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Etude de l'influence des propriétés mécaniques des surfaces sur l'énergie de collage direct

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Academic year: 2021

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Figure 1 : Energie de collage mesurée en atmosphère anhydre dans le cas d'un collage Si-Si hydrophobe (courbe noire) et d’un collage Si-SiO 2 hydrophile (courbe bleue), après différents recuits (isothermes, 2 heures) [10]
Figure 3 : Observation d'une coupe d'un collage Si-SiO 2 après un recuit à 1100°C pendant 2 heures, réalisée en microscopie électronique à transmission haute résolution (HRTEM) [13]
Figure 8 : Exemple de la micro-pompe piézoélectrique : un appareillage MEMS utilisant le principe du collage direct lors de sa fabrication
Figure 10 : Expérience de Desaguliers représentant l'adhésion de deux surfaces en plomb [43]
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Le collage direct dans l’industrie microélectronique Mécanismes et modèles de diffusion d’eau au sein de la silice Coefficients de diffusion, longueurs de diffusion et solubilités Influence de la nature du matériau sur la diffusion de l’eau en son sein Positionnement de la thèse Préparation du collage via le polissage mécano-chimique (CMP) et Etude de l’influence de traitements thermiques consécutifs à un dépôt Influence de l’épaisseur de l’oxyde déposé sur le collage direct Etude de la corrosion sous contrainte interne à l’interface de collage Conclusions

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