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Analyse par XPS d'empilements High-K Metal Gate de transistors CMOS et corrélation des décalages d'énergie de liaison aux tensions de seuil

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Academic year: 2021

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Figure 3 : Evolution du cout des transistors en fonction des nœuds technologiques
Figure 9 : Représentation schématique des niveaux d’énergies lors de l’analyse XPS d’un échantillon
Figure 16 : spectre XPS de la composante 2p du silicium décomposés à l'aide de gaussienne-lorentzienne
Figure 20 : Représentation schématique de la sonde de Kelvin pour la mesure VCPD (a) et du dispositif des charges  Corona (b)
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