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Un générateur d'impulsions de haute tension à débit élevé

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Academic year: 2021

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HAL Id: jpa-00243162

https://hal.archives-ouvertes.fr/jpa-00243162

Submitted on 1 Jan 1969

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Un générateur d’impulsions de haute tension à débit élevé

G. Nenciarini, G. Kamarinos

To cite this version:

G. Nenciarini, G. Kamarinos. Un générateur d’impulsions de haute tension à débit élevé.

Revue de Physique Appliquée, Société française de physique / EDP, 1969, 4 (1), pp.94-96.

�10.1051/rphysap:019690040109401�. �jpa-00243162�

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Grâce à ce procédé, nous avons pu réaliser des dépôts couche pendant la condensation, ce qui permet d’enre-

avec des vitesses de condensation relativement impor- gistrer la variation de sa résistance et de déterminer tantes sans que la pression résiduelle subisse de avec précision l’épaisseur critique à partir de laquelle grande variation. on note une brusque diminution de la résistivité [4]

6. ACCESSOIRES DE MESURE. - La vitesse d’évapora-

(ceci

nécessite, bien entendu, de réaliser le dépôt des

tion est maintenue constante par un asservissement électrodes (position II) avant celui de la couche mince utilisant comme capteur une jauge à ionisation [2] (Position

~

et permet de déterminer l’épaisseur des couches, après Enfin, les pressions partielles, et en particulier celle étalonnage, à l’extérieur de l’enceinte, par la méthode d’oxygène, sont contrôlées pendant toute la durée de

interférométrique de Nomarsky [3]. l’évaporation grâce à un analyseur de gaz résiduels Un générateur à courant constant alimente la du type Monopole.

BIBLIOGRAPHIE

[1] SALARDENNE (J.), Thèse de Doctorat d’État, Bor- deaux, juin 1965.

[2] DULHOSTE (J. C.), Thèse de 3e cycle, Bordeaux, juin 1968.

[3] NOMARSKI (G.) et WEILL (A. R.), Rev. Metallurg., 1955, 52, 2, 121 à 134.

[4] KOMNIK (Y. F.) et PALATNIK (L. S.), Sov. Phys. Solid State, 1965, 7, 2, 429-431.

UN GÉNÉRATEUR D’IMPULSIONS DE HAUTE TENSION A DÉBIT ÉLEVÉ

Par G. NENCIARINI et G. KAMARINOS,

École Nationale Supérieure d’Électronique et de Radioélectricité de Grenoble, 23, rue des Martyrs, 38-Grenoble.

(Reçu le 30 janvier 1969.)

Résumé. 2014 Le générateur fournit des impulsions rectangulaires de haute tension (jusqu’à

10 kV) et il est capable de débiter des courants de plusieurs ampères.

On peut faire varier, de façon continue, l’amplitude des impulsions (0,5-10 kV), leur durée (0,1-8 03BCs), et la fréquence de répétition (0,1 à 3 Hz).

Abstract. 2014 The generator described gives H.T. rectangular pulses (up to 10 kV) with

currents of many amperes.

It is possible to vary continuously the amplitude of the pulses (0.5-10 kV), their width and their repetition frequency (0.1-3 Hz).

1. Introduction. - L’appareil a été réalisé pour un générateur de puissance, fournissant des impulsions

certaines études sur les matériaux semiconducteurs de haute tension, de forme rectangulaire, de faible (germanium notamment), lorsqu’ils sont soumis à des durée et de fréquence de répétition basse. L’appareil champs électriques élevés (quelques kV~cm) .~ peut néanmoins être utilisé pour d’autres recherches, Puisque la résistance des barreaux à étudier est pour lesquelles des caractéristiques semblables sont relativement faible (quelques centaines d’ohms), la nécessaires (étude des ferrites à fort champ magné- puissance requise est élevée. Pour éviter un échauf- tique, comportement des décharges des gaz dans les fement notable du matériau, on ne peut lui appliquer tubes, etc.).

des tensions continues permanentes; on doit donc

recourir à un régime impulsif, laissant des temps morts 2. Principe du fonctionnement. - Une source de

assez longs. haute tension électrique alimente une cellule résistance- Divers montages déjà réalisés [1, 2 et 3] ne conci- capacité; cette dernière joue le rôle d’un « réservoir liaient pas nos exigences en puissance (de l’ordre de d’énergie ». Par le moyen d’un système de commuta- quelques centaines de kW), en durée (0,1 à 8 ys) et en tion, la capacité se branche périodiquement à la amplitude de l’impulsion (jusqu’à 10 kV). charge, durant un laps de temps égal à la durée désirée

C’est ainsi que nous avons été amenés à réaliser [4] de l’impulsion.

Article published online by EDP Sciences and available at http://dx.doi.org/10.1051/rphysap:019690040109401

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FIG. 1. - Principe de la chaîne de puissance.

Le système de commutation comprend deux thyra-

trons à hydrogène Thl (SC 22) et Th2 (7384), choisis principalement pour leur grand pouvoir de coupure.

De plus, leur faible temps de récupération (une dizaine

de fLs) permettrait de les employer à des fréquences de

récurrence bien supérieures à celles que nous avons

utilisées à cause de la nécessité d’évacuer l’énergie dissipée dans la charge d’épreuve.

3. Schéma d’ensemble de l’appareil. - Un généra-

teur d’impulsions de tension, en forme de dents de

FIG. 2. - Schéma synoptique du générateur et formes

des impulsions issues des différents circuits de com-

mande : a, réglage de l’amplitude de l’impulsion ; b, signal de synchronisation ; c, réglage de la fréquence

de répétition ; d, réglage de la durée de l’impulsion ; S, secteur ; Al THT, alimentation très haute tension ; R~, réservoir d’énergie ; Z, charge ; GP, générateur pilote ; Gds, générateur des impulsions en forme de

« dents de scie » ; M, bascule monostable ; lle’, décaleur (bascule monostable) ; Dv, dérivateur RC ; F, circuit de mise en forme ; I, inverseur ; NI, porte logique « NI ».

scie et de fréquence égale à la fréquence de répétition désirée, suivi d’une bascule monostable et d’un circuit dérivateur RC, débite sur trois chaînes de circuits de

pilotage; ces derniers sont destinés à fournir les signaux

nécessaires à la commande des deux thyratrons.

Les impulsions issues des circuits de pilotage sont

de faible amplitude (2,5 V) ; elles doivent être ampli-

fiées (jusqu’à 300 V environ) afin de pouvoir attaquer les grilles des thyratrons. Nous avons utilisé, dans ce but, trois amplificateurs digitaux identiques.

Un schéma synoptique de l’ensemble du générateur (circuits de commande compris) est donné.

Une impulsion est d’abord appliquée à la grille 1

de Th2, au temps t = to, et sert à sa préionisation.

Au temps t = to + 0,6 ~,s = tl, une autre impul-

sion est appliquée à la grille de Thl qui s’amorce; ceci correspond au début de l’impulsion sur la charge.

Une troisième impulsion, décalée dans le temps par rapport aux deux premières, s’applique à la grille 2 de

Th2 et l’amorce au temps t = t2; ceci correspond à la

fin de l’impulsion sur la charge qui reçoit ainsi une impulsion de durée T - t2 - t1 ( = t2 - to - 0,6 pus).

4. Performances et caractéristiques générales. - Le générateur délivre des impulsions de forme approxi-

mativement rectangulaire.

W G. 3. - Impulsions de courant et de tension sur un

barreau de germanium de type N de dimensions 1 X 2 X 20 mm et de résistivité p = 50 nem.

Temps de montée de l’impulsion: de l’ordre de 15 ns;

Temps de descente : du même ordre de grandeur;

Amplitude : de 500 V à 10 kV (réglage continu) ;

Palier de l’impulsz*on : horizontal à 5 % près (pour une impulsion de 4 ps de durée) ;

Durée de l’im~ulsion : réglable de façon continue entre 0,1 et 8 ys avec répartition en quatre gammes :

0,1-0,2 ps; 0,2-0,5 ~s; 0,5-2 ys ; 2-8 ps;

Fréquence de répétition : à réglage continu, de 0,1 à 3 Hz

avec répartition en trois gammes : 0,1-0,3 Hz;

0,3-1 Hz; 1-3 Hz;

Puissance consommée : 600 W environ;

Impédance de charge : supérieure à 100 .Q;

Puissance crête maximale : de l’ordre de 200 kW;

Possibilités de modification des caractéristiques : la concep- tion même des circuits permet de modifier la durée et la fréquence de répétition des impulsions.

~

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Cependant, l’augmentation de la durée au-delà d’une dizaine de ~is entraînerait une dégradation du palier de l’impulsion. On pourrait conserver la forme

initiale de l’impulsion, en augmentant la valeur de la

capacité C, mais alors on devrait réduire la fréquence

de répétition (limitation imposée par la puissance

consommée sur la charge).

Si l’on veut augmenter la fréquence de répétition, quand la durée de l’impulsion est inférieure à 8 ~,s,

on doit diminuer la valeur de la capacité C, pour que celle-ci ait le temps de se charger entre deux impulsions.

Conclusion. - Ce qui distingue le générateur que

nous avons décrit des autres réalisations est la simpli-

cité et l’efficacité de la chaîne de puissance ainsi

que la conception et la réalisation des circuits de commande (entièrement de composants solides);

nous sommes ainsi arrivés à obtenir assez facile- ment des impulsions de puissance crête de l’ordre

de 200 kW et de durée à réglage continu de 0,1 à 8 ~,s.

Ce générateur est destiné à une série d’études sur

le comportement des porteurs de charge sous grand champ électrique dans les semiconducteurs; en parti- culier, il nous a permis d’étudier, par le moyen de l’effet Hall, la répartition et le type de porteurs de charge dans un barreau de germanium, soumis à une impulsion de haute tension [5].

[1] NACIBOV (A. S.) et LOMAKIN (V. L.), Generator for

rectangular pulses, Inst. and experimental techniques, May-June 1965, 3, pp. 592-594.

[2] CHAR (T.) et GUNN (M. W.), A high voltage pulse generator using switched thyratrons, Elect. Eng., June 1965, 37, 448, 401-403.

[3] GRANGER (R.), Réalisation d’un générateur d’im- pulsion de grande puissance, J. Physique, octo-

bre 1965, 26, 213 A-214 A.

[4] E.N.S.E.G., Générateur d’impulsions rectangulaires

de puissance, récurrentes, Projet d’Élèves (1967- 1968).

[5] KAMARINOS (G.), NENCIARINI (G.), BOUDOURIS (G.)

et BUYLE-BODIN (M.), C. R. Acad. Sc., 20 jan-

vier 1969, série B, 268, 204-207.

ERRATA

Dans l’article intitulé « Applications métallurgiques de techniques de microanalyse par l’observation directe de réactions nucléaires » par G. AMSEL, D. DAVID, G. BÉRANGER et P. BOISOT (Rev. Physique Appl., 1968, 3, 373) :

la Page 375, 2e colonne, 23e ligne :

- au lieu de : « la profondeur jusqu’à la surface », lire : « la profondeur x jusqu’à la surface ».

20 Page 376, Ire colonne, 44e ligne :

- au lieu de : « interpolation logarithmique », lire : « interpolation linéaire ».

30 Page 3 7 7, 2e colonne, 17e ligne :

- au lieu de : « [25] », lire : « [21] ».

40 Page 378, dans la légende de la figure 5 :

- au lieu de : « 300 keV », lire : « 823 keV ».

50 Page 380, 2e colonne, 2ge ligne :

- au lieu de : « [24, 25, 26] », lire : « [25, 26, 28] ».

60 Page 382, 2e colonne, 8e ligne :

- au lieu de : « [21] », lire : « [21, 24] >~.

Le Directeur de la Publication: Jules-Jean CHOVIV. - Imprimerie des Presses Universitaires de France, Vendôme (France)

Dépôt légal : 1-1969 N° IMP. 21295

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