HAL Id: tel-00964202
https://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00964202
Submitted on 27 Mar 2014
HAL is a multi-disciplinary open access
archive for the deposit and dissemination of
sci-entific research documents, whether they are
pub-lished or not. The documents may come from
teaching and research institutions in France or
abroad, or from public or private research centers.
L’archive ouverte pluridisciplinaire HAL, est
destinée au dépôt et à la diffusion de documents
scientifiques de niveau recherche, publiés ou non,
émanant des établissements d’enseignement et de
recherche français ou étrangers, des laboratoires
publics ou privés.
micromanipulation
Cecile Pacoret
To cite this version:
Cecile Pacoret. Des pinces optiques pour un ressenti tactile de la micromanipulation. Automatique /
Robotique. Université Pierre et Marie Curie - Paris VI, 2011. Français. �tel-00964202�
T H È S E
pour obtenirle grade de
Do teur de l'Université Pierre et Marie Curie
Spé ialité : Robotique
Présentée par
Cé ile Pa oret
Des pin es optiques
pour une sensation ta tile
de la mi romanipulation
Thèse dirigée par Stéphane Régnier
soutenue le 04juillet2011
Jury :
Jean-PierreGalaup - Dire teur dere her heCNRSORSAY
Rapporteur
Ni olasAndreff - Professeur àl'UniversitédeFran he-Comté,Besançon
Rapporteur
Vin entHayward - Professeur àl'UniversitéPierre etMarieCurie,Paris
SuatTopçu - Professeur àl'UniversitédeVersaillesStQuentin
StéphaneRégnier - Professeur àl'UniversitéPierre etMarieCurie,Paris
Dire teur dethèse
Mehdi Boukallel - Chef deprojetauCEA-LIST,Fontenay-aux-Roses
Co-en adrant
Invité :
Résumé :Lesmi rote hnologies sontde plusenplus présentesdansnotrequotidien.
Leur produ tion est aujourd'hui restreinte à des pro édés de masse par
photolitho-graphie. Leur fabri ation est mal ontrlée et les défauts sont fréquents. Or l'étude
individuelle de haque mi ro omposant est parti ulièrement di ile et oûteuse. La
mi rorobotique proposedes solutions automatiques ou téléopérées an de résoudre e
type de verrous te hnologiques.
Pour des raisons é onomiques et de exibilité, de nombreux utilisateurs se tournent
versun ontrle impliquant unopérateur.Plusieurs travauxont proposéunretour des
intera tions lorsdelatâ heaumoyend'uneinterfa eutilisateurévoluée,ditehaptique,
an d'augmenter l'immersion dans lemi romonde et don la dextérité del'opérateur.
Dans le as de la mi romanipulation, les fa teurs d'é helle et les fortes dynamiques
provoquent de nombreuses instabilités dans le ouplage bilatéral re her hé. Il a don
éténé essaire d'utiliser des ontrleurs évolués audétriment dessensations.
Pour obtenir dessensations réelles etutiles, nousproposons de revisiter la
probléma-tique sous un autre angle. Plutt que d'utiliser un mi romanipulateur existant, nous
avons onçuun système dédié au retour d'eort. Nousposons les prémi es d'un
nou-veau on ept de mi romanipulation haptique exible, able etutile grâ e à des hoix
etdesoptimisations de méthodesetde te hnologies :
•
une méthode dédiée de préhensionsans onta t :lespin es optiques,•
une maximisation del'espa e de travailde ses a tionneurset apteurs,•
l'amélioration desperforman es entermede dynamiqueetde bande passante,•
le développement de nouveau apteur de for e robuste à l'environnement, basé surlavision.Ce travail multidis iplinaire s'appuie sur la réalisation de trois installations
expéri-mentalesetsurdes ollaborationsentredeséquipesdemi romanipulation, d'haptique
etde vision.
Mots lés : Mi romanipulation, pin es optiques, téléopération, haptique,
Abstra t : Today, mi rote hnologies are ommon pra ti e intheindustry.Theyare
generally mass-produ ed by photolithography with several inherent di ulties. As a
result, it is di ult to diagnosis defe ts in single parts as individual manipulation is
omplexandnot ost-ee tive.Inordertoover ometheseshort omings,mi roroboti s
proposesdierent te hniques, eitherfullyautomatedor teleoperated.
Given the omplexity of the manipulation task and the required exibility, it is
ne- essary to involve a human operator in the pro ess. The use of for e feedba k is a
re ommended approa h to enhan e theoperator's dexterity. In the aseof mi ros ale
manipulation,bigs alingratiosandspe i dynami sare riti alforabilateral oupling
s hemes.Inorderto guaranteethestabilityofsu ha oupling,advan es ontrollersare
usedwiththe se ondaryee ttoredu ethe qualityofthefor einformation, hen ethe
sensation,fedba kto theuser.
The approa h proposed here aims to design a mi romanipulation system spe i ally
tailored to over omethese short omings, improving the human per eption of the
ma-nipulation task while still guaranteeing the stability, instead of adapting an existing
systemto a for efeedba ks heme. in this prospe t, several te hni al paths and
opti-mizationsareinvestigated :
•
a dedi ated onta t-less manipulationte hnique based onopti al tweezers,•
maximization of a tuationand sensorworkspa es,•
enhan ement ofthe bandwidthand dynami performan es,•
development ofa robust novel sensorbasedon event-based visionIntheframe ofthis multidis iplinary study,threeexperimentalsetups are onstru ted
in ollaboration with spe ialists in mi romanipulation, omputer vision and
hap-ti /ta tile per eptions.
Keywords : Mi romanipulation, opti al tweezers, teleoperation, hapti , event
Remer iements
Auxorganismes d'a euil etnan ements :CEA, CNRS,ISIR, COST
Aux en adrants et à leur enduran e : Stephane Régnier, Moustapha Hafez, Arvid
Bergander, MehdiBoukallel
Tomydearandmosthelpful ollaborators:Prof.MilesPadgett,Dr.Ri hardBowman,
Dr. GrahamGibson
Aux pré ieux onseillers : Vin ent Hayward, Ryad Benosman, Sio Ieng, Martine
Guerrand, SinanHaliyo
Aux se rétaires qui font tout le reste et qu'on oublie trop souvent : Anni k Latare,
Mi hèle Vié, Sylvie Manga-Akoa,Pas ale David
Auxgrands oup de main:SylvainPledel
Aux amis et soutiens inestimables : David Roze, Kashif Said, Emir Vela, Hussein
Sleiman, Florian S hramm,Florent Souvestre,DenisDesmaele
A toutel'équipe de mi rorobotique etd'haptique del'ISIR
Un mer i très parti ulier à mes amis et ollègues Zhenjiang Ni et Stéphane Régnier
pour ettebelle etparfoisdouloureuseaventure.
Introdu tion générale 1
1 La télé-mi romanipulation 3
1.1 Le ontextea tuel de lami romanipulation . . . 5
1.1.1 L'opérateur demi romanipulation . . . 5
1.1.2 Le retour d'eort . . . 8
1.1.3 Le ouplage entre ma ro-etmi romonde . . . 9
1.2 Lestélé-mi romanipulateurs haptiquesexistants . . . 11
1.2.1 Résumé deste hniques demi romanipulation . . . 11
1.2.2 Mi ropin es etmi ros opesà for eatomique. . . 13
1.2.3 Pin es magnétiques etoptiques . . . 16
1.3 Nouvelle appro he :une on eptiondédiée auretour d'eort . . . 20
1.3.1 Le besoin . . . 20
1.3.2 Le ahier des harges . . . 22
1.3.3 Choixdu mi romanipulateur . . . 26
2 Les pin es optiques et le retour d'eort 31 2.1 Étatde l'artdespin es optiques . . . 31
2.1.1 Prin ipe . . . 32 2.1.2 Installation optique. . . 36 2.1.3 Étalonnage . . . 39 2.1.4 Appli ations. . . 40 2.2 La on eptiondédiée . . . 43 2.2.1 Lesa tionneurs . . . 43
2.2.2 Les apteursd'eort . . . 49
2.2.3 Le hoixdes omposantsadéquats . . . 55
2.3 Le premier ouplage . . . 56
2.3.1 L'installation de lapin eoptiqueà Glasgow . . . 59
2.3.2 Couplage"dire t" ou "position-position" . . . 60
2.3.3 La preuve du on ept . . . 61
3 Modélisation du mi romanipulateur haptique 67 3.1 La bou le haptique . . . 67 3.1.1 Le mi romanipulateur . . . 67 3.1.2 L'interfa e haptique . . . 71 3.1.3 Le ouplage . . . 72 3.1.4 L'environnement . . . 75 3.1.5 La bou le fermée . . . 76 3.2 Lesperforman es . . . 78 3.2.1 La stabilité . . . 80
3.2.3 Latransparen e. . . 86
3.3 Inuen e desparamètres . . . 91
3.3.1 L'a tionneur etdel'é hantillonnage. . . 92 3.3.2 Lepiège . . . 94 3.3.3 L'interfa e haptique . . . 96 3.3.4 Limitations . . . 98 3.3.5 Con lusion . . . 98 4 Le mi romanipulateurdédié 101 4.1 Suivi rapideetrobuste du mi ro-outil piégé . . . 101
4.1.1 L'enjeude lavision enmi rorobotique . . . 102
4.1.2 Vers unnouveau apteur, la améra asyn hrone . . . 107
4.1.3 Algorithmede traitement dédié . . . 110
4.2 Manipulateur dédié auretour d'eort . . . 111
4.2.1 Des riptiondu système . . . 112
4.2.2 Mesuredu mouvement Brownien . . . 115
4.2.3 Résultatsde téléopération en temps réel . . . 118
4.3 Installation dédiée etperspe tives . . . 120
Con lusiongénérale 123 A Dénitions 125 B Traitement d'images - Généralités 127 C Justi ation expérimentale de la modélisation 129 C.1 Miroir a tionné 2DDLde Glasgow . . . 129
C.2 Galvanomètres du CEA . . . 131
D Cal ul de stabilité du système 133 D.1 Mode libre. . . 133 D.1.1 Régime ontinu . . . 133 D.1.2 Régimeé hantillonné . . . 137 D.2 Mode ontraint . . . 140 D.2.1 Régime ontinu . . . 140 D.2.2 Régimeé hantillonné . . . 142 Bibliographie 145 Liste de publi ations 159
Pour exploiter les ressour es des mi rote hnologies, il est né essaire de manipuler des
objets uniques de taille mi ros opique. Les appli ations visées ouvrent par exemple
la on eption hétérogènedesMEMS oulabiologie ellulaire.La dis ipline s ientique
on ernée, lami romanipulation, s'applique à re her her des solutions de saisie et de
dépose préservant l'intégrité des é hantillons lors des diérentes tâ hes. Ces dernières
sont aussi variées que l'étude des propriétés physiques du omposant ou l'assemblage
de mi ro-objets.
Cesopérationsné essitentdesrésolutionseneortetenpositionina essiblesàlamain
humaine ave la rédu tiondes é helles. Des robots manipulateurs sont ainsiemployés
pour lapréhension d'objets dont la taille estinférieure à
500µm
. L'automatisation de essystèmesest omplexeàmettreen÷uvre.A etteé helle,denombreusesdi ultésapparaissent ommelaphysiquemiseenjeu,lesmoyensdeper eptionenfor eouen
vi-sion,l'intégrationdansdesenvironnementsfortement ontraints...L'étatd'avan ement
del'automatisation nerépondpasaujourd'huiauxbesoinsetaux apa itésmatérielles
desentreprisesetlaboratoires.
La téléopération par retour d'eort est unevoiede re her he diérente, issue des
tra-vaux de robotique dans le domaine des maîtres-es laves. Cette te hnique onsiste à
relier viaune liaison bilatéraleunsystème physique ee tuant une tâ he,par exemple
demanipulation,dansunenvironnementdiérent,àunsystèmemé anique ommandé
appelé interfa e haptique. Elle exploite ainsi les apa ités d'adaptation et
d'anti ipa-tion d'opérateursexpérimentés àpartir d'unretour ta tile desintera tions.
Dansle asdelami romanipulation,lesrédu tionsd'é helle omplexient leproblème.
A l'é helle mi ros opique, les rapports signauxsur bruitsont faiblesetl'ampli ation
des signaux devient déli ate. La ommande asso iée du système devient un réel dé
pourledomaine del'automatique.Deste hniquesavan éessontdéveloppéespour
réus-sir àmaîtriser les instabilitésdu système.Il en résulteune altération desinformations
etdu ressenti, ae tant l'intera tion del'utilisateur ave latâ he.
Les travaux présentés dans ette thèse s'ins rivent, pour es diérentes raisons, dans
une nouvelle démar he. Au lieu deréaliser un ouplage omplexe entre deuxsystèmes
existants et indépendants, une solution simple basée une on eption dédiée du
mi- romanipulateur permet de préserver le ressenti des intera tions. Pour e dessein, la
problématique doit êtrereformulée depuisson origine.
Diérentes étapes majeures sont fran hies dans e travail pour une amélioration du
ressenti de la mi romanipulation. La première onsiste à approfondir le hoix des
mi- romanipulateursvisàvisdeleuradaptation auxte hniques deretour d'eort.Fa eà
un ahier des harges exigeant, le hapitre
1 proposeune omparaison desprin ipes etdesméthodesd'intera tion ontrlée ave le mi romonde.
Après le hoix d'une te hnique de mi romanipulation ave un fort potentiel pour le
rendre ompatible ettete hnique ànotre appli ation.Unpremier prototype
fon tion-nel onrme le on ept : des ressentis ns et stables sont possibles ave un ouplage
simple.
Pour mener plusavant l'optimisation, une modélisation du mi romanipulateur à
télé-opération bilatérale est né essaire. L'étude de l'inuen e des paramètres du système
sur les performan es, telles que la stabilité et la transparen e, est expli itée dans le
hapitre 3.Ces propriétés essentiellessont redénies sous la forme d'indi es qualita-tifs. Ces derniers sont exploités pour omparer les diérents prototypes et apportent
denouvellespistesd'investigation.
L'une d'entre elles, l'amélioration de la rapidité et de la robustesse de la mesure des
eorts réels, est in ontournable. Le hapitre 4 est don onsa ré à ette probléma-tique. Dans le as des pin es optiques et de nombreux autres mi romanipulateurs, la
mesure deseorts est réalisée de manière indire te à partir de te hniques d'imagerie.
Pourrendre esméthodes on iliablesave unerestitutionableetsé uriséedeseorts
à l'opérateur, de longs traitements d'informations ralentissent le rafraî hissement des
sensations.Pour résoudre et important verrou dere her he,une nouvelle te hnologie
de apteur,opérantde façondire teune ompressiondesdonnées, estintégrée pourla
premièrefoissurunsystèmedemi romanipulation.Laqualitédesamesureest
aujour-d'huisans égalen termes de exibilité etde abilité. Finalement, samise en pratique
démontre une avan ée sans pré édent pour la réalisation de tâ hes omplexes dans le
mi romonde ave ressentita tile.
Dans e manus rit, une démar he de on eption omplète est présentée. L'étude du
besoinest orréléeàlaréalisationdetroisplates-formesfon tionnellesave retour
hap-tique:aulaboratoired'optiquedel'UniversitédeGlasgow,pourlapreuvedu on ept;
auCEA-LISTàFontenay-Aux-Roses,pourl'intégrationd'a tionneursrapidesetle
dé-veloppement de stratégies multipièges et à l'Institut des Systèmes Intelligents et de
Robotique de l'Université Pierre et Marie Curie(CNRS), pour l'amélioration sensible
de la mesure de for e. Le haut degré de multidis iplinarité de e projet s'appuie sur
trois ollaborations fortes ave le laboratoire d'optique de Glasgow pour appréhender
la on eptiondespin esoptiques,l'équiped'haptiquede l'ISIRpourledéveloppement
d'interfa eshaptiques de hauteperforman e etl'équipe de visionde l'ISIRpour le
dé-veloppement d'une nouvelle te hnique de suivide mi roparti ules.
L'ensemble de e manus rit s'appuie sur ette démar he et es ollaborations
impor-tantes. Des résultats prometteurs et nouveaux sont démontrés dans ha un des
ha-pitres pour poser les bases d'un nouveau système de télé-mi romanipulation ressenti
basésurdespin esoptiques.Lesperspe tivesouvertespar etravailsontvastesetsont
La télé-mi romanipulation Sommaire 3.1 Labou le haptique . . . 67 3.1.1 Lemi romanipulateur . . . 67 3.1.2 L'interfa ehaptique . . . 71 3.1.3 Le ouplage . . . 72 3.1.4 L'environnement . . . 75 3.1.5 Labou lefermée . . . 76 3.2 Les performan es . . . 78 3.2.1 Lastabilité . . . 80 3.2.2 Lalimitede onfort . . . 85 3.2.3 Latransparen e . . . 86
3.3 Inuen e des paramètres . . . 91
3.3.1 L'a tionneuretdel'é hantillonnage . . . 92
3.3.2 Lepiège . . . 94
3.3.3 L'interfa ehaptique . . . 96
3.3.4 Limitations . . . 98
3.3.5 Con lusion . . . 98
Après la onquête de l'inniment grand, 'estmaintenant l'inniment petit qui attire
l'intérêt s ientique.Sesappli ationssont nombreuses:dela ompréhensionduvivant
à la on eption de nouveaux matériaux ou de nouvelles sour es d'énergie en passant
par laminiaturisation de lapuissan e de al ul. Ces thèmes tiennent aujourd'hui une
partimportantede lare her he etde l'industrie.Pour travaillerdans e milieu
mi ro-s opiqueintangibleparles apa itéshumaines,lesa teursde esdomainessontobligés
de re ouriràdeste hniquesmultidis iplinaires, parexemple, himiquesou robotiques.
Ces méthodessont élaborées pours'adapter auxphénomènesquirégissentlaphysique
à esé helles.
Lesintera tions physiquessontdépendantesdesdistan es,destaillesetdespropriétés
desobjets.Or,danslesdimensionsmi ros opiques(
L < 0, 001m
),ilexisteundomaine où le volume (L
3
) perd son inuen e par rapport aux surfa es (
L
2
). Ainsi, les for es
volumiques (pesanteur, inertie) deviennent négligeables devant les for es surfa iques
(adhésion). Dans l'intervalle dimensionnel de quatre ordres de grandeurs des objets,
de 100nanomètres à1millimètre,l'inuen e desintera tions hange omplètement de
nature. Cette propriété ressemble aux diéren es induites entre l'é helle du mètre et
Figure1.1Diérentsopérateurset opérationsdemi romanipulation
d'inventivité et de réativité. Si les objets de taille supérieure à 500
µm
ren ontrent quelquesraresphénomènes d'adhésion, unesolution simple apparaît ave les jetsd'airomprimé.Desstratégiesplusévoluéesontdû êtredéveloppées pour lesobjetsjusqu'à
une dimension de 50
µm
. En dessous de ette limite, la physique prend des formes omplexesou nonétablies etles expérien es sontdon très peurépétables.Les outils ou systèmes de mi romanipulation sont en onstante évolution etréalisent
de nouvelles prouesses en s'éloignant de plus en plus des formes onventionnelles de
préhension.La omplexité etlanon-répétabilitédestâ hesdemandentbeau oup
d'im-pli ations de l'opérateur. Ces dernières se trouvent aujourd'hui limitées par le peu
d'ergonomiedesinterfa eshomme-ma hine-mi romonde.
Le propos de e hapitre est d'analyser la omplexité de l'adaptation de l'opérateur
aux outils de plus en plus sophistiqués de mi romanipulation. Cette étude examine
le ontexte de la mi romanipulation du point de vue de l'opérateur. Classiquement,
danslessystèmes robotisés,les informationssonta hées surune interfa e graphique
évoluée etl'intera tion sedéroule de manièreunilatérale ave lasourisou unjoysti k.
Pourre réerunemanipulationdextre,leste hniquesdetélé-opérationàretour d'eort
ontmontréleursavantagesdansdenombreuxmilieuxhostiles,éloignésouvirtuels.Par
ontre, dans la mi romanipulation, les fa teurs d'é helle rendent déli at l'assemblage
d'unmi romanipulateurave uneinterfa e haptique.Eneet,lesliensbilatéraux réés
par latélé-opération à retour d'eort sont soit instables,soit insatisfaisants en termes
desensation.L'étatdel'artmontreensuiteque ettedi ultéestliéeprin ipalementà
l'in ompatibilité desorganes ouplés. Pour remédier à ette omplexité,la on eption
dumi romanipulateur et elledu retour d'eortdoivent êtredédiées 1
(a) (b) ( )
Figure1.2Systèmedetélé-opération ommer ialpourmi ropin edufabri antPer ipio.(a)
Interfa eutilisateurave unjoysti kpourle ontrleenposition,(b)mi ropin evue globale,
( )piè e d'unpuzzlemi rométriqueentre lesdoigtsdelami ropin e.
1.1 Le ontexte a tuel de la mi romanipulation
Dans l'industrie, lami romanipulation est prin ipalement onnée aux petites séries,
àlamé aniquedepré ision etauxdiagnosti sdesdéfautsdefabri ation de
mi ro om-posants. Ces opérations demandent beau oup de temps de la part d'opérateurs très
expérimentés. Le tauxde réussite étant très bas, es travauxsont onsidérés répétitifs
etpénibles.Le fort oûtde lamain d'oeuvre,ajoutéà elui desinstallations, estl'une
desraisonsdelafaiblepropagationdelami romanipulation dansl'industrie, omparée
à elle des mi ro omposants. Le rempla ement est préféré à une opération de
main-tenan e et le besoin est standardisé pour la produ tion de masse, par exemple, par
photolithographie.
Aujourd'hui, este hniquesdepointesontsurtoutprésentesdansleslaboratoires.Leurs
appli ationsétanttrèsenamontdel'industrie,lare her hené essitelamanipulationen
petits nombres de nanotubes, de nano- et mi ro omposants de nouvelles générations
ou pour la biologie, de ellules ou de protéines. L'étude détaillée de leurs propriétés
physiques né essite des préhenseurs exibles et intelligents. Le besoin en opérateurs
expérimentésest don également très élevédansles domainesde lami ros opie etdes
mi rote hnologies.
1.1.1 L'opérateur de mi romanipulation
L'industrie s'intéresse, aujourd'hui, prin ipalement aux objets de dimensions
supé-rieuresà100
µm
.Lesopérationsdemanipulationpeuventen oreêtreréalisées manuel-lementà ette é helle. Maisles oûtsdeprodu tionssontexorbitants.Cette ontrainteest prin ipalement imputable aufort besoin demain d'oeuvre qualiée (voir Fig.1.1). De plus, le temps de traitement de haque tâ he est très long en raison de la
om-plexité etduforttauxd'é he .La robotisation destâ hesréduit amplement les temps
Figure 1.3 Interfa es graphiques ré entes onçues ave Labview pour une mi ropin e
[Vijayasai2010℄
demanoeuvre.Parexemple,unetâ he d'assemblagederouagesd'horlogeriede grande
omplexité représenteune heureetdemie de travailpour unopérateur ave une pin e
bru elle. L'automatisation a porté laréalisation de ette tâ he à 5minutes. Mais
l'in-vestissementdansdenouvellesinstallationsautomatiséesestaujourd'hui onsidéré
dis-proportionné par rapport à leur perte de exibilité. La télé-opération de mi rorobots
estplusabordable en termesde oûtetentraîne également desgains detemps
impor-tants.Ellené essitemoinsd'adaptationdesinstallations,desé hantillons etdelamain
d'÷uvre.
Latélé-mi romanipulationestdéjàtrèsprésentedansleslaboratoiresdere her he.Les
installations sesont robotisées pour s'adapter à desobjets toujours plus petitset des
résolutions toujours plus nes. Le travail dans e ontexte se réalise sous mi ros ope
ave des plates-formes motorisées et l'opérateur pilote le système derrière un é ran,
une souris ou un joysti k (voir Fig 1.2). Pour ette re her he, l'opérateur garde tout son sens ar les é hantillons traités sont variés et omplexes tels que des nanotubes,
desMEMS, des ellules oudes protéines.Pour desraisons nan ières et de exibilité,
les laboratoires sont amenés à développer leurs propres installations etinterfa es. De
nouveauxproblèmesseposentalorspourexploiterlari hessedesinformationsfournies
par essystèmes.
La omplexité desoutils demande des ompéten espluridis iplinaires. L'opérateur de
mi romanipulation doitaujourd'hui parfaitement onnaîtresonoutil pourréaliserune
tâ he.Silespin esbru ellesprésententuneutilisationintuitive,leurrempla ementpar
desmi rorobotsn'estpasdire t. Ilfaut onnaîtreleste hnologiesmisesenjeuxpar les
nouveaux apteurset a tionneurs,leur ontrle etleurs nouvelles fon tionnalités.
Si les opérateurs industriels travaillent en ore ave des objets dont les phénomènes
physiques asso iés suivent les lois lassiquesde la physique, ils seront onfrontés dans
lefutur,ave larédu tiond'é helle, àdesphénomènesphysiquesparti uliers. Eneet,
lesmi ro-etnano-objetssontsoumisàdesphénomènespeuintuitifs:eetsdesurfa e,
Figure1.4Illustrationdespremierstravauxdetélé-mi romanipulationàretourd'eortdans
lesannées90[Kaneko1998℄.Lesgainshomothétiquesenposition,Ad,etenfor e,Af,ontété ajoutéspourréaliserun ouplagebilatéraldire t.
surfa iques ou éle trostatique ont été modiées pour s'adapteraux problèmes
d'adhé-sion 2
. D'autres outils exploitent dire tement des hamps de potentiel pour mettre en
lévitationetdépla erdesmi ro-objets 3
.Cesintera tionsdemandentdes onnaissan es
avan éesen physique pour être orre tement exploitées.
Le mi romanipulateurpossède,outredespréhenseursévolués,des apteursspé iques
qui omplexient lesystème. Le réglageetl'étalonnagesont ee tuésàdesrésolutions
innitésimales,impliquantuntravaildepatien eetdepré ision.Lesdé alagesou
han-gementsd'é hantillons demandent don desréévaluations fréquentes.
Laposition,lesfor es,latempérature,lepHoulesautresparamètresimportants
mesu-réspar les apteurssontengénéral visualiséssuruneinterfa e graphiqueinformatique
dontl'aspe trappelle les an iens systèmesdejaugesmé aniques oude potentiomètres
à glissière. Desgraphiques ou desreprésentations 3Dpeuvent ompléter les interfa es
évoluées (voir Fig 1.3). L'opérateur pilote la manipulation en se référant à es indi- ateurs sur l'é ran. Il solli ite alors beau oup la vision. De plus, la omplexité des
interfa es graphiquesne favorisepaslaréa tivité etl'anti ipation de l'utilisateur.
La pré ision et la rapidité de la tâ he sont étroitement liées à l'ergonomie de
l'inter-fa e.Celle- isemontreaujourd'huiinsusante.Letravaildesopérateursetla réativité
s ientique sont bridés par de nouvelles ontraintes de ompéten es, de prise en main
et de man÷uvrabilité des systèmes de mi romanipulation télé-opérés. L'amélioration
des te hniques de mi romanipulation est aujourd'hui onditionnée par un besoin des
utilisateursen interfa es intelligentes.
Comme toute tâ he de dextérité, la mi romanipulation repose sur une maîtrise des
informations de positions, d'orientations et d'eorts. Seule l'exploitation omplète de
es données fournit une expérien e rapide et omplexe de saisie et d'assemblage. En
eet, l'élaboration de tâ hes quotidiennes dans le ma romonde montre que l'humain
tire son e a ité de la ollaboration de ses sens.La vision mesure la position et
éla-bore des traje toires. Par ontre, l'orientation et les intera tions sont prin ipalement
(a)Couplagedire t
(b)
Af = 0, 12 · 10
6
( )
Af = 6 · 10
6
Figure 1.5 (a) S hémadu ouplagedire t ave une pointe AFM (Illustrationextraite de
[Reimann2005℄).(b)Réponsepourun ouplagedire tstableave unepointeAFM,oùlesfor es renvoyéessontinsusantes.( )Réponse pourun ouplagedire tave os illationsrémanentes
pour un gain de for e plus élevé. Les for es ressenties par l'opérateur sont représentées en
fon tiondutemps(
Ad = 0, 05 · 10
6
,
K = 2, 4 N.m
−1
,[Bolopion2008℄).
appréhendéesparletou her. Cedernierestle oeurdelaréussited'assemblages d'une
grande omplexité en peu de temps. Cette répartition sensorielle est absente dans les
te hniquesdemi romanipulation robotisées.L'utilisationd'interfa esàretourd'eort,
diteshaptiques, permetde re ouvrer ette ollaboration.
Les degrés de liberté ontrlés par es joysti ks évolués améliorent le onfort de
ma-nipulation. Par ontre, le retour d'eort n'a pas en ore signi ativement montré son
apport. En fait, il s'avère que lerendu haptique desintera tions mi ros opiques n'est
pas évident à réaliser. De nombreux problèmes liés au ontrle de es systèmes
em-pê hent en oreun rendun,réalisteetutilede sensations.
1.1.2 Le retour d'eort
Les interfa es haptiques sont des systèmes mé aniques robotisés et représentent une
optimisation des leviers de ommandes onventionnels. Diérents axes sont motorisés
pour renvoyer des eorts à l'utilisateur. Dans le as de la mi romanipulation, es
ef-fortssontunehomothétiedesintera tions mesuréesparlesmi ro-outils(voirFig.1.4). Parallèlement, es interfa esenregistrent laposition et/ou l'orientation de lamain de
(a)CouplageFor e-Position
(b)
Af = 6 · 10
6
Figure 1.6 S héma du ouplage passif de type for e-position pour une pointe AFM. (a)
Le ouplage for e-position introduit des ontrleurs qui ajustent la onsigne en position des
a tionneurs àla onsigne deressenti enfor e et rendentainsi lesystème passif. (b) Réponse
pour un ouplage for e-position ave une pointe AFM (
Ad = 0, 05 · 10
6
,
K = 2, 4 N.m
−1
),
[Bolopion2008℄).
homothétiques enposition,Ad,eten for e,Af,réalisentl'homothétie d'é helle dans e
ouplage. Depar sanaturesimple, e ouplage estappelé ouplage "dire t" (voirFig.
1.5(a)).
1.1.3 Le ouplage entre ma ro- et mi romonde
Il n'est ependant pas naturel de oupler deux systèmes de on eptions diérentes.
Non seulement leurs degrés de liberté peuvent être diérents, mais la dynamique des
stru turesmé aniques estaussitrès dissemblable.Lesoutils etlesobjets de
mi roma-nipulation ont desfor es volumiques négligeables etsont peu soumis auxphénomènes
d'inertiepar exemple.Le démarrageetl'arrêt d'unmouvement sont don instantanés.
En ontraste, ladynamiqueinertielle del'interfa e et dubras humain nesuit pas.Des
os illations apparaissent 4
,induites par un transfert alternatif d'énergie d'un système
à l'autre (voir Fig. 1.5( )). Elles sont néfastesau bon déroulement de l'opération. De plus, si ellesdeviennent importantes, voire divergentes et in ontrlables, ellesrisquent
sou-haitéeest obtenu.
Ces phénomènes peuvent être évités en sous-estimant la dynamique d'un organe par
rapportà l'autre (voir Fig. 1.5(b)). Mais dans e as, les sensationsrenvoyées à l'uti-lisateur sont insusantes. En eet,la simpli itéde la stru ture bilatéraleempê he de
trouver un bon ompromis entre sensation etstabilité 5
. Pour rendre ompte des v
a-riations brusques et des amplitudes variées des intera tions du mi romonde, d'autres
formesde ouplage sont alors utilisées.
Le problème du ouplage dire t s'explique par le fait que les gains ampli ateurs ne
sont pas passifs au sens de l'automatique 6
. La passivité est la ara téristique des
systèmesquisto kent,dissipent ourestituent del'énergie, maisn'en réent pas.
L'am-pli ationest, par dénition, l'augmentation de l'énergied'unsystème.Dansle asde
lami romanipulation, les gains homothétiques prennent desvaleurs onsidérables :la
transformationd'un pi oNewtonen Newtonné essite, par exemple,un gainde
10
12
.
D'autrestypesde ouplagesontétéproposéspourrespe terles ritèresdepassivité(voir
Fig.1.6(a) et1.6(b)).Ces ouplages, qualiésde passifs,prennent laforme deseuils 7 , d'ampli ateursvariables 8 ,d'amortisseurs 9 ,devariables d'ondes 10 ,de ontrleurs ro-bustes 11 , prédi tifs 12 ou adaptatifs 13
. Ces outils issus de l'automatique peuvent être
très omplexes à mettre en oeuvre. Les valeurs des diérents gains introduits par les
ontrleurs sontégalement trèsdépendantesdelatâ he,del'environnement etde
l'ou-til.Leurréglageest di ilement automatisable.
Lesappro hes proposées pour évaluer les ouplageset déterminerles gains sont
théo-riques.L'appli ationdu ritèredeLlewellynestlaplus onnue 14
etgarantitlastabilité.
Unautre ritèreévalue le ompromisstabilité-sensation :latransparen e 15
.
Cedernierdénitla apa itédu systèmeàrendre dèlement lesinformations. Le
ou-plage le plus transparent restitue de façon dire te les informations de position et de
for eave desgains homothétiques onstants.Autrementdit,en omparant laréponse
des ouplages implémentés à elle du ouplage dire t, il estpossible d'évaluer les
per-forman esentransparen e.Con rètement,elless'évaluentsurlesfon tionsdetransfert
et leurs réponses fréquentielles. Les diérents ltres des ouplages passifs dégradent
le omportement fréquentiel du système et atténuent en général les informations des
hautesfréquen es.
Un ouplage omplexe estégalement une ontrainte supplémentaire entermesde
om-péten es.L'obje tifd'unsystèmetélé-opéréestlarédu tiondutempsd'opération,mais
également de préparation et de formation à l'outil. Avant que la te hnologie ne soit
transféréedans les laboratoires de biologie, de physique ou dansl'industrie, leréglage
5 . [Mi aelli 2002℄ 6 . [Mi aelli 2002℄ 7 . [Bolopion 2008℄ 8 . [VanderPoorten2008℄ 9 . [Onal2007,Bolopion2008℄ 10 . [Boukhnifer2006℄
11 . [Boukhnifer2004,VanderPoorten2008℄ 12 . [Khan2009b℄
13 . [Ando2001℄ 14 . [Llewellyn1952℄
(a)Ave onta t (b)Sans onta t
Figure 1.7 Exemples de mi romanipulateur (a) Mi ropin e thermique ave apteurs
pié-zorésistifs intégrés [Andersen2009℄. (b) Lévitation optique d'objet de 100
µm
dans l'air, [Shvedov2010℄desgainsdoitpouvoirseréaliserautomatiquementourestertrèssimple.Cettedeuxième
proposition est la plus raisonnable en termes de faisabilité et de oût. Les ouplages
simplessontégalementunegarantiedemeilleuretransparen eetdon demeilleures
sen-sations. Apartirde esremarques,une étudeapprofondie destélé-mi romanipulateurs
haptiques existants est proposée dans la suite de e hapitre. L'obje tif est d'évaluer
de nouvellespistesd'évolutionpour este hnologies, baséessurdes ouplagessimples.
1.2 Les télé-mi romanipulateurs haptiques existants
A tuellement,ilexisteplusieursprototypesdemi romanipulateurséquipésd'interfa es
haptiques. Leurs ara téristiques varient ave les installations et les ompéten es
pré-sentes dansle laboratoire. Ces a tivités ouvrent un large spe tre etil est possible de
trouverdesinterfa es oudes mi romanipulateursdu ommer e ouplés àdes
dévelop-pementslo aux.
Toutes les te hniques etlesappli ations ne sont pas apables d'être oupléesave une
interfa e à retour d'eort. L'état de l'artdestélé-mi romanipulateurs ompare la
per-tinen e desdiérentesméthodes.
1.2.1 Résumé des te hniques de mi romanipulation
Enmi romanipulation,ilestpossiblededistinguerdeuxfamillesdeméthodes(voirFig.
1.7).La première onsiste àreproduire lesoutils ma ros opiques en lesminiaturisant. Elle semble se prêter mieux, en apparen e, au retour d'eort. Les outils sont intuitifs
etprésentent des liaisonsmé aniques dire tes ave les a tionneurs. Cettefamille, dite
"ave onta t",rassemblelesmi ropin esetlesmi ro-pointes.Silesmi ropin essont
d'unusageévident,ellesprésentent, ontrairementàleurshomologuesma ros opiques,
desphénomènesd'adhésion. Ladéposeestsouvent ompliquéeparuneforteadhéren e
(a)AFM (b)PFM
Figure1.8Prin ipedesmi ros opesàfor esatomiques(AFM) [Xie2008℄et àfor es pho-toniques(PFM)[Kress2004℄
surfa iquesdesmi ro-outils 16
.
Dans la même famille, une autre te hnique utilisant des pointes de dimensions
atomiquess'estimposéepourlesobjetssubmi roniques. Cettete hniqueestengénéral
utilisée pour l'imagerie dans les mi ros opes à for es atomiques (AFM, voir Fig.
1.8(a)),maislespointespeuvent également êtreexploitées pour lami romanipulation. Les mi ro-poutres, qui servent de support aux pointes, sont très exibles et sont
déformées à l'appro he de la surfa e. La mesure de es déformations et un al ul
lassiquedemé anique dessolidesdonnentuneévaluationde ertainseortsdeexion
et de torsion exer és sur l'outil. La déformation de la poutre est mesurée à partir
d'une améra ou d'un laser déporté. Les eorts d'intera tion sont ainsi déduits ave
unmodèlede omportement de lastru ture.La mesuredeladéexionpeut aussiêtre
dire te ou embarquée. Plus ouramment utilisée pour les mi ropin es, elle utilise des
apteurs intégrés de type résistifs, apa itifs ou piézoéle triques. Cette mesure des
eortsa étéexploitéedansde nombreux télé-manipulateurshaptiques.
La deuxième famille on entre leste hniques"sans onta t".Ces dernières utilisent
des hamps de potentiel pour dépla er les objets. La mi rouidique 17
très présente
dans les mi ro-usines utilise des uides soumis à des hamps de pression ou de
température. L'éle trophorèse 18
a tionne des diples dans un hamp éle trique. Les
pin es a oustiques 19 , magnétiques 20 , éle tromagnétiques 21 et optiques 22 réent des
hamps de for es ave des noeuds. Ces derniers sont des positions d'équilibre pour
les objets à manipuler. La mesure des eorts est alors réalisée de manière indire te
etse basesur une onnaissan e approfondie des hamps physiques en jeu. Il est alors
possible d'obtenir des mesures tridimensionnelles d'eorts ave un mi ro-outil de
faible en ombrement et peu intrusif (voir Fig. 1.8(b)). Par ontre, il est plus rare de retrouver desinterfa es à retour d'eort pour es te hniques. Cette onstatation peut
16 . [Régnier2008℄ 17 . [Squires2005℄ 18 . [Wang1997℄ 19 . [Reinhart2000℄ 20 . [Gosse2002℄ 21 . [deVries2005℄
Figure 1.9 Analogie entre une pointe AFMet unressort prolongéd'un aimant, illustrant
lesphénomènesd'attra tionetde ollageauniveaumi ros opiquedelapointe[Millet2008℄
fa ilement se omprendre du fait que lelien mé anique est peu intuitif. Deplus, Par
ontre, .
Dans les paragraphes suivants, quelques exemples illustratifs de
télé-mi romanipulateurs existants sont présentés. A défaut d'une liste exhaustive,
seuls les travaux présentant un intérêt vis à vis de l'appli ation de télé-opération et
dessensations ont étéretenus.
1.2.2 Mi ropin es et mi ros opes à for e atomique
Lesmi ropin essontdesoutilsfréquentsdanslessystèmesindustrielsde
mi romani-pulation. La mesuredeseorts estréalisée par des apteurs intégrésetelle estlimitée
à lafor ede serrage.Plusieurs auteurs ont her hé àexploiterlamesuredelafor ede
serrage par un retour haptique 23
. Ce ressenti est parti ulièrement intéressant lorsque
l'élasti ité de l'objet à saisir n'est pas onnue. Cette te hnique est avantageuse pour
fa iliter l'étude des propriétés mé aniques de l'é hantillon ou pour préserver son
in-tégrité. En eet, un serrage automatisé ave une onsigne en for e peut déformer de
manièreirréversibleunmi ro-objetouune ellule.Dansl'assemblage depiè esrigides,
leserrageest,enrevan he,fa ilementautomatisé. Dans e as,l'intera tion"utile"est
elle de l'objet manipulé ave son site d'assemblage. Ces for es ne sont a tuellement
pasmesurables.
Dans le asdes pointes AFM,lesystèmele plusaboutien termesd'appli ations est
eluidel'UniversitédeCarolineduNord 24
.LenanoManipulator omporteunAFM
utilisé pourl'imagerie etlamanipulation.Une image3Destobtenuegrâ eunpar ours
rapidedel'é hantillonave lapointeAFM.Puis, lesauteurs manipulentdesobjets
na-nométriques sans pouvoir rafrai hir l'image en temps réel. Le retour haptique lo alise
l'objet en ours de dépla ement etdonne une estimation de lasurfa e en latou hant.
Les auteursétudient ainsiles propriétés élastiques desbrines, desvirus, del'ADN et
des nanotubes. Au un détail n'est donné sur le ouplage et l'intensité des sensations.
Les for es latérales ne sont pas renvoyées à l'utilisateur, bien qu'elles soient mesurées
pourl'identi ation despropriétésmé aniques. Lesmesuresee tuéesétantdegrande
pré ision, ilfaut éviter lesperturbationsinduites par le ouplage bilatéral.
Par exemple, des travaux montrent que les sauts brutaux dûs aux phénomènes
d'"attra tion"etde" ollage"del'AFM(voirFig.1.9et1.10(a) et(b))peuvent
(a) (b)
( )
Figure1.10 Courbesthéoriques ara téristiquesd'unetâ hed'appro he-retrait: For e en
fon tiondelaposition(a)et for eenfon tiondutemps(b).LesétapesAetE montrent
res-pe tivementlessautsbrusqueslorsdesphénomènesd'attra tionetde ollage.Cesphénomènes
peuventêtreressentisparretourd'eort( )à onditiond'appliquerdesseuilset deréduirele
gainen position, an d'éviterles phénomènes d'instabilité (voir Fig.1.5( )) : Ad =
50 · 10
6
,
Af=
6700 · 10
6
.L'opérateurdoitalorspar ourir
50m
pouree tuerundépla ementde1µm
ave l'outil (K=0, 05N.m
−1
).Extraitde[Bolopion2008℄
querdesphénomènesd'instabilitédanslesystèmetélé-opéré 25
.Enréalisantunseuilsur
l'amplitudedesfor esetenaugmentantl'homothétieenposition, essautsdynamiques
peuvent être perçus sans entrainer d'os illations dans le ouplage (voir Fig. 1.10( )). Par ontre, l'opérateur aune ourse plusimportanteàpar ourir pour ee tuer haque
tâ he,rendantlepro essuslentetfastidieux.Lasolutionproposée pour l'AFMande
réduireles os illations rémanentes est d'introduire desamortisseurs dans le ouplage.
Lamanipulationeststable, maisl'information renvoyée estdétériorée etlesnombreux
gainsdes ontrleurs sont di iles àrégler(voirFig.1.6(a)).
Pour éviter l'introdu tion de ltres arbitraires, il a été envisagé de ir onvenir aux
problèmes d'attra tion et de ollage en utilisant une autre forme de support pour la
mi ro-pointe :desmi ro-diapasons deraideurs trèsélevées (45
kN.m
−1
) qui nesont
passoumis à es sauts dynamiques. De plus, es supports sont des apteurs de for e
intégrés.Enmettantlediapasonen résonan eetenmesurant savariationd'amplitude
ou de fréquen e, il est possible de mesurer les eorts dans l'axe de la pointe. Cette
propositionrésout leproblèmedemanière physique ettransparente 26
.Maislamesure
(a) (b)
Figure 1.11Modi ationstratégiquedu retourd'eort pour assisterl'opérateur dansune
tâ hede saisie-déposeave 2pointesAFM[Bolopion2010℄.L'opposé delafor e mesuréeest renvoyéet un ressort virtuelaide l'opérateurà trouver la hauteuroptimale de dépla ement
latéral(D-D').
delavariationde fréquen eestunete hnique outeuse.Lesrésultatsa hésmontrent
desmesuresdefor ebruitéesqu'ilestné essairedeltrer.Deplus,laraideurdes
mi ro-diapasonsrendlestâ hesdemanipulationtrèsdéli ates, ar esupportsedéforme peu
etne s'adaptepasauxformesdes é hantillons.
Dans es travaux, lamesure desfor es reste uni-axiale. Cette ontrainte est très
limi-tante pour tous les auteurs. Des travaux ré ents proposent de travailler ave des
in-formations données par laexion 27
ouave lemodedynamique dela poutre AFM 28
.
Dans esdeux as,la onnaissan edesparamètres expérimentauxn'estpasassezable
pourremonterauxfor eslatéralesréelles.Unretourd'eortdoitêtre onçuàpartirde
es mesures an d'assister l'opérateur. En général, le ressenti est onçude manière à
donner à l'opérateur l'impression d'unressort entré sur une position d'équilibre, soit
la position favorable pour la manipulation. Ce type de retour haptiqueest une
méta-phore des intera tions puisqu'il est tout de même basésur une mesure en temps réel.
La troisième propositionde Bolopionetal. 29
estd'utiliser deux pointes AFM pour
saisir un mi ro-objet. Ilsexploitent la mesurede exion pour avoir un ressentiréel de
lasaisieetde ladéposelorsd'unetâ hed'assemblage(voirFig1.11(a)).L'information restituée par les deux AFMestplus ri he que elledesmi ropin es puisquela mesure
de lafor edeserrage esta essible, maiségalement l'intera tionaxiale del'objetsaisi
ave lesubstrat.
Mêmesiunemesureréelledesfor esestpossibledans e as,ilasemblépluspertinent
pouraméliorerladextéritéde modierleressenti(voirFig.1.11(b)).Premièrement, la for edeserrageestxéelorsdelasaisiepuismaintenueparlasyn hronisationdesdeux
pointes.Cettefor eprovoqueuneexion onstantesur haquepointequ'ilestpossible
de soustraire an de soulager l'opérateur. Deuxièmement, lorsque l'objet est déta hé
dusubstrat, unefor ed'attra tions'opposeaumouvementdel'opérateur.Sil'opposée
27 . [Bolopion2009℄ 28 . [Bolopion2010℄
del'intera tionestrenvoyée,elledevientfavorableàlatâ hedesaisie.Cesmétaphores
d'intera tions sont utilisées ommeappro hes stratégiquesvisà visdetâ hes pré ises.
Ellespeuvent être onçues aprèsune exploration réelle desintera tions an de rendre
lamanipulationplus onfortable.
Obtenirdes informations tridimensionnelles surles intera tions ave une pointeAFM
est omplexe. Des systèmesde réalité augmentéesont aujourd'hui élaborés pour
om-penser ette limitation 30
. Basés sur des modèles simplistes des phénomènes du
mi- romonde, ils ne peuvent pas être utilisés pour l'exploration ressentie. L'eort de
dé-veloppement de simulations mé aniques en temps réel n'a pas en ore été ré ompensé
pardesrésultatstangiblesde mi romanipulation.Leste hniquessans onta t peuvent
apporter une réponseà l'a èsà esmesures tridimensionnelles.
1.2.3 Pin es magnétiques et optiques
Van West est le premier auteur à formaliser le on ept de retour d'eort pour les
te hniquessans onta t 31
.Lalévitationéviteles phénomènesd'adhésionetde fri tion
quipeuventdétériorer lesobjets.Ceste hniquessont plussensiblesauxperturbations
et né essitent des opérateurs expérimentés. L'assistan e par retour d'eort est un
moyen de rendre es outils plus abordables. Un ouplage bilatéral à une dimension a
étéréalisésansgrandedi ultépourdesmanipulateursmagnétiquesma ros opiques
de 3
mm
et 12,5mm
(voir Fig. 1.12). Une évaluation utilisateur valide l'apport de l'haptique, mais au une omparaison n'a été ee tuée ave les te hniques de pin eslassiquesquipeuvent êtreutilisées à es é helles.
Ce travail est la seule tentative onnue de retour d'eort ave des pin es
éle troma-gnétiques en vue de mi romanipulation. Les prototypes utilisant les for es optiques
sontplus nombreux.Leprofesseur Araiest lepremierà réaliserunsystèmede pin es
optiques à retour d'eorts 32
. La mesure des eorts est réalisée à partir de l'image
del'objet piégésur une photodiode àquadrant. Unretour bidimensionnel satisfaisant
a été établi pour une mi rosphère de 10
µm
piégée dans l'eau, loin de tout obsta le. Pour dépla erdeslevures en utilisantune manipulationindire te, desmi robillessontpiégées et servent de mi ro-outils à retour d'eort. Les résultats ne dé rivent pas le
retourhaptiqueetsonapport, arlaphotodiode s'avèrelimitéeenespa ede travailet
àl'appro he d'obsta lesou d'objets àmanipuler indire tement.
Une autre équipe japonaise a également proposé de palper une ellule à l'aide d'une
pin e optique télé-opérée 33
. L'appli ation est intéressante mais au un résultat n'est
présenté. D'autres travaux ont été menés pour donner une sensation d'intera tion
ave des nanols 34
.Le retour d'eort est élaboréà partir d'une mesurede laposition
de l'objet par rapport à un piège linéaire. Il onsiste à ontraindre le mouvement
de l'opérateur en fon tion de l'erreur de position an de ne pas perdre l'objet. La
manipulationde nano-tubes est très omplexe et ambitieuse, et leprototype présenté
seheurtemalheureusement àdenombreusesdi ultésdepiégeages.L'optimisationde
30 . [Li 2004,Vogl2006℄ 31 . [vanWest2007℄ 32 . [Arai 2000℄ 33 . [Sugiura2008℄
Figure1.12Con eptdepin ehaptiquesans onta t[vanWest 2007℄
l'installation doitêtremenéepour obtenirde meilleursrésultats.Dans esdeux as, la
mesure de for e est réalisée par l'intermédiaire d'une améra. Ces apteurs sont lents
omparésauxphotodiodes, maispermettent d'élargir l'espa ede travailetde gérerles
perturbationsoptiques induitespar un milieu biologiquepar exemple.
Des travaux importants ont été proposés sur les guidages virtuels. Ainsi pour palier
une mesure d'eort en temps réel, l'équipe de Basdogan propose un pré-traitement
d'image de la s ène an de repérer les obsta les 35
. L'opérateur est ensuite assisté
par un retour haptique an de les éviter. Ce genre de guidage virtuel est également
appliqué àdestâ hesd'assemblage. Lesévaluations utilisateursmontrent de trèsbons
résultatssurlegaindepré ision.Néanmoins,leseortsinvestisdanslaréalisationd'un
guidage e a e et reprodu tible sont les mêmes que pour l'automatisation omplète
de latâ he. Latélé-opération perdsajusti ation.
Les te hniques sans onta t sont prometteuses, mais elles sont en ore largement
sous exploitées pour le retour haptique. Elles sont également moins répandues que
l'AFM, mais ommen ent à être onnues pour leur exibilité. La mesure des eorts
tridimensionnels est a essibleet ertains travauxavan ent un ontrle de larotation
et du ouple axial 36
. Le ouplage ave es te hniques sus ite peu de détails dans les
publi ations (voir tableau 1.1). Au une indi ation ne dénit lairement les avantages ou les in onvénients de este hniques vis-à-vis de lastabilité, par exemple.Pourtant,
lesfaiblesraideursoertespar esoutilsetleursdimensionsréduiteslesrendent moins
sujet aux fortes dynamiques et aux for es d'adhésion. Ces propriétés intrinsèques
représentent unsérieux avantagepour le ouplage haptiquebilatéral.
Chapitre
1.
La
télé-mi romanipulation
Citation Dim.(
µm
) Capteurde for e Interfa e hap-tique Sensations Couplage (Ad,Af) RemarquesMi ropin e [Khan2010℄ 500 Courant
induit des moteurs Hapti Gripper (DelfTU) Réelles,1D Position-For e
Saisieetdéposed'unemi rosphère
[Vijayasai2010℄
45
Capa itifintégré
Fal on(Novint) Réelles,1D Pasdé rit Manipulation de billes de
polysty-rène. Peu de détails sur les
sensa-tions.
AFM [Guthold2000℄
< 1
Levieroptique
Phantom
(Sen-sable)
Réelles,1D Pasdé rit Lithographied'objetsnanométriques
et manipulation de nanotubes. Pas
dedes riptiondessensations
[Bolopion2008℄ HS Levier
optique
Virtuose
(Hap-tion)
Réelles,1D Dire t Sensationdupull-inetpull-o
ara -téristiquedel'AFM
[Venant2010℄ 10 Diapason
dynamique
Ergo Réelles,1D Dire t Évaluationdel'élasti itéd'une
mem-brane de PDMS de 10
µm
d'épais-seur. [Bolopion2009℄ 50 Levier optique Virtuose (Hap-tion) Métaphore, 2DPassif Sensation du roulement d'une bille
souslapoutreAFM
[Bolopion2010℄ 4-6 Levier optique (dyna-mique) Virtuose (Hap-tion) Métaphore, 1D + Virtuel,1D
Passif Miseen onta tdelapointeave une
mi rosphère
AFMx2 [Bolopion2010℄ 4-6 Levier
optique Omega (For e dimension) Réelles, 1D ou Mé-taphore, 1D
Passif Sensationlorsd'uneta hedepriseet
Les
télé-mi romanipulateurs
haptiques
existan
ts
Citation Dim.(
µm
) Capteur Interfa e hap-tiqueSensations Couplage Remarques
Pin e
éle tro-magnétique
[vanWest 2007℄
> 3000
Capteuroptique linéaire Omni (Sensable), maison Réelles,1D Détaillé, pasévalué
Saisieetdéposedebilledefer
ma ro-s opique.Améliorationdel'e a ité
àladépose
Pin eoptique [Arai2000℄ 10 Photodiode àquadrant
Phantom
(Sen-sable)
Réelles,2D Peu
dé-taillé
Mouvementlibredebillede
polysty-rène
[Sugiura2008℄ 3 Caméra Phantom
(Sen-sable)
Réelles,2D Peu
dé-taillé
Intera tionsave des ellulesave des
billesdepolystyrène.Pasde
des rip-tiondessensations
[Lee2007℄
0, 300
Caméra Delta6D(For edimension)
Métaphore,
2+1D
Pasdé rit Manipulation de nanols de 10
µm
de long et
300nm
de diamètre. Denombreuxproblèmesliésàla
on ep-tion
[Bukusoglu2008℄ 3 Caméra Omni
(Sensable)
Guide
vir-tuel,2D
Au un Assemblage de mi rosphères
fon -tionnalisées.Amélioration dela
pré- isiond'assemblage
Table1.1Etudedessystèmesdetélé-mi romanipulationsave desretoursd'eorts.Leterme"métaphore"signiequel'informationmesuréeest
restituéedemanièredéforméepourassisterl'opérateur.Lamention"virtuelle"indiquequel'informationrestituéen'estpasmesuréemaisobtenue
1.3 Nouvelle appro he : une on eption dédiée au retour
d'eort
Les pré édents travaux (voir tableau 1.1) présentent tous le même point ommun. L'originedubesoinvientdel'a quisitionoudelaréalisationd'unsystèmede
mi roma-nipulationdi ile à utiliser. Les her heurs onfrontésà leurs outilsont tentédes
ol-laborationsave deséquipesdetélé-opérationan degagneren onfortetendextérité
de manipulation. Des interfa esdédiées ont été onçues dans e sens,mais lesystème
lui-mêmedemi romanipulationn'apasétéremisenquestion.Nousproposonsdans e
mémoire une nouvelle appro he : puisquel'assistan e par retour haptique sembleune
solutionin ontournable pour gagneren dextéritédansle mi romonde,il faut
re on e-voir les installations de mi romanipulation dans e but. Dans la suite de e hapitre,
deséléments de réexion sont proposés pour laréalisation d'un mi romanipulateur à
retour d'eort permettant des sensations réalistes et exploitables. Pour atteindre et
obje tif,il fautre onsidérerles besoinsréelsdesopérateurset les ontraintes imposées
par l'environnement, an d'éviterlesé ueils despré édentsprototypes.
1.3.1 Le besoin
Lesbesoins peuvent être lassés selon quatretypes: euxdu on epteur-fabri ant, du
distributeur, de l'utilisateur universitaire et de l'utilisateur industriel. Le on epteur
a besoin d'une interfa e intuitive pour augmenter l'intelligen e de son système et la
omplexité des fon tionnalités. Le distributeur vise un large panel de lients : du
no-vi e à l'utilisateur expérimenté. Si le laboratoire n'est pas familier ave les prin ipes
utilisés pour la mi romanipulation, il a hètera un système lef en main pour gagner
en temps de on eption et de prise en main. L'industrie a desbesoins de rapidité sur
desta hesrépétitivesoudesbesoinspré issurdesdiagnosti s omplexes.Ellesouhaite
également réduire letemps de formationetde priseen main desnouveauxoutils pour
sesopérateurs.
En 2006, le rapport de prospe tive sur les mi ro et nano systèmes réalisé par le
o-mitéd'experts Mi ro et Nano Systèmes du CNRS-STIC 37
a onrmé le fait que "les
utilisateurs naux ne se sou ient pas de la te hnologie : seule ompte pour eux la
fon tionnalité oerte, et le oût de elle- i". Les outils omme les produits de la
mi- romanipulation demandent de bien onnaître les besoins des utilisateurs naux. Un
dialogueave haquepartenaireautourde haqueappli ationestparti ulièrement
ru- ialdans e domaine pour rentabiliser lesinvestissements importants engagés.
Une étude du besoin est établie en vue de la on eption d'un mi romanipulateur à
de biologie
38394041
,dephysique 424344
,uneentreprise spé ialistede la on eptionde
systèmes industrielsde mi romanipulation etde mi ro-assemblage 45
etun fournisseur
de piè esdéta hés pour les installationsde mi ros opie 46
.
La première on lusion de es entretiens est enpremier lieu un fort besoin
d'augmen-ter l'immersion.Il existe un réel problème de dextérité desopérateurs à ause du peu
d'informations sensorielles retournées du mi romonde. Prin ipalement, ils manipulent
uniquement ave lavision 2Dsous mi ros ope.Un besoin très marquéest exprimé en
faveurd'unevision 3D,réelle ou enréalité augmentée.
Pour les te hniquesde retour d'eort, lesinterlo uteurs sont en général mal informés.
Ces te hniques sont absentes de leur quotidien et ils n'ont jamais envisagé leurs
in-terfa es professionnelles sous et angle. Quelques systèmes sont équipés de joysti ks.
Les utilisateurs voient lairement le béné e apporté par ette manette, omparée à
la sourisinformatique lassique. Néanmoins,ils regrettent le manque de ressemblan e
del'interfa e ave l'outil demi romanipulation.Enparti ulier, lesopérateurshabitués
à la manipulation par pin e s'adaptent mal à un joysti k pour ontrler une
mi ro-pin e. De plus, les joysti ks sont a tionnés en rotation autour de leur support tandis
que les mi rorobots réalisent des tâ hes en translation. La ommande opère don une
onversiondel'angleenvitessedesa tionneurs.Cette ontraintehandi apelapré ision
et entraîne de nombreux dépassements et des besoins de orre tions qui, nalement,
ralentissent latâ he.
Après avoir été informés sur les te hniques haptiques, les interlo uteurs ont fait
l'ef-fort de projeter leur appli ation ave une nouvelle interfa e. En général, les avis des
her heurs sont mitigés pour l'utilisation dire te de es te hniques sur leurs projets
a tuels.Par ontre,ilsonttousnotéunpotentielpourréaliserdenouvellesexpérien es
plus ambitieuses. Le retourhaptique pourrait apporter à la réativité s ientique.Les
limitesa tuellesdesexpérien esetdelavisionsousmi ros opepourraientêtre
repous-sées et de nouveaux types de manipulation deviendraient a essibles. Ces opérations
seraient,parexemple,manipulerdesobjetsinvisiblessousmi ros opesoptiques(ADN,
nanotubes) ousonder desobjets tridimensionnels( ellules, ristaux).
Les industriels attendent des prototypesd'installations à retour d'eorts fon tionnels
etdesdémonstrations sanséquivoques parleurs fournisseurs. Unressenti aboutiestle
seul argument onvain ant àleur proposer.
Leretourhaptiqueabesoindesedévelopperetdesefaire onnaîtredanslesmilieuxde
lami romanipulation.Pour ela,ilfaudrait quelestravauxdans edomaine proposent
desrésultatssurdestâ hesréelles etquotidiennes. Late hnologie estdisponible, mais
laréunion de ompéten es multidis iplinaires faitsouvent défautpour une on eption
de prototypes utilisables. La pluridis iplinarité de e domaine implique souvent une
38 . LaboratoiredeNanobiophysique,ESPCI,Paris
39 . InstitutJa quesMonod,Paris
40 . LaboratoiredeBiorhéologieetd'HydrodynamiquePhysi o- himique,Paris 41 . LaboratoiredeNeurophysiologieetdesnouvellesmi ros opies,Paris
42 . LaboratoireAiméCotton,Orsay
43 . OptiqueGroup,UniversitédeGlasgow
44 . Nanophysi sandSoftMatterGroup,UniversitédeBristol
ollaboration entre plusieurs laboratoires. Les enjeux sont pour ha un diérents et
la ohéren e est di ile à maintenir. Il en résulte l'inadéquation entre le besoin et la
on eptiondestélé-mi romanipulateurs.
1.3.2 Le ahier des harges
La synthèse de l'état de l'art et l'étude du besoin ont pour obje tif d'analyser les
besoins d'une installation dédiée au retour d'eort dans son ontexte. Le ahier des
harges suivant traite des ara téristiques re ommandées pour le mi romanipulateur,
lesinterfa es haptiquesetle ouplage.
Performan es
Un mi romanipulateur possède en général de très bonnes performan es en résolution
spatiale.Lesdistan esappréhendéessontdel'ordredunanomètretant pourles
a tion-neursque les apteurs. Le ratio résolution (
≈ 1nm
) - espa ede travail (≈ 100µm
) est de1 : 10
5
.Lamaindel'opérateurnedisposepasd'untelratio:lesinterfa esautorisent
moinsd'undemi-mètred'espa edetravailpourunesensibilitédequelquesmillimètres.
Larésolution spatiale du mi romanipulateur doitêtre ompatible ave elle de
l'inter-fa ehaptique.
Par ontre,unplusgrandsoindoitêtreportésurl'espa edetravail.Unenvironnement
ontraint rendl'opérateur moinsperformant. L'outil et l'interfa e doivent donner des
apa itésd'intera tionsurun granddomaine, aumoins elui donné parlavision dela
s ène.Or,les mi romanipulateursontengénéral undomainedemesuredefor elimité
parles ara téristiquesde l'outilou lephénomène utilisé.Cetteforte ontraintelimite
lenombrede andidatsdansles te hniquesde mi romanipulation.
Il est également important que l'outil soit rapide et puissant vis-à-vis de la tâ he à
ee tueran que elle- ipuisseêtre réalisée fa ilement etrapidement.L'opérateur
in-teragit de façon haptique et développe des eorts. Si les gains homothétiques ou les
performan es de l'outil ne sontpasbien réglés, ilrisquede sefatiguerrapidement.
La résolution temporelle est liée à l'é hantillonnage des systèmes à ommande
numé-rique.L'interfa e etlemi romanipulateur produisent dessignauxen es alier.
L'opéra-teurhumain perçoitdesdis ontinuités del'ordre delamillise onde.Il fautdon
appli-querdesfréquen esd'é hantillonnage supérieuresaukilohertz, fréquen espastoujours
disponiblessurlesmi romanipulateurs.Demême,pourexploiteraumieuxles apa ités
ta tileshumaines, les systèmes intégrés à labou le haptique doivent dans l'idéal
pos-séderunebande passantedesinformationssupérieureau seuiltemporelde per eption.
Au uneinterfa ehaptiqueetpeude mi romanipulateurssont aujourd'hui apablesde
tellesperforman es.
Sensations ta tiles
Cettedernière propriété est intrinsèquement liée à laqualité dessensationshaptiques
évaluéepar latransparen e. Un système transparent donne une sensation réaliste des
retards ou à faible bande passante. L'é hantillonnage, les frottements et l'inertie sont
souventla sour ede esmauvaisesperforman es.
Ladénitionde latransparen e donnéeparLawren e 47
est onsidéré ommeune
réfé-ren edansledomainedelatéléportation.Elleestainsidénitparlaplagefréquentielle
potentiellement transmise àl'opérateur par lesystèmetélé-opéré. Outre, laqualitédu
spe tre fréquentiel, ilest également important de veiller àtransmettre desamplitudes
ontrastées,andepermettreausenshumaindedis riminerles hangements.Latâ he
etles gainsdoivent êtreenvisagésdemanière àproduire unprol defor es fa ilement
identiable. Certainsmi romanipulateurs,tels quelespointesAFM,sontsoumis àdes
eorts d'ordres très diérents (dela entaine de
pN
aumN
).Cette plage ne peut pas être rendue par une interfa e limitée à un ordre de grandeur (de1 à∼
10N
). Il faut don on evoir le ouplage ande rendreper eptible l'information utile.Pour renfor erlasensation d'immersionde l'utilisateur,l'interfa e doitrappeler
intui-tivement l'outil demi romanipulation.Dansl'idéal, ellepourrait omporterlesmêmes
degrés de liberté et d'intera tion que l'ee teur. Un mi romanipulateur interagissant
dansleplandoitêtre oupléàuneinterfa eplane.Lapoignéedoitégalementse
rappro- herdelaformedel'outil.Unoutillongpeutêtreimitéparunstylet,unemi rosphère
par une poignée sphérique.
Sé urité
L'utilisateur manipule ette interfa e soit en la serrant dans samain soit en la
main-tenant ave le doigt.Il ne faut don pasoublier qu'il est dire tement en onta t ave
un robot a tif produisant des for es importantes. Le système peut blesser l'opérateur
s'iln'estpas orre tement ontrlé.Laprésen ed'organesnonpassifstels quelesgains
homothétiques du ouplage renfor e erisque.
Si un ouplage omplexe introduisant des ltres doit être é arté pour une meilleure
transparen eetpriseenmaindel'outil,lesautres omposantsdoiventse omporterde
manièreànepasentrainerd'instabilités.Plusieurspistesontétéprésentées dansl'état
de l'art. La te hnique de mi romanipulation peut être hoisie de manière à éviter les
phénomènesdynamiques brusques.Desraideurs faiblesde l'outil etun environnement
visqueux peuvent agir enfaveurde lastabilitésans perturberlatransparen e.
Stratégie de manipulation
En mi romanipulation, les stratégies de préhension sont variées et font appel à des
phénomènes tels quel'adhésion, la dépression, la apillarité, les hamps magnétiques,
éle tromagnétiques, éle trostatiques... Par ontre, au niveau ma ros opique, la
diver-sité des stratégies de manipulation se ara térise plutt par les nombreux degrés de
libertédelamainhumaine,durobotmanipulateur, lenombrededoigtsdupréhenseur
et la ollaboration entre plusieurs outils. L'opérateur est don plus familier ave des
préhenseurs multi- onta t que des eets de lévitation ou de surfa e. Une réexion
doit être menée sur e point pour déterminer si un opérateur de mi romanipulation
(a) (b)
Figure 1.13 (a) En ombrement visuel d'une s ène de manipulation ave 2 doigts AFM
(d'après[Bolopion2010℄).(b)VuelatéraledelapointeAdvan edTECFM hezNanosensors
mi romanipulateur et l'interfa e doivent idéalement être modulables pour la mise en
pla ede diérents types destratégies.
De même, le lâ her de l'objet est également une sour e de préo upation. Les
stratégies par dépose dynamique 48
ne sont pas ompatibles ave un rendu haptique.
Lesstratégies deroulement 49
demandent dessour esd'informations importantes pour
unrenduréel desintera tions 50
.Depréféren e, lesystème demi romanipulation doit
éviterdesstratégies de lâ heroù lerenduhaptiquen'est paspossible.
Unautrepoint limitant pour lamanipulationestl'immersionvisuelle.Lesmi ro-outils
peuvent prendre une pla e importante dans l'image et gêner l'opérateur dans la
prédi tion detraje toire (voir gure1.13(a)).Pour de bonnes onditions de mi roma-nipulation ave ou sans retour haptique, il est né essaire que l'opérateur onnaisse
la position des objets. Car es derniers peuvent entrer en onta t ou être o ultée
par l'outil. Par exemple, l'AFM utilisé dans la gure1.13(b) a été optimisée an que la pointe soit orientée vers l'avant (Advan edTEC FM hez Nanosensors) plutt que
sous la poutre. Une zone de onta t visible améliore la visualisation de l'intera tion
ave l'é hantillon. En omparaison, les te hniques sans onta t sont plus adaptées et
fa ilitent grandement la vuede las ène.
E onomique
L'apport du système pour l'opérateur doit être une amélioration de la prise en main.
Ce dernier doit pouvoir réaliser rapidement une tâ he sans onnaissan e préalable
du système, voire de la mi romanipulation. Le temps gagné sur la formation et
l'adaptationàlatâ herentabilisel'investissement.Lesystèmedoitêtresimple,intuitif
etenmême temps exible pour intégrer unlarge domaine d'appli ation. La te hnique
demi romanipulation utiliséedoitêtre répandueetfa ileà omprendre.
Les oûts supplémentaires induits par le retour d'eort doivent être faibles. Les
interfa es haptiques utilisées doivent être bon mar hé. Une réévaluation de leur
48 . [Haliyo2004℄ 49 . [Dionnet2004℄
degré de liberté et de leur espa e de travail en fon tion des besoins spé iques de la
mi romanipulation peutégalement abaisser les prix.
Le tableau 1.2 résume les diérents points lefs pour un système de télé-mi romanipulation idéal.
Performan es Degrésdeliberté 3translations
Puissan e du
mi ro-outil
Trèssupérieureauxintera tionsdumilieu
Résolutionspatiale Peurestri tive, ar adaptéeau ratio
réso-lution/espa edetravaildel'interfa e
Résolutiontemporelle Elevée (
> 1 kHz
)Espa edetravail Grand,del'ordredelas ène
Sensation Transparen e Del'ordredelabandepassante du
mi ro-outil
Peu de frottements et d'inertie dans les
omposants
Eorts Au minimum tridimensionnel en
transla-tion
Amplitudes ontrastées
Immersion Mimétismeentre l'interfa eetl'outil
Sé urité Stabilité Amortissementnatureldumilieu
Limitation des phénomènes d'adhésion et
desfortesdynamiques
Stratégie Préhension Possibilitédeparallélismepourla
ollabo-rationentreplusieursmains,doigtsou
uti-lisateurs
Lâ her Possibilité de mesures de for es durant
ettephase
En ombrement Mi ro-outilspeuvolumineuxparrapportà
las ène
É onomique Priseenmain Rapide
Au une onnaissan ete hniquené essaire
Coût A essible pour des organismesde
forma-tion
Diusion Mi romanipulateurrépanduetexible
Table1.2Résumédes ara téristiquesessentielles pourla on eption d'unsystèmede
Figure 1.14 Développement d'interfa es haptiques pour la mi romanipulation : a.
[Khan2009a,Khan2010℄,b.[Millet2009℄, .[Gosline2007℄,d.[Shirinov2003℄e.[Letier2003℄, f.[Venant2010℄
1.3.3 Choix du mi romanipulateur
Pourrépondreà e ahierdes hargesexigeant,iln'estpasoptimald'utiliserdesorganes
existants, arpourremédieràleurinadéquation des ouplages omplexesetpeu
trans-parentsdoivent êtremis en pla e.La préo upation première dans ette démar he est
la ompatibilité du mi romanipulateur etde l'interfa e avant de réaliser un ouplage.
Ainsil'interfa e doitêtre onçueou hoisieen fon tion del'appli ation de
mi romani-pulationretenue etlemi romanipulateur en fon tion duressentidu retourd'eort.
Ledomainedel'haptiqueestfamilierave etypede ontrainte.Lesinterfa es
homme-ma hine issues de la ompréhension du sens du tou her sont onçues au plus pro he
de l'appli ation pour laquelle elles sont destinées. Il n'est pas étonnant que plusieurs
travaux aient déjà été onsa rés à la on eptiond'interfa es haptiques pour la
mi ro-manipulation(voirFig.1.14).Dans emanus ritlesinterfa esa tuellessontsupposées assezavan ées etl'attention s'estfo aliséesurles mi romanipulateurs.
Contrairement aux joysti ks et interfa es, les mi romapulateurs sont onçus dans le
seulbut de travailler surdesobjets mi ros opiques.L'intégration de l'utilisateur dans
la ommanden'est pas lapriorité lors de la on eption. Les ontraintes de résolutions
etlaqualitédes apteurssontmisesenavantpluttquele onfortdemanipulation.Le
on epteur omptesurlesfa ultésd'adaptationdel'utilisateuret onsa repeud'eorts
àl'intégration d'interfa esévoluées.Le mi romanipulateur estaujourd'huileprin ipal
verroute hnologique pour une intera tion bilatérale e a e ave lemi romonde.
Dans notre nouvelle démar he de on eption, le mi romanipulateur n'est plus une
ontrainte xée par le matériel disponible dans un laboratoire. Son hoix n'est don
guidé que par l'obje tif de retour ta tile.La te hnique laplus adaptée pour restituer
debonnessensationsdu mi romonde doitêtre déterminée.