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Développement et caractérisation de modules Technologiques sur semiconducteur GaN : application à la réalisation de cathodes froides et de transistor HEMT AlGaN/GAN

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Academic year: 2021

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Texte intégral

(1)Développement et caractérisation de modules Technologiques sur semiconducteur GaN : application à la réalisation de cathodes froides et de transistor HEMT AlGaN/GAN Ephrem Malela-Massamba. To cite this version: Ephrem Malela-Massamba. Développement et caractérisation de modules Technologiques sur semiconducteur GaN : application à la réalisation de cathodes froides et de transistor HEMT AlGaN/GAN. Electronique. Université de Lyon, 2016. Français. �NNT : 2016LYSE1078�. �tel-02917950�. HAL Id: tel-02917950 https://tel.archives-ouvertes.fr/tel-02917950 Submitted on 20 Aug 2020. HAL is a multi-disciplinary open access archive for the deposit and dissemination of scientific research documents, whether they are published or not. The documents may come from teaching and research institutions in France or abroad, or from public or private research centers.. L’archive ouverte pluridisciplinaire HAL, est destinée au dépôt et à la diffusion de documents scientifiques de niveau recherche, publiés ou non, émanant des établissements d’enseignement et de recherche français ou étrangers, des laboratoires publics ou privés..

(2) .       1ƒG¶RUGUH117  . 7+(6(GH'2&725$7'(/¶81,9(56,7('(/<21 2SpUpHDXVHLQGH. /¶8QLYHUVLWp&ODXGH%HUQDUG/\RQ . (FROH'RFWRUDOH1ƒ 0$7(5,$8;'(/<21. . 6SpFLDOLWpGHGRFWRUDW6FLHQFHVGHOD0DWLqUH   6RXWHQXHSXEOLTXHPHQWOH 3DU. 0$/(/$0$66$0%$(SKUHP-DQGULV0DJH. . 7,75( 'pYHORSSHPHQWHW&DUDFWpULVDWLRQGH0RGXOHV 7HFKQRORJLTXHVVXU6HPLFRQGXFWHXU*D1 $SSOLFDWLRQjOD5pDOLVDWLRQGH&DWKRGHV)URLGHVHWGH 7UDQVLVWRUV+(07$O*D1*D1.  .  Devant le jury composé de : . Marie-Paule BESLAND Daniel ALQUIER Didier THERON Thierry MELIN Raphaël AUBRY Frédéric ANDRE Christian BRYLINSKI Jean-Claude JACQUET. D.R CNRS Professeur D.R CNRS C.R CNRS Docteur Ingénieur Professeur Ingénieur. IMN Nantes GREMAN Tours IEMN Lille IEMN Lille THALES TRT Thales Electron Devices LMI Lyon 3-5Lab. Rapporteur Rapporteur Examinateur Examinateur Encadrant Industriel Examinateur Directeur de thèse Invité. ϭ .

(3) . UNIVERSITE CLAUDE BERNARD - LYON 1 Président de l’Université. M. le Professeur Frédéric FLEURY. Président du Conseil Académique. M. le Professeur Hamda BEN HADID. Vice-président du Conseil d’Administration. M. le Professeur Didier REVEL. Vice-président du Conseil Formation et Vie Universitaire. M. le Professeur Philippe CHEVALIER. Vice-président de la Commission Recherche. M. Fabrice VALLÉE. Directeur Général des Services. M. Alain HELLEU. COMPOSANTES SANTE Faculté de Médecine Lyon Est – Claude Bernard. Directeur : M. le Professeur J. ETIENNE. Faculté de Médecine et de Maïeutique Lyon Sud – Charles Mérieux. Directeur : Mme la Professeure C. BURILLON. Faculté d’Odontologie Institut des Sciences Pharmaceutiques et Biologiques Institut des Sciences et Techniques de la Réadaptation Département de formation et Centre de Recherche en Biologie Humaine. Directeur : M. le Professeur D. BOURGEOIS Directeur : Mme la Professeure C. VINCIGUERRA Directeur : M. le Professeur Y. MATILLON Directeur : Mme la Professeure A-M. SCHOTT. COMPOSANTES ET DEPARTEMENTS DE SCIENCES ET TECHNOLOGIE Faculté des Sciences et Technologies. Directeur : M. F. DE MARCHI. Département Biologie. Directeur : M. le Professeur F. THEVENARD. Département Chimie Biochimie Département GEP. Directeur : Mme C. FELIX Directeur : M. Hassan HAMMOURI. Département Informatique. Directeur : M. le Professeur S. AKKOUCHE. Département Mathématiques. Directeur : M. le Professeur G. TOMANOV. Département Mécanique. Directeur : M. le Professeur H. BEN HADID. Département Physique. Directeur : M. le Professeur J-C PLENET. UFR Sciences et Techniques des Activités Physiques et Sportives Directeur : M. Y. VANPOULLE Observatoire des Sciences de l’Univers de Lyon. Directeur : M. B. GUIDERDONI. Polytech Lyon. Directeur : M. le Professeur E. PERRIN. Ecole Supérieure de Chimie Physique Electronique. Directeur : M. G. PIGNAULT. Institut Universitaire de Technologie de Lyon 1. Directeur : M. le Professeur C. VITON. Ecole Supérieure du Professorat et de l’Education. Directeur : M. le Professeur A. MOUGNIOTTE. Institut de Science Financière et d'Assurances. Directeur: M. N. LEBOISNE. Ϯ .

(4) . A la mémoire de ma grand-mère Claire Mayinga A la mémoire de grand-mère Véronique Sénga A ma femme Nadie Malela-Massamba A ma famille A mes amis  ϯ .

(5) . Remerciements. Les travaux de recherche présentés dans ce manuscrit ont été réalisés au sein du laboratoire IIIV lab à Marcoussis, ils ont bénéficié de la collaboration entre le III-V lab et l’université Claude Bernard Lyon I (laboratoire matériaux), ainsi que du financement de Thales Electron Devices et de l’Agence Nationale de la Recherche (ANR). Je tiens à remercier Thierry Lemoine, Michel Caplot ainsi que Frédéric André pour avoir initié et soutenu ce projet de recherche. Je tiens également à remercier Dominique Pons (directeur du III-Vlab) et Sylvain Delage (responsable du groupe microélectronique) pour leur accueil au sein du III-Vlab ainsi que pour leur contribution au bon déroulement de ces travaux. Je remercie grandement Raphaël Aubry et Jean-Claude Jacquet pour avoir encadré mes travaux durant les trois années de recherche. Auprès de Raphaël Aubry j’ai acquis une connaissance étendue sur la fabrication des composants microélectroniques. Auprès de Raphaël Aubry, j’ai bénéficié d’un transfert de savoir technologique sans limite. Auprès de Jean-Claude Jacquet j’ai approfondi mes connaissances scientifiques sur la physique des semiconducteurs et des composants électroniques. Je tiens à remercier le Professeur Christian Brylinski pour avoir encadré ce projet de recherche en la fonction de directeur de thèse. Ses suggestions m’ont permis de résoudre les problèmes scientifiques rencontrés durant mes travaux de recherche. J’ai grandement apprécié ses explications détaillés et pédagogiques qui ont fortement contribués à l’éclaircissement de ma lanterne scientifique. Je remercie Marie-Antoinette di Forte Poisson (responsable de l’équipe épitaxie MOCVD), Stéphane Piotrowicz (responsable de l’équipe caractérisation) ainsi que Christian Dua (responsable de l’équipe fiabilité) pour leur aide précieuse dans l’obtention d’échantillons ainsi que dans la caractérisation électrique des composants fabriqués au cours de mes travaux. Je remercie mes ‘‘compagnons’’ de bureau Benjamin, Cédric, Léni, Piero, Michele. Merci pour votre bonne humeur durant ces trois années. Je tiens à remercier tous les membres de l’équipe ‘‘Techno’’ dans laquelle j’ai évolué, à savoir Raphaël Aubry, Corinne Dernazaretian, Nicolas Michel, Olivier Patard, Michelle Magis, Stéphane Bernard, Karol Cico.  ϰ .

(6) . Corinne, merci pour ton soutien, ton amitié et surtout pour ce fou rire nuageux inoubliable. Je tiens à remercier Karol Cico pour son aide lors de la fabrication et la caractérisation des composants ‘‘Normally-off’’. Je remercie également Olivier Jardel, Mourad Ouali, Didier Lancerau, Éric Chartier, et Stéphanie Léger dont les compétences en caractérisation électrique nous ont permis de sonder les performances des composants. Je tiens également à remercie Laurent Tessier pour avoir réalisé le découpage de nos composants. Je tiens grandement à remercier Bernadette pour avoir réalisé le câblage de nos composants cathodes. Je tiens à remercier Bernard Carnez pour son aide lors de l’analyse des donnés électrique de nos composants. Je souhaite également remercier toutes les formidables personnes côtoyées sur le site du III-V lab de Marcoussis : Pascale T, Erwan M, Nicolas S, Maurice T, Michele P, Guillaume C, Ronan G, Jérémy D, David C, Virginie M, Filipe J, Sara S, Sophie B, Nadine L, Francis P, Frédéric P, Alain B, Philipe B, Muriel R, Alexandre G, Delphine L, Christophe C, Christophe J, Julien D, Yohann M, Olivier D, Estelle, Geneviève, Jean-François P. ‘‘Et les footeux du mardi’’ : Philipe, Christophe, David, Edmond, Stéphane, Paul, Lorenzo, Olivier, Kamel, Ramzi, Emile, Patricio, Jean-Christophe. Je souhaite également remercier toutes les formidables personnes côtoyées sur le site du III-V lab de Palaiseau : Michel G, Bruno G, Xavier M, Shaillandra B, Bouzid S, Mathieu C, Didier T, Nathalie M, Maria C, Maël N, Greg M, Stéphane X, Je tiens à remercier mes amis qui m’ont soutenue et qui ont supporté mon absence durant la rédaction de mon manuscrit : Yhan, Yohan, Mailyse, Greg, Nabil, Pierrick, Venture, Patrice, Hatem, Céline, Frank, Arouna, Mamadou, Eddy, Silué, Ouda, Régis, Aila, Junior, Ingrid. Un grand merci à tous mes amis de l’association SADEMA. Que nos projets de solidarité internationale soient couronnés de succès et de grandes réalisations. Je tiens finalement à remercie ma famille pour ses encouragements qui ont été pour moi une source d’énergie inépuisable. Je remercie tout particulièrement mes parents pour la qualité de leur éducation, pour m’avoir humblement transmis des bases stables et justes. A Nadie Malela-Massamba, merci pour tout ; que ton amour et ta joie puissent éternellement paver le chemin de nos prochains. Pour toi Eman Malela-Massamba.  ϱ .

(7) . Tables des matières Introduction générale ........................................................................................ 16 ǯ±‡”‰‡ ‡†‡•‡‹ ‘†— –‡—”•

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(54)

(55) ǦͳǤ

(56) –”‘†— –‹‘ǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤͺͺ

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(59)

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(61)

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(69)

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(87)

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(113)

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(116)

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(118)

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(123)

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(155)

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(165)

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(176)

(177)

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(179)

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(185)

(186) ǦͳͳǤ‘ Ž—•‹‘ Šƒ’‹–”‡ʹǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤͳ͸Ͳ. Bibliographie Chapitre II ............................................................................... 162 III - Chapitre 3 : .............................................................................................. 171 Développement de briques technologique pour la fabrication de transistors HEMT AlGaN/GaN : Réalisation de transistors MOS-HEMT Normally-off ........................................................................................................................... 171

(187)

(188)

(189) ǦͳǤ”ƒ•‹•–‘”• „ƒ•‡†‡•‡‹Ǧ ‘†— –‡—”•

(190)

(191)

(192) Ǧǣ

(193) –”‘†— –‹‘ ǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤͳ͹ʹ

(194)

(195)

(196) ǦͳǤͳǤ‘’‘•ƒ–•†‡’—‹••ƒ ‡ǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤͳ͹͵

(197)

(198)

(199) ǦͳǤʹǤ–ƒ–†‡Žǯƒ”–•—”Žƒ”±ƒŽ‹•ƒ–‹‘–‡ Š‘Ž‘‰‹“—‡†‡–”ƒ•‹•–‘”• Ž ƒȀ ƒ ǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤͳ͹Ͷ.

(200)

(201)

(202) ǦʹǤ‹ƒ‰”ƒ‡†‡„ƒ†‡†ǯ—‡•–”— –—”‡ Ž ƒȀ ƒǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤͳ͹͸

(203)

(204)

(205) ǦʹǤͳǤƒŽ —Ž†‡Žƒ†‡•‹–±†‡’‘”–‡—”†ƒ•Ž‡ ƒƒŽǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤͳ͹͹  ϭϬ .

(206) 

(207)

(208)

(209) Ǧ͸ǤͷǤͷǤ±’ƒ”–‹–‹‘†‡• Šƒ”‰‡•ǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤͷͽ;

(210)

(211)

(212) Ǧ͸ǤͷǤ͸ǤƒŽ —Ž†— Šƒ’±Ž‡ –”‹“—‡ǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤͷͽ;

(213)

(214)

(215) Ǧ͸ǤͷǤ͹Ǥ‹ƒ‰”ƒ‡†ǯ±‡”‰‹‡ǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤͷ;Ͷ.

(216)

(217)

(218) Ǧ͵Ǥ”‹ ‹’‡†‡ˆ‘ –‹‘‡‡–†‡•–”ƒ•‹•–‘”• Ž ƒȀ ƒǤǤǤͳͺʹ

(219)

(220)

(221) ǦͶǤƒ”ƒ –±”‹•–‹“—‡•†—–”ƒ•‹•–‘” ǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤͳͺͶ

(222)

(223)

(224) ǦͶǤͳǤ‡ ‘—”ƒ–†”ƒ‹Ǧ•‘—” ‡

(225) †•ǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤͳͺͶ

(226)

(227)

(228) ǦͶǤʹǤƒ–‡•‹‘†‡ ‘—†‡ǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤͳͺͷ

(229)

(230)

(231) ǦͶǤ͵Ǥ‡•‹‘†‡ Žƒ“—ƒ‰‡ǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤͳͺͷ.

(232)

(233)

(234) ǦͷǤ‘Ž—–‹‘•ƒ’’‘”–±‡•ƒ—šŽ‹‹–ƒ–‹‘•†‡•–”ƒ•‹•–‘”• ǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤͳͺ͸

(235)

(236)

(237) ǦͷǤͳǤ‹‹–ƒ–‹‘‡–‡•‹‘†—‡Žǯƒ˜ƒŽƒ Š‡ǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤͳͺ͸

(238)

(239)

(240) ǦͷǤʹǤ—–‘± Šƒ—ˆˆ‡‡–ǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤͳͺ͸

(241)

(242)

(243) ǦͷǤ͵Ǥ ‘”–‡•–‡•‹‘•†ǯ‘’±”ƒ–‹‘‡– ‘—”ƒ–†‡ˆ—‹–‡ǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤͳͺ͸

(244)

(245)

(246) ǦͷǤͶǤŠ—–‡†‡ ‘—”ƒ–†‡†”ƒ‹ǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤͳͺͺ

(247)

(248)

(249) ǦͷǤͷǤ”ƒ‹ǦŽƒ‰ǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤͳͺͺ

(250)

(251)

(252) ǦͷǤ͸Ǥ±†— –‹‘†‡•‡ˆˆ‡–•†‡†”ƒ‹ǦŽƒ‰ǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤͳͺͻ

(253)

(254)

(255) ǦͷǤ͹Ǥ ƒ–‡ǦŽƒ‰ǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤͳͻͲ

(256)

(257)

(258) ǦͷǤͺǤ±†— –‹‘†‡•‡ˆˆ‡–•†‡‰ƒ–‡ǦŽƒ‰ǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤͳͻͲ.

(259)

(260)

(261) Ǧ͸Ǥƒ••‹˜ƒ–‹‘‹͵Ͷ‘—‹ʹ†‡•–”ƒ•‹•–‘”• Ž ƒȀ ƒǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤͳͻͳ

(262)

(263)

(264) Ǧ͸ǤͳǤ”ƒ‹–‡‡–†‡•±–ƒ–•†‡•—”ˆƒ ‡ƒ˜ƒ–Ž‡†±’Ø–†‡†‹±Ž‡ –”‹“—‡ǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤͳͻ͵.

(265)

(266)

(267) Ǧ͹Ǥ”‘ ±†±†‡ˆƒ„”‹ ƒ–‹‘†‡•–”ƒ•‹•–‘”• Ž ƒȀ ƒǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤͳͻ͵

(268)

(269)

(270) ǦͺǤ ƒ„”‹ ƒ–‹‘†‡–”ƒ•‹•–‘”• Ž ƒȀ ƒ‰”‹ŽŽ‡‹–”—”‡ǤǤǤǤǤǤǤͳͻͷ

(271)

(272)

(273) ǦͺǤͳǤ”‘’”‹±–±•’Š›•‹“—‡•†‡Žƒ•–”— –—”‡ Ž ƒȀ ƒ‹‹–‹ƒŽ‡ǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤͳͻͷ

(274)

(275)

(276) ǦͺǤʹǤ±ƒŽ‹•ƒ–‹‘†‡•±Ž‡ –”‘†‡•±–ƒŽŽ‹“—‡•—”Ž‡•–”ƒ•‹•–‘”• ǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤͳͻ͸

(277)

(278)

(279) ǦͺǤ͵Ǥ–—†‡†‡Žƒ‰”ƒ˜—”‡

(280) †—‹͵Ͷ‡–•–”— –—”ƒ–‹‘†—’”‘ˆ‹Ž†‡‰”‹ŽŽ‡ǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤͳͻ͹

(281)

(282)

(283) ǦͺǤͶǤ”‘’”‹±–±•†‡Žƒ”±•‹‡ǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤͳͻͺ

(284)

(285)

(286) ǦͺǤͷǤ–”— –—”ƒ–‹‘†—ƒ•“—‡†‡‰”ƒ˜—”‡

(287) ǣ±–—†‡†—ˆŽ—ƒ‰‡†‡Žƒ”±•‹‡ǤǤǤǤǤǤǤǤͳͻͻ

(288)

(289)

(290) ǦͺǤ͸Ǥ–—†‡†‡Žƒ‰”ƒ˜—”‡

(291) †—‹͵ͶǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤʹͲͲ  ϭϭ .

(292) 

(293)

(294)

(295) ǦͺǤ͹Ǥ‘–ƒ – Š‘––›†‡Žǯ±Ž‡ –”‘†‡†‡‰”‹ŽŽ‡ǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤʹͲͶ.

(296)

(297)

(298) ǦͻǤ‡ Š‹“—‡•†‡ ƒ”ƒ –±”‹•ƒ–‹‘±Ž‡ –”‹“—‡†‡•–”ƒ•‹•–‘”•  Ž ƒȀ ƒ‰”‹ŽŽ‡‹–”—”‡ǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤʹͲ͹

(299)

(300)

(301) ǦͻǤͳǤ‡•—”‡‡‹’—Ž•‹‘•ǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤʹͲ͹

(302)

(303)

(304) ǦͿǤͷǤͷǤ”‹ ‹’‡†‡Žƒ‡•—”‡†‡ ‘—”ƒ–‡‘†‡‹’—Ž•‹‘‡ŽǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤ͸Ͷ;

(305)

(306)

(307) ǦͿǤͷǤ͸Ǥƒ”ƒ –±”‹•ƒ–‹‘†‡•‡ˆˆ‡–•†‡’‹°‰‡•ǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤ͸Ͷ;

(308)

(309)

(310) ǦͻǤʹǤ‡•—”‡†‡•’ƒ”ƒ°–”‡•ȏȐǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤʹͳͲ

(311)

(312)

(313) ǦͻǤ͵Ǥ”‹ ‹’ƒŽ‡• ƒ”ƒ –±”‹•–‹“—‡•†‡•–”ƒ•‹•–‘”• •ǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤʹͳʹ

(314)

(315)

(316) ǦͿǤ͹ǤͷǤƒ–”ƒ• ‘†— –ƒ ‡‰ǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤ͸ͷ͹

(317)

(318)

(319) ǦͿǤ͹Ǥ͸Ǥƒ ‘†— –ƒ ‡‰†•ǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤ͸ͷ͹

(320)

(321)

(322) ǦͿǤ͹Ǥ͹Ǥƒ ƒ’ƒ ‹–±‰”‹ŽŽ‡Ǧ•‘—” ‡ȋ‰•ȌǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤ͸ͷͺ

(323)

(324)

(325) ǦͿǤ͹ǤͺǤƒ ƒ’ƒ ‹–±‰”‹ŽŽ‡Ǧ†”ƒ‹ȋ‰†Ȍ‡–Žƒ ƒ’ƒ ‹–±†”ƒ‹Ǧ•‘—” ‡•†ǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤ͸ͷͺ

(326)

(327)

(328) ǦͿǤ͹ǤͻǤ ƒ‹‡’—‹••ƒ ‡‡–ˆ”±“—‡ ‡• ƒ”ƒ –±”‹•–‹“—‡‡ˆ‘ –‹‘‡‡– Š›’‡”ˆ”±“—‡ ‡†—–”ƒ•‹•–‘” ǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤ͸ͷͺ

(329)

(330)

(331) ǦͻǤ͵ǤͷǤͳǤ ƒ‹‡ ‘—”ƒ–‡–ˆ”±“—‡ ‡†‡ ‘—’—”‡‹–”‹•°“—‡†—‰ƒ‹‡ ‘—”ƒ– ǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤʹͳͷ

(332)

(333)

(334) ǦͻǤ͵ǤͷǤʹǤ ƒ‹ƒš‹—†‹•’‘‹„Ž‡‡–ˆ”±“—‡ ‡ƒš‹—†ǯ‘• ‹ŽŽƒ–‹‘ǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤʹͳͷ

(335)

(336)

(337) ǦͻǤͶǤ‡•—”‡‘ƒ†Ǧ’—ŽŽǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤʹͳ͸

(338)

(339)

(340) ǦͿǤͺǤͷǤ‡†‡‡–‡’—‹••ƒ ‡ȋȌ‡–‰ƒ‹‡’—‹••ƒ ‡ȋ ȌǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤ͸ͷͼ.

(341)

(342)

(343) ǦͳͲǤ‡”ˆ‘”ƒ ‡•†‡•–”ƒ•‹•–‘”• Ž ƒȀ ƒ‰”‹ŽŽ‡‹͵ͶǤǤǤʹͳ͹

(344)

(345)

(346) ǦͳͲǤͳǤƒŽ›•‡•†‡• ƒ”ƒ –±”‹•–‹“—‡• ‘—”ƒ–Ǧ–‡•‹‘‡‘†‡‹’—Ž•‹‘‡Ž†— –”ƒ•‹•–‘” Ž ƒȀ •—‹–‡—•–”‡••±Ž‡ –”‹“—‡’”‘Ž‘‰±ǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤʹʹͲ

(347)

(348)

(349) ǦͳͲǤʹǤƒ”ƒ –±”‹•ƒ–‹‘•’‡–‹–Ǧ•‹‰ƒŽ†‡•–”ƒ•‹•–‘”• Ž ƒȀ ƒ‰”‹ŽŽ‡‹͵Ͷ ǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤʹʹʹ

(350)

(351)

(352) ǦͳͲǤ͵Ǥƒ”ƒ –±”‹•ƒ–‹‘‰”ƒ†Ǧ•‹‰ƒŽ†‡•–”ƒ•‹•–‘”• Ž ƒȀ ƒ‰”‹ŽŽ‡‹͵Ͷ ǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤʹʹͷ.

(353)

(354)

(355) ǦͳͳǤ”ƒ•‹•–‘”•Ǧ Ž ƒȀ ƒǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤʹʹ͸

(356)

(357)

(358) ǦͳͳǤͳǤ–”— –—”‡ǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤʹʹ͸

(359)

(360)

(361) ǦͷͷǤͷǤͷǤ”‹ ‹’‡†‡ˆ‘ –‹‘‡‡–†ǯ—‡•–”— –—”‡ǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤ͸͸ͽ

(362)

(363)

(364) ǦͷͷǤͷǤ͸Ǥ‹ƒ‰”ƒ‡†‡„ƒ†‡†‡Žƒ•–”— –—”‡Ǧ ǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤ͸͸;  ϭϮ .

(365) 

(366)

(367)

(368) ǦͳͳǤʹǤš›†ƒ–‹‘–Š‡”‹“—‡†‡ŽǯŽ ƒ’‘—”Žƒ”±ƒŽ‹•ƒ–‹‘†‡†‹±Ž‡ –”‹“—‡•†‡ ‰”‹ŽŽ‡ǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤʹ͵Ͳ

(369)

(370)

(371) ǦͳͳǤ͵Ǥ±ƒŽ‹•ƒ–‹‘†‡ ‘’‘•ƒ–•Ǧ Ž ƒȀ ƒ’ƒ”‘š›†ƒ–‹‘–Š‡”‹“—‡ †‡Žƒ ‘— Š‡„ƒ””‹°”‡†ǯŽ ƒǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤʹ͵ͳ

(372)

(373)

(374) ǦͳͳǤͶǤƒ”ƒ –±”‹•ƒ–‹‘±Ž‡ –”‘‹“—‡ǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤǤʹ͵ͷ.

(375)

(376)

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