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Investigating SEM-contour to CD-SEM matching

Investigating SEM-contour to CD-SEM matching

3.4 Influence of the calibration anchor image In our dataset, we made sure to have always a few repetitions (8 times) of the very same pattern (see Fig. 6) measured at different locations on the wafer. This gives us the possibility to estimate the influence of the calibration anchor image itself on the matching performance, by calibrating a specific instance of a pattern but with different SEM images with the same matching dataset each time. Fig. 14 shows a significant performance variation between 2 anchors. The Anchor2 is showing clearly a double distribution of the matching values that could be attributed to a symmetrical separation between line and space patterns. By overlaying the available reference edge points (in white in Fig. 14) and the contours (in magenta in Fig. 14) from each anchor image, we can see a very good matching of the edge detection for the first anchor, whereas the second anchor image reveals a few locations with high discrepancy (see orange arrows in Fig. 14 ). Note that the measurement error shifts with the same amplitude the matching distribution of the line and space patterns but with opposite values, which is to be expected because the sum of neighbor line and space -equal to a pitch- remains per definition constant.
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Direct Observation of the Surface Topography at High Temperature with SEM

Direct Observation of the Surface Topography at High Temperature with SEM

These results clearly demonstrates that it is possible to observe directly 3D material surfaces at high temperature. The maximum magnification that was achieved in the present study is X4000. This is a relatively low magnification for a scanning electron microscope but the sample that was studied does not exhibit details at higher magnification. Regarding the image resolution on 3D reconstructions already reported from SEM images recorded at room temperature (Podor et al, 2019a), it is possible to go to much higher magnifications while keeping details on the images. Indeed, the quality of the 3D
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Characterization of the dentin microstructural components: a FIB-SEM analysis.

Characterization of the dentin microstructural components: a FIB-SEM analysis.

On individual SEM images, it was observed that PTD was also surrounding the fine branches. As it was shown that lateral branches were weak areas in the tissue [4], PTD could constitute an interesting natural reinforcement. It was also noticed that the entanglement of collagen fibrils and hydroxyapatite crystals in ITD is observed. A study focused on an ITD area could improve the knowledge on the microstructure at the lower scale.

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SEM techniques for the bio- and organo-mineral interface characterisation in environmental science

SEM techniques for the bio- and organo-mineral interface characterisation in environmental science

required for maintaining water or removing it with adapted protocols. The first experiments on STEM in “wet” environmental cells (with water or gas) were reported by M. Von Ardenne at the late 30s [7]. In 1970, the first SEM images of a hydrated sample were reported by W. C. Lane [8], using a specimen stub with a water reservoirwhich ejected a vapor jet to maintain a humid gas layer over the specimen, with no othermodification made to the microscope. Since then the interest of scientists concerned by life science for electron microscopy has grown continuously. We applied conventional, low vacuum and cryo-SEM, STEM-in SEM and TEM techniques for the observation of biofilms involved in bio-remediation processes in interaction with mineral and metallic materials.For this, appropriate procedures and protocols were applied or adapted to address the different problems caused by these specific samples made of a mixture of “soft” hydrated biological samples and “high hardness” mineral particles. These observations enabledto understand the behavior and the internal structure of biofilms in contact with mineral or metallic particles, and the ability of biofilms to fix iron nanoparticles or to bind to sand particles.
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A combined FEG-SEM and TEM study of silicon nanodot
assembly

A combined FEG-SEM and TEM study of silicon nanodot assembly

To discuss the sizes given by different techniques, it should first considered which aspects each technique is probing. For instance, in diffraction the size given by the line width is related to the one of the diffracting domain, i.e. the size of the domain in which diffracted waves are coherent enough to interfere. Such domain can be depicted as a “good” crystal one without to much strain and de- fects. In HRTEM, the dot size is given by the area in which lattice fringes can be imaged, this is also possible in a do- main having a quite well defined crystalline structure. On the other hand, the TEM phase retrieval method sees the nanodots through the projected potential and is therefore less sensitive to the disorder or distortion within the dots. Regarding FEG-SEM images, since the secondary electron mode is essentially probing the topography, they are not sensitive to the dot structure. There is then an interpreta- tion which can reconcile all the results: the dots are formed by a crystalline core of size L ∼ 3–3.6 nm and a thin shell showing imperfect crystallinity. The nanodots will show then a larger size ( ∼5 nm) or a smaller one (∼3 nm) de- pending on the investigation technique.
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3D-SEM height maps series to monitor materials corrosion and dissolution

3D-SEM height maps series to monitor materials corrosion and dissolution

STM images are very accurate but difficult to record and limited to very small ROI (few square nanometers) [ 7 ]. The use of stereoscopic images recorded with an Environmental Scanning Electron Microscope (ESEM) to reconstruct and compare height maps of the surface of a material during its dissolution has not been re- ported previously. However, it appears as an interesting alternative to already reported methods. Indeed, the calculation of 3D surfaces from SEM tilted image series is now a well-established method. Several com- mercial softwares (Mountains®, Alicona Mex) are available and usually used in research and industry. This method is also sometimes directly implemented in SEM driving systems (Zeiss, Tescan SEM). Furthermore, the continuous development of optimized calculation procedures for 3D surface reconstructions by several research groups is also an active field of research, clearly evidencing the real possibilities offered by this technique [ 14–18 ]. Indeed, the reconstruction of 3D surfaces using this technique only requires a set of 2 (or 3) tilted SEM images. The recording of these images only last for few minutes and the 3D calculation process last for 5 to 30 min (depending on the computer power as well as on the image size). In the present work, the experimental protocol for the acquisition of stereoscopic SEM images allowing 3D reconstruction is first reported. Then, the image processing developed using height maps is detailed and the obtained results are compared with AFM images in order to validate the method. Last, different ways to use the 3D-SEM height maps series to characterize materials corrosion and dissolution are described.
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Des images à écrire

Des images à écrire

et mémoire sont donc appelées à changer de sens, à mesure que les traces dont elles sont faites changeront de matière. Assimilées depuis la fin du XIX e siècle à des fragments prélevés sur le continuum du monde, les images relèveront désormais de l'information, c'est-à-dire de l'écriture. Les effets de cette mutation sont cependant d'autant plus difficiles à discerner que le numérique s'introduit dans la culture sur le mode de l'hybridation. Non pas en vertu d'une logique de transition – que connaît n'importe quelle in- novation – mais parce qu'il désigne une technique de no- tation dont la spécificité est précisément de pouvoir em- brasser tous les systèmes de traces antérieurs. La plupart du temps, les objets qui en résultent n'apparaissent donc pas comme radicalement autres, mais comme des êtres hy-
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Voix et images

Voix et images

La voix que nous forçons semble être une partie physique du corps aussi peu probléma- tique que le dos ou les yeux que nous forçons, peut-être les cordes vocales; mais il est certain [r]

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La peur des images

La peur des images

Un retour à la Gorgone, où l’exception constitue la norme, sa frontalité interpellant toujours le spectateur, permet de démontrer que, quelle que soit l’origine de cette présentation frontale, les artistes grecs l’ont utilisée pour indiquer picturalement sa nature incontemplable, en la désignant aux regards comme l’impossible vision. La frontalité de la Gorgone est effet complémentaire d’un détournement intra- iconique. Persée détourne la tête apostrephei en la décapitant, ou lorsqu’il pétrifi e Polydectès. La peinture italiote met en scène des équivalents de la séquence du bouclier-miroir : Persée regarde le refl et de la tête brandie par Athéna : la vue de l’invisible est possible à travers son duplicata. Le double expurge la nocivité de l’original ( sauf exception racontée par Pausanias) . Ces images qui montrent l’iconicisation de Méduse, justifi ent la profusion paradoxale de ces représentations.
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Au-delà des images

Au-delà des images

L’archive ouverte pluridisciplinaire HAL, est destinée au dépôt et à la diffusion de documents scientifiques de niveau recherche, publiés ou non, émanant des établissements d’enseignemen[r]

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Des images aux votes

Des images aux votes

__________ Le faisceau de traits de personnalités constituant ce que nous avons nommé ici "images des candidats" constitue très certainement un élément crucial dans la décision électorale. Ces images, on l'a vu ici, sont étroitement liées aux positionnements politiques de l'individu. Ces mêmes positionnements, on le mesure à nouveau, continuent à rendre compte, pour partie, des intentions ou des probabilités de vote. Mais aujourd'hui, dans un tiers des cas environ, l'impossibilité ou le refus de se situer clairement sur la dimension gauche/droite, limite l'efficacité de ce mécanisme traditionnel de production des choix électoraux. La perception par les individus de qualités ou de défauts chez les candidats supplée vraisemblablement à certains mécanismes idéologiques : faute de se situer sur un continuum politique qui désignait le candidat légitime, une part des électeurs tirent argument de la personnalité supposée des candidats (tes) pour construire leur décision électorale. Au-delà de ce mécanisme complémentaire, l'analyse statistique nous invite à penser que "toutes choses égales par ailleurs" - c'est à dire ici quelle que soit la proximité ou le positionnement sur l'échelle gauche droite - , la perception des qualités des candidats est le premier facteur d'explication des intentions ou des probabilités de vote.
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Images et imagination

Images et imagination

Groupe Son et images (23) Le script est moins détaillé que dans le cas précédent. Les étudiant-e-s, répondant à la question de l’apport de l’image, le jugent inexistant. Cette remarque est à prendre avec précaution car il est bien difficile de savoir ce qui a aidé et ce qui n’a pas aidé. Un étudiant mentionne que l’image l’a aidé à identifier les différentes voix, un autre que les bancs-titres l’ont aidé, une autre enfin souligne qu’elle a mieux compris en se concentrant sur le son sans regarder l’image. Quelques un-e-s mentionnent, et c’est sans doute assez juste, que les images confirment le sujet mais n’aident pas à la compréhension du texte.
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jouer avec les images

jouer avec les images

2. Jouer avec des images en nuances de gris Enregistrer une photo au format JPG ou PNG en niveau de gris dans un dossier appelé : jouer_avec_images Vous appellerez votre image « image_gris » Attention : Une photo en noir et blanc n’est pas forcément une image en niveau de gris ; chaque pixel peut avoir une composante R, V et B. Bien lire les informations de l’image.

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Arrêts sur images

Arrêts sur images

D'abord peut être parce qu'il s'agit d'une revue en français et que les scientifiques de la francophonie, spécialement les agronomes, ont besoin de cette langue po[r]

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slides avec images

slides avec images

Les neutrons ( DB 0,2 nm) sont défléchis dans chaque lame par diffraction de Bragg. Lame de phase inclinée[r]

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Développement d'une méthodologie adaptée à l'industrie microélectronique pour la reconstruction topographique par imagerie SEM à faisceau inclinable

Développement d'une méthodologie adaptée à l'industrie microélectronique pour la reconstruction topographique par imagerie SEM à faisceau inclinable

a la r´ esine et une mesure SEM qui n’endommage pas les plots de r´ esine. Mod` eles de correction des masques de photolithographie En lithographie optique, les techniques d’am´ elioration de r´ esolution (Resolution Enhan- cement Techniques) sont utilis´ ees pour optimiser les motifs pr´ esents sur les masques afin de corriger les effets de proximit´ e optique (Optical Proximity Correction). La mise en œuvre des ces corrections se base notamment sur des mod` eles optiques permettant de pr´ edire les contours de r´ esine sur le wafer en fonction des motifs pr´ esents sur le masque. La calibration de ces mod` eles n´ ecessite une grande quantit´ e de mesures SEM sur des motifs vari´ es. La qualit´ e des informations de CD extraites de ces mesures est critique pour obtenir un mod` ele OPC suffisamment pr´ ecis. Pour autant qu’elle puisse ˆ etre appliqu´ ee sur des motifs de r´ esine, la m´ ethodologie d´ evelopp´ ee au cours de ce travail de th` ese pourrait permettre de rendre plus robustes des donn´ ees de calibration des mod` eles en assurant une mesure des motifs ` a hauteur constante quelle que soit la forme du motif, son environnement, sa pente...
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Dimensional measurement of TiO2 particles in powder form by SAXS and SEM

Dimensional measurement of TiO2 particles in powder form by SAXS and SEM

a Laboratoire National de métrologie et d’Essais – 29 avenue Hennequin, 78197 Trappes Cedex (France) b LIONS, NIMBE, CEA, CNRS, Université Paris Saclay, CEA Saclay, 91191 Gif-sur-Yvette, France Developments of nanomaterials had an important known evolution during the last thirty years for different industrial sectors 1 . Titanium dioxide is one of the most produced and exploited nanomaterials in the industry 2 . Indeed, TiO 2 has various applications; it can be used as a white pigment for paint and food products and is also used as a UV filter in sunscreen lotions. The characterization of TiO 2 nanoparticles, contained in consumer products remains a challenge because of their structure (polydispersity, polymorphism) and their environment which remains generally complex and requires several characterizations techniques. Electron microscopies are the first recommended techniques for the dimensional characterization of nanomaterials. In comparison with the results obtained by the scanning electron microscope (SEM), another technique, SAXS (Small Angle X-Ray Scattering), can be used for the indirect characterization of nanomaterials (simple or introduced into a complex matrix). The first step of this study is to compare the dimensional measurements of TiO 2 nanoparticles in powder form with two different techniques: SEM (direct method) and SAXS (indirect method) and with two different measurands, an equivalent area diameter for SEM and specific surface area for SAXS. The second part should be to avoid the sampling preparation steps with in situ dimensional measurement.
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ARTheque - STEF - ENS Cachan | Le développement durable en images : images risquées ou images à risques

ARTheque - STEF - ENS Cachan | Le développement durable en images : images risquées ou images à risques

Nous n'en sommes pas là. Pourtant, force est de constater que l'image prime sur bien d'autres modes d'expression. Image de soi d'abord, reflétée dans le miroir des magazines, des top-models, dans les carrosseries des voitures, symboles d'un standing bien civilisé, dans le regard des autres, révélateur de nos forces et de nos faiblesses. Images que l'on accroche aussi à nos a priori, à nos certitudes, à nos valeurs, à nos convictions. Image que l'on donne, que l'on reçoit, que l'on véhicule, que l'on répand… Images qui nous agressent aussi, de toute part et en un éclair, dans les spots publicitaires, dans les clips vidéos, les CD-Rom, les revues, dans la rue ou chez soi.
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Les images cachées

Les images cachées

Pour nous aider dans ce décryptage des images cachées, ou plutôt pour essayer de comprendre pourquoi leur créateur avait décidé de les cacher, on peut se tourner vers les textes qui témoignent d’une réglementation concernant les possibilités de voir ou de ne pas voir les images lorsqu’elles sont cachées. Pausanias mentionne un certain nombre des interdits concernant les statues de culte (sur cette question, voir Hewitt, 1909, 83-91 ; Corbett, 1970, 149-158), mais nous souhaitons attirer ici l’attention sur un autre type de texte : les règlements inscrits sur des stèles affi chées dans les sanctuaires. Prenons l’exemple le plus probant, un règlement de l’Acropole
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ARTheque - STEF - ENS Cachan | Femmes en images, images de femmes

ARTheque - STEF - ENS Cachan | Femmes en images, images de femmes

Définir un rôle d'homme ou de femme n'est pas obligatoirement évident.Le choix raisonné (il ne devrait jamais être le fruit du hasard ou inspiré par des circonstances extérieures toujour[r]

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