme mentionné dans la section 4.5.2.1, des lms très ns/souples doivent être privilégiés à basse vitesse (la courbe marron de la gure 4.23a par exemple été obtenue avec un lm de Teon FEP de 25µm). De plus, il faut idéalement  choisir  des distances inter-électrodes élevées à faible vitesse et de faibles distances inter-électrodes à haute vitesse (les courbes bleue et verte ont été obtenues avec 2e=3mm, toutes les autres avec 2e=11mm).

Il est également intéressant de noter que la texturation des électrodes est nécessaire pour éviter l'écrantage de la tension mentionnée précédemment (gure 1.14). Comme on peut le voir sur la gure 4.23b, les courbes colorées représentent les puissances électriques produites par chaque électrode du récupérateur alors que la courbe noire hachurée représente la puissance produite lorsque les 4

électrodes sont connectées ensemble. On voit donc très clairement l'intérêt de la parallélisation des convertisseurs dans ce cas, avec une multiplication de la puissance par un facteur 3.

0.1 1 10 100 0 2 4 6 8 10 12 14 16 18 20 [PER2015a] [PER2015c] [PER2016c] [PER2016c] [PER2016c] [PER2016c] [PER2016c] [PER2016c] -2 Vitesse (m.s-1) 200 0 50 100 150 200 Résistance de charge (MΩ) E4 E3 E2 E1 (a) (b)

Figure 4.23  (a) Evolution de la densité surfacique de puissance électrique de diérents dispositifs entre 0 et 20m.s-1. (b) Impact de la texturation des électrodes sur la puissance récupérée (L=5cm, H=2cm, h=50µm, L0=1cm, d=1mm, L1=1cm et U=15m.s-1), les électrodes E1, E2, E3 et E4 sont respectivement positionnées à 1cm, 2cm, 3cm et 4cm de l'encastrement et mesurent chacune 1cm de long sur 2cm de large. La courbe noire hachurée représente la puissance produite lorsque les 4 électrodes sont connectées ensemble.