résistance à la gravure
Etude de la gravure du SiN contrôlée a l'échelle atomique par implantation d'O2 suivi de gravure ultra-sélective SiO2/SiN en plasma déporté NF3/NH3
207
De la gravure scientifique à la gravure artistique : Le burin de Pierre Lyonet et de Cécile Reims
21
Étude et passivation des défauts introduits par la gravure de vias sur cellule photovoltaïque triple jonction
110
Analyse des processus de dérive lors de la gravure profonde du silicium dans des plasmas SF6 et C4F8
115
Traitements plasmas Post Gravure pour l'intégration des matériaux SiOCH poreux dans les interconnexions en microélectronique
178
Etude de la gravure des contacts en présence d’un double masque pour les nœuds technologiques avancés
204
Développement et caractérisation de procédés de gravure des espaceurs Si3N4 et SiCO pour la technologie FDSOI 14nm.
191
Fabrication et caractérisation de nanocristaux de silicium localisés, réalisés par gravure électrochimique pour des applications nanoélectroniques
154
Résistance des matériaux
185
Développement des techniques de scatterométrie en temps réel pour le suivi des procédés de gravure plasma
113
Développement des techniques de scatteromètrie en temps réel pour le suivi des procédés de gravure plasma
4
Reste et résistance linguistique
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Résistance des bâtiments à l'incendie
7
Calcul de la résistance au feu
7
Capacité de résistance des coopératives
265
Une résistance non résistante ?
35
Volontariat et résistance officielle
10
Les dérivées en résistance des matériaux
15
Viande, environnement et résistance
4
3-La résistance électrique
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