L’électrodéposition est une méthode qui consiste à imposer un courant électrique entre deux électrodes plongées dans une solution contenant un sel métallique du métal à déposer. Suivant les conditions d’élaboration (bain d’électrolyse, pH, conductivité, température, additifs, densité de courant, régime continu, régime pulsé, …), il est possible d’obtenir des tailles de grains nanométriques. Cette technique d’élaboration peut présenter l’inconvénient d’introduire pendant la déposition des impuretés présentes dans la solution électrolytique. Ces impuretés sont alors susceptibles d’influencer fortement le comportement physico-chimique du dépôt. Les dépôts réalisés présentent un faible taux de porosité, des tailles de grains de 10 nm peuvent être obtenues en présence d’additifs. Les défauts spécifiques à chaque procédé d’élaboration vont conditionner les caractéristiques mécaniques et électrochimiques.
(a) (b)
Figure II. 1 : Les trois principaux procédés PVD a) Procédé d’ablation laser,
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II. 3. 3. 1 Mécanisme d’électrodéposition
L’électrodéposition d’un métal implique la réduction d’ions métalliques d’une solution sur un substrat conducteur. Dans le cas d’un système électrochimique simple, une électrode d’un métal M plongée dans une solution d’un de ses sels Mn+, il s’établit un potentiel d'équilibre du au transfert à l’interface métal-électrolyte.
𝑀 ↔ 𝑀𝑛++ 𝑛𝑒− (II.1)
L’électrode est caractérisée par un potentiel d’équilibre Eeq défini par l’équation de Nernst qui dépend du potentiel normal d’oxydoréduction du couple Mn+⁄ et de l’activité des M espèces Mn+dans l’électrolyte [51-52]:
𝐸𝑒𝑞= 𝐸𝑀0𝑛+⁄𝑀+𝑅𝑇𝑧𝐹ln [𝑎𝑀𝑛+
𝑎𝑀 ] (II.2) Le potentiel d’équilibre peut être déterminé expérimentalement en mesurant la différence de potentiel ∆𝐸 entre cette électrode et une électrode de référence, c'est-à-dire une électrode dont le potentiel est constant et indépendant du milieu dans lequel elle est plongée. L’équation de Nernst permet de distinguer deux domaines de potentiel (Figure II.2) en supposant qu’il n’y a, ni formation d’alliage, ni interdiffusion :
- Lorsque le potentiel appliqué (E) à une électrode, est inférieur à Eeq, il est dit cathodique et nous parlerons de dépôt en surtension ou Over Potential Deposition (OPD).
- Lorsque le potentiel appliqué (E) est supérieur à Eeq, il est dit anodique et nous parlerons de dépôt en sous-tension ou Under Potential Deposition (UPD).
Le processus d’électrocristallisation (Fig. II.4) peut être décrit de manière simplifiée par les trois étapes suivantes :
1) Le transfert de masse
Ce transfert correspond à l’apport des ions hydratés du sein de la solution jusqu’à l’interface métal-solution., sous l’action associée de trois effets :
La migration : Déplacement des espèces sous l’influence d’un champ électrique.
La diffusion : Déplacement des espèces sous l’influence d’un gradient de concentration. La convection : Transport hydrodynamique ou par agitation mécanique.
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2) Le transfert de charge
Le transfert de charge se fait à partir de la double couche électrique vers la surface de l’électrode. Il peut se décomposer en trois étapes :
* Adsorption de l’ion solvaté sur la surface de l’électrode.
* Désolvatation de l’ion, c'est-à-dire perte de la gaine de solvatation.
* Diffusion et fixation de l’ion adsorbé (ad-ion) sur un défaut de site de la surface de l’électrode.
3) La cristallisation
Le développement du réseau cristallin à partir des adions dépend maintenant substantiellement des aspects de la surface de l’électrode (nature, état de surface, contaminations, additifs, température, surtension…). L’adion se développant préférentiellement sur une surface plane, il diffuse alors vers une imperfection du réseau cristallin afin de s’y intégrer.
A partir des trois étapes d’un processus d’électrodéposition détaillées ci-dessus, la formation d’un dépôt électrolytique nécessite aussi l’utilisation d’un bain de bonne conductivité et d’une satisfaisante stabilité dans l’objectif de reproductibilité. Les choix de potentiels de décharge, des gammes de température, des densités de courant et d’agitations, constituent autant de paramètres à gérer et à déterminer afin d’obtenir des dépôts correspondant aux caractéristiques recherchées.
L’adjonction de certaines substances dans l’électrolyte peut engendrer des modifications de cinétiques et de croissances des dépôts. Ces additifs métalliques ou organiques
Figure II. 3 : Modèle d’un processus d’électrodéposition d’un métal sur
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permettent de modifier sensiblement les propriétés physico-chimiques des dépôts et de contrôler certaines caractéristiques (taille des cristallites, absence de piqûres…)
II. 3. 3. 2 Nucléation et croissance électrochimique
Les modèles de la déposition électrochimique sur un substrat étranger admettent que la formation de nuclei (germes) se produit à la surface du substrat sur certains sites spécifiques
[51-52]. Le mécanisme de nucléation est généralement décrit par deux types [53]: nucléation
instantanée et nucléation progressive. Ainsi, le processus de nucléation peut se produire à des vitesses différentes (rapide ou lente), en fonction du système (liquide dans un gaz, cristaux dans un liquide, etc). Lorsque la vitesse de nucléation est rapide, tous les sites actifs de la surface sont remplis dés les premiers stades de dépôt, et les grains métalliques obtenus seront plus fines : on parle alors de nucléation instantanée (Figure II.4). C’est le cas de dépôt des métaux suivants sur un substrat de Si : Pb/Si(111) [54,55], Co/Si(100) [56,57] et Ag/Si(111) [58].
Lorsque la vitesse de nucléation est lente, les germes se développent sur les sites de la surface en fonction du temps, et les grains métalliques obtenus seront de forme aléatoire. Dans ce cas la nucléation est dite progressive (Figure II.5). Exemples : Co/Si(111) [56], Co/Si (100) [59], Au/Si (111) [60] et Cu/Si (111) [61,62].
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II. 4 Modèles classiques de croissance
On parle d’homo-épitaxie lorsque le matériau déposé et le matériau support sont identiques et d’hétéro-épitaxie dans le cas contraire. Pour que la structure du substrat soit conservée, les deux matériaux doivent avoir un paramètre de maille proche l’un de l’autre. De plus, les propriétés physico-chimiques (coefficient de dilatation thermique, composition chimique, …) des matériaux peuvent être différentes et influencer les propriétés structurales. Quand le film et le substrat présentent un désaccord de maille non nul, les deux mailles peuvent s'adapter pour accorder leurs paramètres cristallographiques dans le plan de croissance : c'est une croissance pseudo-morphique (Fig. II. 6).
La croissance pseudomorphique est en général le mécanisme qui prévaut au début de la croissance d'une couche contrainte. Ce phénomène a lieu entre des matériaux différents mais cristallisant dans la même structure cristallographique. Près de l'interface, les premières couches du film s'adaptent à la maille du substrat.
Lorsque l'épaisseur de la couche contrainte augmente, l’énergie élastique accumulée dans le système augmente. La relaxation de cette énergie conduit à différents modes de croissance que nous allons décrire par la suite.